专利名称：石英钟罩的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石英制品领域，特别是涉及一种石英钟罩。
背景技术：
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性被广泛应用于集成电路芯片生产线。石英钟罩与保温筒及立式石英舟配套组合，多用于集成电路半导体芯片生产关键工序，是芯片 生产过程中必不可少的工具。现有的石英钟罩均为一端开口，另一端为平面封口的圆筒，这种结构的石英钟罩 其顶部不易与立式石英舟相配合，造成石英钟罩偏高，容易失稳，且其开口端与生产线密封 不严实。
发明内容针对上述领域中的不足，本实用新型提供一种石英钟罩，其开口端与生产线水平 面密封严实，且其独特的结构，使其高度降低。石英钟罩，为一端封口，另一端开口的石英圆筒，其特征在于，开口端固定有一石 英法兰。所述端一封口为封头封口。本实用新型在开口端固定一法兰，使石英钟罩与生产线水平面的接触面积增大， 其密封更加严实。封口端采用封头封口，使得石英钟罩易与立式石英舟配合，其高度稍有降 低，其具圆滑曲线的表面不易与其它物件产生磕碰，稳定性增强。本实用新型结构非常简单，紧凑，与生产线水平面密封性好，且高度上有所降低， 稳定性增强。
图1本实用新型的剖视图图中各标号列示如下1-石英圆筒，2-石英封头，3-石英法兰。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的结构作进一步的详细说明。如图1所示，石英钟罩，包括一个石英圆筒1，一端由石英封头2封口，另一端固定 有石英法兰3。石英法兰3的设计使得石英钟罩与生产线水平面的接触面积增大，密封更严 实，稳定性也增强；另一端采用石英封头2封口，使得石英钟罩的高度得以降低，也更好与 立式石英舟配合，稳定性进一步增强。[0016] 本实用新型结构非常简单，紧凑，与生产线水平面密封性好，且高度上有所降低，稳定性增强。
权利要求石英钟罩，为一端封口，另一端开口的石英圆筒，其特征在于，开口端固定有一石英法兰。
2.根据权利要求1所述的石英钟罩，所述一端封口为封头封口。
专利摘要本实用新型涉及“石英钟罩”，属于石英制品领域。石英钟罩，为一端封口，另一端开口的石英圆筒，其特征在于，开口端固定有一石英法兰。本实用新型结构非常简单，紧凑，与生产线水平面密封性好，且高度上有所降低，稳定性增强。
文档编号H01L21/00GK201556610SQ20092027795
公开日2010年8月18日 申请日期2009年12月16日 优先权日2009年12月16日
发明者刘文静, 吕炳益, 张军, 张忠恕, 张连兴, 杨继盛, 陈强, 韦冬寒 申请人:北京凯德石英塑料制品有限公司