专利名称：晶片盒的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及装载晶片的晶片盒。
背景技术：
在集成芯片的工艺中，用于制作芯片的晶片在不同工艺之间以及在每一工艺的运 输过程中都是储藏在晶片盒(Pod)中运输的。晶片盒的使用可为晶片提供较高洁净度环 境，避免晶片受到洁净度相对晶片盒内要低的制作车间内污染源的污染。为提高晶片盒利 用率，通常一个晶片盒中会储存多个晶片。传统的晶片盒请参考图1和图2，晶片盒1包括 底盘10和罩盖12，所述晶片盒1还至少包括设置在罩盖12相对两侧壁121、123上分别 可供使用者把持的把手14 ；设置在其中一个侧壁122上、提供所述晶片盒内晶片信息的智 能标签16 ；以及设置在其中一个侧壁124 (所述侧壁124与设置有所述智能标签16的那一 个侧壁122相正对)的内表面、用于对晶片架(未在图式中显示)进行限位的锁扣结构18， 所述锁扣结构18包括设置在罩盖12的侧壁124的内表面的支架180、设置在所述支架180 上的支撑滑杆182、以及设置在支撑滑杆182中央处的活动锁件184。请继续参考图1和图2，所述智能标签16仅是通过设置在其底边的安装螺孔而螺 接至罩盖12上的，而在智能标签16的其他部分则没有设置相应的安装点，在使用过程中会 使得所述智能标签16相对所述罩盖12产生翻转，并在翻转过程中对螺接处的连接点造成 损伤甚至出现断裂。另外，在所述锁扣结构18中，由于将所述支架180设计为上下等宽结 构，且其中的宽度较小，使得支撑滑杆182及其上的活动锁件184移动不灵活、不平稳，会出 现卡制或跳动，不能很好地对晶片架进行限位，甚至会在限位过程中造成对晶片架上晶片 的损伤，降低晶片的使用寿命，增加生产成本。
实用新型内容本实用新型解决的问题是提供一种晶片盒，避免晶片盒内装载有晶片的晶片架锁 固不稳的问题。为解决上述问题，本实用新型提供一种晶片盒，包括适于装载晶片的底盘和与所 述底盘接合、适于形成密闭空间的罩盖，所述罩盖的相对二侧壁设有把手；设于所述罩盖的 其中一个侧壁的内表面的锁扣结构；其中，所述锁扣结构包括设于所述罩盖的侧壁的内 表面的支架，所述支架呈上宽下窄；分别活动设于所述支架的上下二端的第一支撑滑杆和 第二支撑滑杆，所述第一支撑滑杆要比所述第二支撑滑杆长；活动设于所述第一支撑滑杆 和第二支撑滑杆、作上下移动的滑动锁件，适于锁固所述晶片盒内装载有晶片的晶片架。可选地，所述把手包括与所述罩盖的侧壁连接的安装杆；自所述安装杆侧壁延 伸的拱形卡手槽；自所述拱形卡手槽底部延伸的托翼。可选地，所述支架为由所述罩盖的侧壁向内延伸形成的凸片。可选地，所述第一支撑滑杆和第二支撑滑杆穿设于所述支架。可选地，所述第一支撑滑杆的长度至少为所述第二支撑滑杆的长度的二倍。[0010]可选地，所述滑动锁件为呈弧形截面的板状结构。可选地，所述晶片盒还包括适于所述底盘与所述罩盖接合的卡锁结构，所述卡锁 结构包括设于所述底盘的相对二侧壁的槽口 ；设于所述底盘内的活动块，所述活动块的 末端设有对应所述槽口的卡齿，所述卡齿呈向下弯曲；设于所述罩盖的相对二侧壁、对应于 槽口的凹槽。可选地，所述晶片盒还包括智能标签，所述智能标签利用卡固结构卡固于所述罩
盖的侧壁。可选地，所述卡固结构包括设于所述罩盖的侧壁的卡槽；对应所述卡槽而卡固 于所述罩盖的侧壁的辅助安装板，所述辅助安装板的相对二侧设有限位凸块和卡槽；连接 于所述智能标签的翼片，所述翼片设有分别与所述辅助安装板的限位凸块和卡槽对应的卡 孔和卡边。可选地，所述底盘和罩盖为塑料成型构件。相较于现有技术，本实用新型提供了具有结构改进的锁扣结构的晶片盒，所述锁 扣结构具有呈上宽下窄的支架，使得设于所述支架上端的第一支撑滑杆要远长于设于所述 支架下端的第二支撑滑杆，这样设于第一支撑滑杆和第二支撑滑杆上的滑动锁件移动更灵 活、顺畅，能稳固地锁固所述晶片盒内装载有晶片的晶片架，减少晶片的损伤，降低晶片的 报废率，节省生产成本。
图1和图2为现有技术中晶片盒在不同视角下的结构示意图，其中图1为晶片盒 显示有智能标签的立体图，图2为晶片盒显示有锁扣结构的立体图；图3和图4为本实用新型在一实施例中所提供晶片盒在不同视角下的结构示意 图，其中图3为晶片盒显示有智能标签的立体图，图4为晶片盒显示有锁扣结构的立体图；图5为本实用新型在一实施例中所提供晶片盒中卡锁结构的卡齿的结构示意图；图6为本实用新型在一实施例中所提供晶片盒的组合示意图。
具体实施方式
本实用新型的发明人发现在现有的晶片盒中，用于锁固晶片盒内晶片架的锁扣结 构的支架设计为上下等宽结构，且其中的宽度较小，使得支撑滑杆及其上的活动锁件移动 不灵活、不平稳，会出现卡制或跳动，不能很好地对晶片架进行限位，甚至损及晶片架上的
曰曰/Τ。本实用新型的发明人创造性地对现有晶片盒进行改进，提供一种新型的晶片盒， 包括适于装载晶片的底盘和与所述底盘接合、适于形成密闭空间的罩盖，所述罩盖的相对 二侧壁设有把手；设于所述罩盖的其中一个侧壁的内表面的锁扣结构；其中，所述锁扣结 构包括设于所述罩盖的侧壁的内表面的支架，所述支架呈上宽下窄；分别活动设于所述 支架的上下二端的第一支撑滑杆和第二支撑滑杆，所述第一支撑滑杆要比所述第二支撑滑 杆长；活动设于所述第一支撑滑杆和第二支撑滑杆、作上下移动的滑动锁件，适于锁固所述 晶片盒内装载有晶片的晶片架。本实用新型提供的晶片盒，对锁扣结构进行了结构改进，使 其能灵活、顺畅地移动，稳固地锁固所述晶片盒内装载有晶片的晶片架，减少晶片的损伤。[0022]
以下结合附图对本实用新型的内容进行详细说明。 图3和图4为本实用新型所提供的晶片盒(Pod)在一个实施例中在不同视角下的 结构示意图。如图3所示，晶片盒2包括底盘20和罩套于底盘20的罩盖22。底盘20大致呈 方形面板结构，适于装载晶片，所述晶片可以有多个，且各个晶片可通过晶片架(Cassette) 实现无碰擦地相互间隔层叠。另外，底盘20上可以设置多个换气孔(未在图式中标示)，以 在罩盖22罩套于底盘20时控制封闭空间内部和外部大气在温度和湿度上保持一致。再有， 底盘20具有防静电设计，其本身磨擦不产生静电且在有外来静电时具有消除静电功能。罩 盖22为底端开口的六面体结构，所述底端开口处的尺寸(面积)要略大于罩盖22的上端 的尺寸(面积)，且，所述底端开口处的尺寸(面积和高度)恰好与底盘20的尺寸(面积 和高度)相适应，以可罩套于底盘20，形成密闭空间，为所装载的晶片提供较高洁净度的环境。在本实施例中，底盘20和罩盖22为塑料成型构件，特别地，罩盖22更可以为透明 设计，以便于观察罩盖22的内部状况。欲达到罩盖22与底盘20接合的牢固性，一般需要设计出相应的接合装置。因此， 在本实用新型中，晶片盒2还包括适于底盘20与罩盖22接合的卡锁结构。图5示出了本 实用新型晶片盒中卡锁结构的卡齿的结构示意图，结合图3、图4和图5，所述卡锁结构包括 分别开设于底盘20的相对二侧壁的槽口 200，每一个侧壁的槽口 200的数量为二个，相互 间隔设置；于底盘20内、对称设置有二个活动块210，在每一个活动块210的末端延伸形成 有对应槽口 200的卡齿212 ；以及设于罩盖22的底盘20相对二侧壁、对应于底盘20的槽 口 200的凹槽(未在图中显示)。应用所述卡锁结构时，将罩盖22罩套于底盘20，使得罩 盖22的底盘20包裹底盘20，施加一定的力推动底盘20内的活动块210朝向侧壁移动，使 得活动块210的末端的卡齿212穿透且外凸于底盘20的侧壁的槽口 200并顺势卡入罩盖 22的凹槽，实现罩盖22与底盘20的接合(如图6所示)。特别地，在一较佳实施例中，所述卡锁结构中的每一个卡齿212均呈向下弯曲，这 样在卡齿212卡入罩盖22的凹槽内时，每一个侧壁处的二个卡齿212能同时受力，可有效 增加底盘20的承受力，使得底盘20在装载多个晶片的重力之下不易与罩盖22脱离。为便于使用者的把持，晶片盒2还包括设置在罩盖22的相对二侧壁221、223的把 手24。其中的每一个把手24均包括与罩盖22的侧壁连接的安装杆240 ；自安装杆240侧 壁延伸形成的拱形卡手槽242 ；自拱形卡手槽242底部延伸形成的托翼244。在一较佳实施 例中，安装杆240可以通过例如熔接、粘接、卡固或利用螺丝等锁固工具而安装至罩盖22的 侧壁上。在使用时，使用者可用手掌抵住托翼244，手指放入卡手槽242来把持把手24，能 避免或降低在搬运晶片盒过程中出现晶片盒从手中脱落的情况。晶片盒2还包括设于所述罩盖22的其中一个侧壁224的内表面的锁扣结构26， 适于锁固晶片盒2内装载有晶片的晶片架(未在图式中显示)。需说明的是，在本实施例 中，由于罩盖22为透明设计，故锁扣结构26的结构特征是以从罩盖22的侧壁224直接向 内观察所得的。锁扣结构26包括设于罩盖22的侧壁224的内表面的支架260 ；分别活动 设于支架260的上下二端的第一支撑滑杆261和第二支撑滑杆263 ；活动设于所述第一支 撑滑杆261和第二支撑滑杆263的滑动锁件264。特别地，在一较佳实施例中，支架260为 由罩盖22的侧壁224的内表面延伸形成的安装片，且其整体呈上宽下窄，具体来讲，设置于罩盖22的上端的安装片之间的宽度要比设置于罩盖22的底端的安装片之间的宽度要长得多(至少大于等于二倍)。第一支撑滑杆261穿设于罩盖22的上端的支架260部分，第二 支撑滑杆263穿设于罩盖22的底端的支架260部分，第一支撑滑杆261要比第二支撑滑杆 263长得多(至少大于等于二倍)，第一支撑滑杆261和第二支撑滑杆263可相对支架260 作转动。滑动锁件264为呈弧形截面的板状结构，所述弧形截面与晶片架相适应。锁扣结 构26中滑动锁件264以第一支撑滑杆261和第二支撑滑杆263作为支点相对罩盖22作上 下移动，由于第一支撑滑杆261要比第二支撑滑杆263长得多，因此，第一支撑滑杆261作 为承受锁扣结构26的大部分重量的主要支点，而第二支撑滑杆263则作为辅助支点，如此 安排，可以使得滑动锁件264相比在现有技术中二个支撑滑杆等长或接近等长的情况下移 动更灵活、顺畅。通过锁扣结构26中滑动锁件264的上下移动，可推顶晶片盒内装载有晶 片的晶片架直至将其稳固锁固，在传送晶片盒过程中，内置的晶片架不会产生晃动，晶片不 易偏离原有位置产生损毁。再有，晶片盒2还包括设置在其中一个侧壁222上、提供所述晶片盒内晶片信息的 智能标签27。智能标签27包括有显示屏幕和位于所述显示屏幕周边的控制按钮。智能标 签27中存储有有关晶片盒2、晶片盒2内所装载的晶片的信息，例如晶片的规格、数量、已完 成的工艺，待进行的工艺及其每一个工艺中参数等，使用者通过操控所述控制按钮，即可在 所述显示屏幕上查询到相关信息，从而自动控制和优化制造流程的每一步。在一较佳实施 例中，智能标签27利用卡固结构卡固于罩盖22的侧壁222的安装区域。卡固结构包括设 于罩盖22的侧壁222的卡槽280，卡槽280可分别设置在所述侧壁222的安装区域的底端 和左右二侧；对应卡槽280而卡固于罩盖22的侧壁222的辅助安装板282，辅助安装板282 的相对二侧设有限位凸块281和卡槽283 ；连接于智能标签27的翼片286，所述翼片286设 有分别与辅助安装板282的限位凸块281和卡槽283对应的卡孔285和卡边287。利用卡 固结构装配智能标签27时，辅助安装板282对应卡入罩盖22的侧壁222的卡槽280内，将 连接于智能标签27的翼片286中的卡孔285嵌套辅助安装板282的限位凸块281后，翼片 286中的卡边287卡入辅助安装板282的卡槽283，这样就可将智能标签27稳固地设置于 罩盖22的侧壁222，相比于通过设置在智能标签27底边的安装螺孔而螺接至罩盖的现有技 术，安装简便且安装的稳固性更高。本实用新型提供的晶片盒，提供了具有结构改进的锁扣结构，所述锁扣结构具有 呈上宽下窄的支架，使得设于所述支架上端的第一支撑滑杆要远长于设于所述支架下端的 第二支撑滑杆，这样设于第一支撑滑杆和第二支撑滑杆上的滑动锁件移动更灵活、顺畅，能 稳固地锁固所述晶片盒内装载有晶片的晶片架，减少晶片的损伤，降低晶片的报废率，节省 生产成本。另外，本实用新型提供的晶片盒，通过提供结构简单的卡固结构，使得智能标签至 少相对二旁侧能卡固于罩盖的侧壁上，相比于仅在智能标签底边利用螺丝等锁附工具进行 锁附的现有技术中，安装简便且安装的稳固性更高，可避免在使用过程中所述智能标签产 生翻转，并在翻转过程中对螺接处的连接点造成损伤甚至出现断裂。本实用新型虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何 本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因 此本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。
权利要求一种晶片盒，包括适于装载晶片的底盘和与所述底盘接合、适于形成密闭空间的罩盖，所述罩盖的相对二侧壁设有把手；其特征在于，所述晶片盒还包括设于所述罩盖的其中一个侧壁的内表面的锁扣结构；所述锁扣结构包括设于所述罩盖的侧壁的内表面的支架，所述支架呈上宽下窄；分别活动设于所述支架的上下二端的第一支撑滑杆和第二支撑滑杆，所述第一支撑滑杆要比所述第二支撑滑杆长；活动设于所述第一支撑滑杆和第二支撑滑杆、作上下移动的滑动锁件，适于锁固所述晶片盒内装载有晶片的晶片架。
2.根据权利要求1所述的晶片盒，其特征在于，所述把手包括与所述罩盖的侧壁连接 的安装杆；自所述安装杆侧壁延伸的拱形卡手槽；自所述拱形卡手槽底部延伸的托翼。
3.根据权利要求1所述的晶片盒，其特征在于，所述支架为由所述罩盖的侧壁向内延 伸形成的凸片。
4.根据权利要求1所述的晶片盒，其特征在于，所述第一支撑滑杆和第二支撑滑杆穿 设于所述支架。
5.根据权利要求1所述的晶片盒，其特征在于，所述第一支撑滑杆的长度至少为所述 第二支撑滑杆的长度的二倍。
6.根据权利要求1所述的晶片盒，其特征在于，所述滑动锁件为呈弧形截面的板状结构。
7.根据权利要求1所述的晶片盒，其特征在于，还包括适于所述底盘与所述罩盖接合 的卡锁结构，所述卡锁结构包括设于所述底盘的相对二侧壁的槽口 ；设于所述底盘内的 活动块，所述活动块的末端设有对应所述槽口的卡齿，所述卡齿呈向下弯曲；设于所述罩盖 的相对二侧壁、对应于槽口的凹槽。
8.根据权利要求1所述的晶片盒，其特征在于，还包括智能标签，所述智能标签利用卡 固结构卡固于所述罩盖的侧壁。
9.根据权利要求8所述的晶片盒，其特征在于，所述卡固结构包括设于所述罩盖的侧 壁的卡槽；对应所述卡槽而卡固于所述罩盖的侧壁的辅助安装板，所述辅助安装板的相对 二侧设有限位凸块和卡槽；连接于所述智能标签的翼片，所述翼片设有分别与所述辅助安 装板的限位凸块和卡槽对应的卡孔和卡边。
10.根据权利要求1所述的晶片盒，其特征在于，所述底盘和罩盖为塑料成型构件。
专利摘要一种晶片盒，包括底盘和罩盖，所述罩盖的相对二侧壁设有把手；所述晶片盒还包括设于所述罩盖的其中一个侧壁的内表面的锁扣结构；所述锁扣结构包括设于所述罩盖的侧壁的内表面的支架，所述支架呈上宽下窄；分别活动设于所述支架的上下二端的第一支撑滑杆和第二支撑滑杆，所述第一支撑滑杆要比所述第二支撑滑杆长；活动设于所述第一支撑滑杆和第二支撑滑杆、作上下移动的滑动锁件，从而能稳固地锁固所述晶片盒内装载有晶片的晶片架，减少晶片的损伤，降低晶片的报废率，节省生产成本。
文档编号H01L21/673GK201590410SQ20092021316
公开日2010年9月22日 申请日期2009年12月15日 优先权日2009年12月15日
发明者刘明, 彭小艳, 陈宇涵, 黄晓君 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司