零件安装装置及方法

专利名称：零件安装装置及方法
技术领域：
本发明涉及用于向液晶显示器用或等离子体显示器用的玻璃基板等其缘部具有 安装区域的基板安装各种零件的零件安装装置及方法。
背景技术：
在液晶显示器面板(LCD :Liquid Crystal Display)及等离子体显示器面 板(PDP =Plasma Display Panel)中，通过向设置于其玻璃基板的缘部的安装区域安装 TCP (Tape Carrier Package)零件、COF (Chip On Film)零件、COG (Chip On Glass)零件、 挠性印刷基板(FPC基板)、其他电子零件、机械零件、光学零件等零件，来制造显示器装置。目前，已知有下述零件安装方法。例如作为向基板101的长边侧和短边侧的两个 缘部102a、102b的多个安装区域(安装位置)103安装零件105的方法，利用图22所示的 示意说明图进行说明。在图22中，当搬入基板101时，首先，进行ACF粘贴工序，将各向异 性导电薄膜(以下记为ACF(Anisotropically-Conductive Film)) 104粘贴于构成用于与 零件的电极进行电接合的电极的基板101的各安装区域103上。其次，进行零件暂时压接 工序，将零件105配置在粘贴于基板101的各安装区域103的ACF104上进行暂时压接。接 着，进行正式压接工序，通过对分别暂时压接于基板101的长边侧和短边侧的安装区域103 的零件105施加按压力和热量，将零件105压接固定(即，正式压接)，并且将零件105的电 极和基板101的电极进行电连接。通过实施这些工序来安装零件105，之后，将基板101向 下道工序的装置搬出。实施这种零件安装工序的零件安装装置具有如下结构，其具备ACF粘贴装置，其 实施ACF粘贴工序；零件暂时压接装置，其实施零件暂时压接工序；零件正式压接装置，其 对长边侧及短边侧的缘部实施零件正式压接工序；输送装置，其在这些作业装置间(即， ACF粘贴装置、零件暂时压接装置、及零件正式压接装置之间)输送基板。另外，在各作业装 置中具备作业单元，其分别进行规定的作业；移动装置，其将由输送装置供给的基板接收 于基板保持部，将基板的各安装区域定位于作业单元的作业位置(例如，参照专利文献1)。在这种现有零件安装装置中，将平板状的基板以其平板面处于水平的状态进行输 送。在各作业装置中也构成为，在由基板保持部从下方支承基板的大致中央部的状态下，通 过移动装置进行基板的移动及定位，在作业单元中，在将基板的缘部载置支承于支承台上 的状态下，对缘部的安装区域的上表面进行规定的作业。另外，已知有如下装置，即，在输送显示器面板用的玻璃基板等大型薄板状工件之 际，将基板置于大致垂直姿势，利用辊列可移动驱动地支承其下端缘，且利用在与基板背面 之间形成有由静压气体构成的流体膜的飘浮腔，从背面侧飘浮支承基板的高度方向中央 部，并且从气体喷嘴向基板表面侧沿斜下方向喷射气流，由此以非接触状态且稳定的姿势 输送板面(例如，参照专利文献2)。另外，在向印刷基板安装零件的安装装置中，已知有如下装置，S卩，以减小水平设 置面积且不翻转基板就能向两面安装的方式，分别沿导轨移动自如地支承基板的上下侧缘，使设置于移动装置的卡合部件与基板的后端卡合来移动驱动基板，并且在规定位置使 定位销与设置于基板的定位孔嵌合将基板定位，从基板的表面侧将插入部件插入，用配置 于背面侧的死锁机构进行固定(例如，参照专利文献3)。专利文献1 (日本)特许第3781604号说明书专利文献2 (日本)特开2004-123254号公报专利文献3 (日本)实公平2-9599号公报近年来，显示器面板用基板的大型化的倾向更加显著。因此，如专利文献1及图22 所示，在向基板的缘部安装零件的零件安装装置中，在用输送装置将基板以水平姿势输送 且用各作业装置将水平姿势的基板的缘部定位于规定位置进行规定作业的结构中，存在装 置结构大型化且设备的设置面积大之类的问题。另外，存在用于应对零件安装的高精度要 求的设备成本随着各机械设备的大型化而进一步上升之类的问题。另外，由于基板薄型化、或一方面大型化另一方面其板厚变薄，因此，在输送水平 姿势的基板中进行基板的移动、定位的情况下，基板越远离支承的部分(例如，基板的中央 部分)越会因自重而下垂。这种情况下，在基板的移动、定位时，为了避免基板和周围的部 件发生干涉、或实现高精度的位置识别，需要进行修正基板下垂的定位等动作。因此，存在 如下问题较多地耗费基板的移动、定位所需要的时间，妨碍提高零件安装的生产节拍。另外，专利文献2中公开了如下结构，即，通过将基板以大致垂直姿势输送来降低 输送装置的设置面积，另外，能够对于基板的周缘部而言不会与输送装置以外的部件接触 又不会产生蠕动地输送基板。但是，在专利文献2公开的基板的输送方法中，仅公开了输送 基板的情况，关于零件安装装置相对于基板的上述问题的解决方法，专利文献2中既未公 开也没有启示。另外，专利文献3在向印刷基板安装零件的零件安装装置中，公开了将该印刷基 板置于垂直姿势来安装零件的结构。但是，在专利文献3中，只不过公开了用导轨支承印 刷基板的上下两侧缘而输送，且在其输送路径上的规定位置进行定位而进行零件安装的方 法。因此，专利文献3公开的零件安装装置仅限定于对如印刷基板那样面刚性高的基板进 行零件安装及输送，并不能应用于在缘部安装零件的基板。即，对于能够应用于向显示器面 板用的基板等因大型且薄而面刚性低的基板的缘部以高精度安装零件那样的零件安装装 置的技术，专利文献3中既未公开也没有启示。

发明内容
因此，本发明的目的在于解决上述课题，提供一种零件安装装置及方法，其能够高 精度地向LCD及PDP等为代表的面刚性低的薄型基板、或大型基板的缘部安装零件，并且能 够提高零件安装的生产率。为了实现上述目的，本发明的结构如下所述。根据本发明的第一方式，提供一种零件安装装置，具备输送装置，其对平板状的基板以实质上垂直姿势进行吸附保持，将所吸附保持的 基板在沿其平板面的方向上输送，并且在沿基板的输送方向设定的多个基板交接位置进行 基板的交接；多个作业装置，其分别对应于输送装置的多个基板交接位置而配置，并在作业位置对安装零件的安装区域进行用于零件安装的作业处理，其中，所述安装区域设置于从输 送装置接收到的实质上垂直姿势的基板的缘部，各作业装置具备基板保持部，其在输送装置的基板交接位置，对至少除实质上垂直姿势的基板的 下方侧缘部的安装区域以外的基板的平板面进行吸附保持；保持部移动装置，其使基板保持部移动，以将实质上垂直姿势的基板定位于输送 装置的基板交接位置和作业位置；承载部件，其能够在支承位置和从支承位置退避的退避位置之间移动，所述支承 位置是从定位于作业位置的基板的缘部的安装区域的相反侧的面即基板的背面侧支承该 安装区域的位置；以及作业单元，其从定位于作业位置的基板的缘部的安装区域一侧即基板的表面侧对 该安装区域进行作业处理。根据本发明的第二方式，提供一种如第一方式所述的零件安装装置，在各作业装 置中，保持部移动装置是使基板保持部在输送装置的基板交接位置和位于基板交接位 置下方侧的作业位置之间升降的保持部升降装置，作业单元在作业位置对设置于实质上垂直姿势的基板的下方侧缘部的安装区域 进行作业处理。根据本发明的第三方式，提供一种如第二方式所述的零件安装装置，其中，输送装 置具备多个基板输送单元，所述多个基板输送单元沿着在沿基板的平板面的方向上连续的 单一的输送路径，在基板的交接位置之间相互独立地往复移动，各基板输送单元具备吸附保持实质上垂直姿势的基板的背面侧的输送用基板保 持部。根据本发明的第四方式，提供一种如第三方式所述的零件安装装置，其中，输送装 置的各基板交接位置与在沿基板的平板面的方向上连续的单一的输送路径在水平方向上 相间隔而定位，各基板输送单元具备水平方向进退移动装置，所述水平方向进退移动装置使输送 用基板保持部在输送路径和基板交接位置之间沿水平方向进退移动。根据本发明的第五方式，提供一种如第四方式所述的零件安装装置，其中，各基板 输送单元具备旋转装置，所述旋转装置使输送用基板保持部绕与基板的平板面正交的旋转 轴旋转移动。根据本发明的第六方式，提供一种如第二方式所述的零件安装装置，其中，多个作 业装置包括接合部件粘贴装置，其向基板的安装区域粘贴接合部件；零件暂时压接装置， 其经由粘贴于基板的安装区域的接合部件暂时压接零件；以及零件正式压接装置，其将暂 时压接于基板的安装区域的零件边加热边加压而安装零件。根据本发明的第七方式，提供一种如第六方式所述的零件安装装置，其中，零件暂 时压接装置具备识别装置，其在以实质上垂直姿势定位于作业位置的基板的安装区域的位置或实 质上相当于安装区域的位置，识别基板的安装区域及零件的位置；
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控制装置，其对保持部升降装置、承载部件、作业单元、及识别装置进行动作控制，控制装置以如下方式对保持部升降装置、承载部件、作业单元、及识别装置进行动 作控制，即，利用保持部升降装置，使基板从基板交接位置下降，将基板的下方侧缘部定位 于作业位置，利用识别装置，从基板的背面侧识别基板的安装区域的位置，之后，利用升降 装置，使基板暂时退避上升到作业位置的上方，接着，利用作业单元，将要暂时压接的零件 定位于零件的暂时压接位置，利用识别装置识别零件的位置后，使零件从暂时压接位置退 避移动，之后，利用升降装置使基板下降而再次定位于作业位置，并且使承载部件移动到从 基板的背面侧支承基板的安装区域的位置，之后，利用作业单元，以所识别的基板的安装区 域和零件的位置彼此一致的方式对零件进行位置修正，从而将零件暂时压接于基板的安装 区域。根据本发明的第八方式，提供一种如第六方式所述的零件安装装置，其中，零件暂 时压接装置具备识别装置，其在以实质上垂直姿势定位于作业位置的基板的安装区域的位置或实 质上相当于安装区域的位置，识别基板的安装区域及零件的位置；控制装置，其对保持部升降装置、承载部件、作业单元、及识别装置进行动作控制，控制装置以如下方式对保持部升降装置、承载部件、作业单元、及识别装置进行动 作控制，即，利用作业单元，将要暂时压接的零件定位于零件的暂时压接位置，利用识别装 置识别零件的位置后，使零件从暂时压接位置退避移动，之后，利用保持部升降装置使基板 从基板交接位置下降，将基板的下方侧缘部定位于作业位置，且使承载部件移动到从背面 侧支承基板的安装区域的位置，之后，利用识别装置，从基板的背面侧识别基板的安装区域 的位置，之后，利用作业单元，以所识别的基板的安装区域和零件的位置彼此一致的方式对 零件进行位置修正，从而将零件暂时压接于基板的安装区域。根据本发明的第九方式，提供一种如第一 八方式中任一方式所述的零件安装装 置，其中，还具备隔断装置，所述隔断装置在输送装置和各作业装置之间，禁止在两装置之 间的物体的移动。根据本发明的第十方式，提供一种零件安装方法，具备输送工序，其利用输送装置，对平板状的基板以实质上垂直姿势进行吸附保持，将 所吸附保持的基板在沿其平板面的方向上输送，并且在沿基板的输送方向设定的多个基板 交接位置进行基板的交接；作业工序，其利用分别对应于多个基板交接位置而配置的作业装置，在作业位置 对安装零件的安装区域进行用于零件安装的作业处理，其中，所述安装区域设置于实质上 垂直姿势的基板的下方侧缘部，各作业工序包括第一作业工序，其在输送装置的基板交接位置，对至少除实质上垂直姿势的基板 的下方侧缘部的安装区域以外的基板的平板面进行吸附保持，并以实质上垂直姿势将基板 定位在位于基板交接位置下方的作业位置；第二作业工序，其使承载部件向定位于作业位置的基板的安装区域的相反侧的面 即背面移动，并从基板的表面侧对处于由承载部件从基板的背面侧支承基板的安装区域的 状态的基板的安装区域进行作业处理。
根据本发明的零件安装装置，由于以实质上垂直姿势处理基板，因此，能够减小装 置结构及其设置面积，并能够大幅度地将设备成本低廉化。另外，由于将基板从输送装置交 接于作业装置进行安装作业，因此，无需特别提高输送装置的精度，并且，即使基板为薄型 或大型且面刚性小，也无需设置用于确保平面度的复杂机构，也无需进行用于确保平面度 的动作。因此，在基板的输送中及对基板进行作业处理之际，能够维持基板的平面度，并且 能够用简单的装置结构以高位置精度安装零件。根据本发明的零件安装方法，由于以实质上垂直姿势处理基板，因此，能够减小为 实施零件安装方法而所需的装置结构及其设置面积，能够大幅度地将设备成本低廉化。另 外，由于将基板从输送装置交接于作业装置进行安装作业，因此，无需特别提高输送装置的 精度，并且，即使基板为薄型或大型且面刚性小，也无需设置用于确保平面度的复杂机构， 也无需进行用于确保平面度的动作。因此，在基板的输送中及对基板进行作业处理之际，能 够维持基板的平面度，并且能够用简单的装置结构以高位置精度安装零件。


本发明的上述方式和特征根据与针对附图的优选实施方式相关的下述记载而明 确。在附图中，图IA是表示本发明第一实施方式的零件安装装置的基本结构的概念图(俯视 图)；图IB是表示第一实施方式的变形例的零件安装装置的基本结构的概念图(俯视 图)；图2是表示第一实施方式的零件安装工序的立体图；图3是第一实施方式的零件安装装置所具备的输送装置的主视图；图4是表示第一实施方式的零件安装装置的整体概要结构的立体图；图5是表示第一实施方式的零件安装装置的概要结构的俯视图；图6A是第一实施方式的零件安装装置的ACF粘贴装置的结构和动作的说明图，是 对将基板定位于作业位置的动作进行说明的侧视图；图6B是第一实施方式的零件安装装置的ACF粘贴装置的结构和动作的说明图，是 对支承基板的缘部并粘贴ACF的动作进行说明的侧视图；图7A是表示第一实施方式的零件安装装置的ACF粘贴装置的动作工序的图，是表 示输送装置和ACF粘贴装置之间的基板的交接工序的侧视图；图7B是表示第一实施方式的零件安装装置的ACF粘贴装置的动作工序的图，是表 示ACF粘贴工序的侧视图；图8A是表示第一实施方式的零件安装装置的零件暂时压接装置的动作工序的 图，是表示输送装置和零件暂时压接装置之间的基板的交接工序的侧视图；图8B是表示第一实施方式的零件安装装置的零件暂时压接装置的动作工序的 图，是表示零件暂时压接工序的侧视图；图9是第一实施方式的零件安装装置提供的正式压接装置的侧视图；图10是第一实施方式的正式压接装置的正式压接单元的侧视图；图IlA是表示第一实施方式的零件安装装置的正式压接装置的动作工序的图，是
9表示输送装置和正式压接装置之间的基板的交接工序的侧视图；图IlB是表示第一实施方式的零件安装装置的正式压接装置的动作工序的图，是 表示压接工序的侧视图；图12A是表示该第一实施方式的零件安装工序中的基板状态的侧视图；图12B是表示现有例的零件安装工序中的基板状态的侧视图；图13是表示第一实施方式的零件安装装置的基板旋转动作时的状态的主视图；图14是本发明第二实施方式的零件安装装置的正式压接装置的立体图；图15是第二实施方式的零件安装装置的正式压接装置所具备的正式压接单元的 侧视图；图16是第二实施方式的正式压接装置的变形结构例的正式压接单元的侧视图；图17是第二实施方式的正式压接装置中的正式压接单元的动作工序的时间图；图18A是表示本发明第三实施方式的零件安装装置所具备的正式压接装置的图， 是表示通常动作状态的侧视图；图18B是表示本发明第三实施方式的零件安装装置的正式压接装置的图，是表示 使隔断装置动作的状态的侧视图；图19A是对本发明第四实施方式的零件安装装置的一个使用方式的例子进行说 明的俯视图；图19B是对与图19A不同的使用方式的例子进行说明的俯视图；图20是将本发明的零件安装装置应用于经由安装于基板缘部的零件而在基板上 进一步安装印刷电路基板的工序中的例子的侧视图；图21A是表示经由安装于基板缘部的零件而安装印刷电路基板的现有例的图，是 安装有印刷电路基板的状态的俯视图；图21B是表示经由安装于基板缘部的零件而安装印刷电路基板的现有例的图，是 安装有印刷电路基板的状态的主视图；图22是表示现有例的对水平基板安装零件的零件安装工序的立体图。
具体实施例方式在继续本发明的记述之前，在附图中，对于相同的零件标注相同的参照符号。下面，参照图1 图21，对将本发明应用于在IXD及PDP玻璃基板等基板上安装 TCP及COF等零件的零件安装装置的各实施方式进行说明。(第一实施方式)首先，参照图1 图13对本发明的第一实施方式的零件安装装置进行说明。在图1A、图IB及图2中，该第一实施方式的安装对象即基板1例如将一个边长为 数IOOmm 2000mm左右的长方形且0. 5 0. 7mm左右厚度的两块玻璃板贴合而形成为平 板状。在基板1中，彼此相邻的长边和短边的两个缘部2a、2b是所贴合的玻璃板中仅一块 玻璃板突出的部分，在各自的缘部2a、2b中的一块玻璃板的表面配置有安装零件的区域即 多个安装区域3。在各安装区域3隔开间隔配置有多个连接电极部，所述连接电极部通过透 明电极即许多连接电极以细微间隙并联配置而形成。当将该基板1搬入零件安装装置10 时，以实质上垂直姿势被输送装置11吸附保持的基板1在以沿基板1的平板面的方向为输送方向的输送线Ila上进行输送(输送工序)。这种平板状的基板1也可以称为例如“面 板基板”或“面板”。在零件安装装置10中，在由输送装置11输送基板1期间，依次进行如下工序，即， ACF粘贴工序，其在设置于基板1的缘部2a、2b的各安装区域3粘贴接合部件即各向异性导 电薄膜(以下，称为ACF) 4 ；零件暂时压接工序，其经由粘贴于各安装区域3的ACF4 JfTCP 等零件5加热加压而暂时压接于各安装区域3 ；零件正式压接工序，其以比零件暂时压接工 序高的温度和压力将暂时压接的零件5加热加压，将基板1的连接电极和零件5的连接电 极相互连接，并在该状态下使ACF4固化，从而将零件5固定于基板1。在零件安装装置10 中，通过进行上述各作业工序，将零件5安装于基板1的缘部2a、2b的各安装区域3，并搬出 安装有零件5的基板1。另外，在图IA及图2中，在不同的工序中进行暂时压接于长边侧的 缘部2a的零件5的正式压接、和暂时压接于短边侧的缘部2b的零件5的正式压接，但也可 以代替这种情况，如图IB所示，在单一工序中进行对暂时压接于长边侧的缘部2a及短边侧 的缘部2b的零件5的正式压接。为了执行如上所述的各安装工序，零件安装装置10以沿着沿基板1的平板面的方 向即输送装置11的输送方向(X轴方向)相互邻接的方式配置有如下装置(参照图1A)， 即ACF粘贴装置12，其进行ACF粘贴作业；零件暂时压接装置13，其进行零件暂时压接作 业；正式压接装置14、15，其对基板1的长边侧的缘部2a和短边侧的缘部2b分别进行零件 的正式压接作业。另外，也可以是如下情况，即，代替图IA的正式压接装置14、15，将对基 板1的长边侧的缘部2a及短边侧的缘部2b进行零件正式压接作业的单一的正式压接装置 14(参照图1B)装设于零件安装装置10。另外，在图IA及图IB中，参照符号16所示的装 置是零件暂时压接装置13具备的零件供给装置。另外，在以下的说明中，在对ACF粘贴装 置12、零件暂时压接装置13以及正式压接装置14、15通用的结构进行说明时，有时简单地 称为作业装置12 15。另外，在该第一实施方式中，ACF粘贴作业、零件暂时压接作业、及 正式压接作业为用于将零件5安装于基板1的作业处理的一个例子。如图3 图5所示，在输送装置11中，沿构成输送线Ila的连续的单一输送路径 构成部件17，分别对应于作业装置12 15设有可彼此独立地往复移动的多个基板输送单 元18。在基板的搬入位置和与各作业装置12 15对向的位置即基板交接位置和基板的搬 出位置之间，各基板输送单元18与其他基板输送单元18可以独立地往复移动。如图7A、图7B、图8A、图8B、及图9所示，各基板输送单元18具备输送用基板保 持部19，其对基板1以实质上垂直姿势进行吸附保持；升降装置20，其将输送用基板保持部 19沿上下方向即垂直方向移动及定位；水平方向进退移动装置21，其使输送用基板保持部 19向作业装置沿水平方向(即，Y轴方向)进行进退动作，以将输送用基板保持部19所吸 附保持的基板1相对于各作业装置12 15进行交接；旋转装置22，其使输送用基板保持 部19绕水平轴心(即，绕与基板1的平板面正交的旋转轴)至少以大致90度的旋转角度 范围正反旋转。在图7A、图7B、图8A、图8B、及图9中，参照符号17a是辅助导向部件，所述 辅助导向部件与输送线Ila平行地配置于输送路径构成部件17的下部，支承并引导基板输 送单元18的下部以确保其沿输送方向移动自如。各作业装置12 15具备基板保持部23，所述基板保持部23对从基板输送单元 18交接来的实质上垂直姿势的基板1，吸附至少除其缘部2a、2b的安装区域3以外的平板面而进行保持。另外，如图6A所示，各作业装置12 15具备保持部升降装置(保持部移 动装置的一个例子)24，所述保持部升降装置24以如下方式使基板保持部23升降，S卩，使该 基板保持部23吸附保持的基板1从自基板输送单元18接收的实线所示的基板交接位置下 降到其下方的假想线(双点划线)所示的作业位置进行定位，在作业处理结束后，上升到相 对于基板输送单元18的基板交接位置。下面，对各作业装置12 15的各自固有的结构和 动作进行说明。首先，参照图4、图6A、图6B、图7A、及图7B对ACF粘贴装置12的结构及动作进行 说明。如图6B所示，ACF粘贴装置12具备通过组合承载部件25和粘贴头26而构成的多 个ACF粘贴单元(作业单元的一个例子)27。所述承载部件25能够在支承位置(图6B的 实线位置)和从支承位置退避的退避位置(图6B的假想线(双点划线)位置)之间移动， 所述支承位置是从定位于作业位置的基板1的下方侧缘部2a或2b的安装区域3的相反侧 的面即基板1的背面侧支承该安装区域3的位置。所述粘贴头26从定位于作业位置的基 板1的安装区域3侧即基板1的表面侧相对于该安装区域3粘贴ACF4。如图4所示，作为 多个ACF粘贴单元27，例如在图示例子中，ACF粘贴装置12对应于长边缘部2a的安装区域 3的数量装设有三台ACF粘贴单元27。另外，在ACF粘贴装置12中，各ACF粘贴单元27沿 基板1的缘部2a、2b(即，沿X轴方向)分别独立或分别通过独立的驱动而移动自如地支承 于直线导向件28，通过直线电动机(未图示)，使配置于直线导向件28上的多个ACF粘贴 单元27移动，通过变更各自的配置间隔及位置而能够进行定位。在该ACF粘贴装置12中，如图6A及图7A所示，当将基板1从输送装置11接收于 基板保持部23时，如图6B及图7B所示，使基板1下降到作业位置而定位，在使ACF粘贴单 元27动作而从基板1的安装区域3的背面侧支承于承载部件25的状态下，利用粘贴头26 从表面侧将ACF4粘贴于安装区域3。此时，在该第一实施方式中，如图3及图4所示，利用 以分别与各安装区域3对向的方式进行了移动及定位的多个ACF粘贴单元27，一次性或依 次将ACF4对准三个安装区域3而粘贴于基板1的一缘部即长边侧的缘部2a。之后，使基板 保持部23从作业位置上升到基板交接位置，将基板1交接于输送装置11的输送用基板保 持部19，通过由旋转装置22使输送用基板保持部19旋转90度，使基板1的另一缘部即短 边侧的缘部2b位于下方侧。与此同时，使升降装置20动作，使该下方侧的缘部2b位于用 于向基板保持部23交接基板1的基板交接位置的规定高度位置。之后，再如图6A及图7A 所示，将基板1从输送装置11交接于基板保持部23，如图6B及图7B所示，使基板1下降 到作业位置而定位，与相对于缘部2a粘贴ACF4的粘贴动作同样地，将ACF4粘贴于缘部2b 的安装区域3。此时，在该第一实施方式中，由于基板1的短边侧的缘部2b具有两个安装 区域3，因此，使三个ACF粘贴单元27内的两个对向配置于各安装区域3，剩余的ACF粘贴 单元27在其侧方位置以不与基板1干涉的方式退避而不进行动作。在这种状态下，使两个 ACF粘贴单元27动作而粘贴ACF4，之后，使基板保持部23上升到相对于输送用基板保持部 19的基板交接位置，将基板1交接于输送装置11侧的输送用基板保持部19。之后，为了基 板1向下道工序输送的输送姿势，在输送装置11中，通过旋转装置22使输送用基板保持部 19恢复旋转90度，并且向下一零件暂时压接装置13输送基板1。接着，参照图4、图5、图8A、及图8B对零件暂时压接装置13的结构及动作进行说 明。零件暂时压接装置13装设有可动台29，所述可动台29配置在定位于作业位置的基板
121的下方侧的缘部2a或2b的安装区域3的背面侧，在沿基板1的下方侧的缘部2a或2b的 方向上移动，从而可定位于基板1的各安装区域3的位置。在该可动台29上搭载有承载 部件30，其能够在从安装区域3的背面侧支承基板1的缘部2a或2b的支承位置和从支承 位置退避的退避位置之间进退移动，且由石英等透明部件形成；识别装置即一对识别照相 机31，其通过透明的承载部件30来识别设置于安装区域3及零件5的各自的规定位置处的 位置标记(未图示)。另外，在零件暂时压接装置13中，在基板1的下方侧的缘部2a或2b 的表面侧装设有零件暂时压接单元(作业单元的一个例子)32，所述零件暂时压接单元32 将由零件供给装置16供给的零件5 (5a、5b)暂时压接在定位于作业位置的基板1的缘部2a 或2b的各安装区域3。零件暂时压接单元32具备零件供给装置16，其进行安装于基板1的安装区域3 的零件5的供给；暂时压接头35，其保持从零件供给装置16供给的零件5，经由ACF4将零 件5加热、加压而暂时压接于位于作业位置的基板1的下方侧的缘部2a或2b的安装区域 3。零件供给装置16具备零件交接部38，所述零件交接部38配置为可将从后述的带状零件 集合体取出的零件5交接于暂时压接头35，该零件交接部38位于作业位置的下方侧。另 外，零件暂时压接单元32具备双轴机器人33，所述双轴机器人33使暂时压接头35在沿基 板1的下方侧的缘部2a或2b的方向即X轴方向、和铅直方向即Z轴方向上移动。通过该 双轴机器人33使暂时压接头35沿X轴方向移动，由此，能够将暂时压接头35相对于基板1 的下方侧的缘部2a或2b的各自的安装区域3定位。另外，通过该双轴机器人33使暂时压 接头35沿Z轴方向移动，由此，能够使暂时压接头35在位于作业位置的状态的基板1的下 方侧的缘部2a或2b的各自的安装区域3和零件供给装置16的零件交接部38之间升降。 另外，暂时压接头35可绕沿垂直于基板1的平板面的方向即Y轴方向配置的旋转轴旋转。 这样，通过使暂时压接头35能够沿各方向移动，能够将供给到零件交接部38的零件5保持 于暂时压接头35，对零件5的位置进行精度良好地位置修正，将零件5加热、加压而暂时压 接于位于作业位置的基板1的缘部2a或2b的安装区域3。零件供给装置16具备零件供给单元36a，其供给向基板1的长边侧(源极侧)的 缘部2a安装的零件5a;零件供给单元36b，其供给向短边侧(栅极侧)的缘部2b安装的零 件5b。零件供给单元36a和零件供给单元36b以使零件暂时压接单元32的双轴机器人33 的下端部处于大致中央的方式对称地配置于X轴方向的两侧，在从后述的各带状零件集合 体取出零件5a、5b的位置，以彼此对向的方式配置有零件取出部37a、37b。另外，零件供给 装置16还装设有移送头39，所述移送头39将由各零件取出部37a、37b取出的零件5 (5a、 5b)移送到零件交接部38。零件供给单元36a、36b分别具备卷绕有将多个零件5(5a、5b) 保持于保持带的带状零件集合体的供给卷盘40、和回收由零件取出部37a、37b取出了零件 5(5a、5b)后的保持带的卷取卷盘41，通过将带状零件集合体依次间歇进给到零件取出部 37a、37b而能够取出零件5 (5a、5b)。移送头39被构成为，吸附保持由任一零件取出部37a、 37b取出的零件5(5a、5b)，向零件交接部38移动并交接于零件交接部38。零件交接部38 将所供给的零件5(5a、5b)吸附保持到交接于暂时压接头35。在该零件暂时压接装置13中，如图8A所示，当在基板交接位置将基板1从输送装 置11的输送用基板保持部19接收于基板保持部23时，如图8B所示，通过保持部升降装置 24，使基板1从基板交接位置下降到作业位置而定位。之后，在由承载部件30从基板1的安装区域3的背面侧支承基板1的状态下，通过零件暂时压接单元32的暂时压接头35，从 表面侧将零件5加热、加压而暂时压接于安装区域3。详细而言，当基板1定位于作业位置 时，利用识别照相机31，从基板1的安装区域3的背面侧高精度地识别安装区域3的基板1 的平板面方向的位置(即，XZ平面内的位置)，之后，通过保持部升降装置24将基板1从作 业位置暂时退避上升到上方。需要说明的是，此时，也可以在承载部件30移动到支承作业 位置的基板1的支承位置而将基板1的安装区域3的基板1的厚度方向的位置限制到暂时 压接时的位置即支承位置的状态下，利用识别照相机31，识别基板1的安装区域3的位置。 接着，通过零件暂时压接单元32的暂时压接头35，使暂时压接于安装区域3的零件5移动 到暂时压接位置，由识别照相机31高精度地识别零件5的位置，之后，通过暂时压接头35， 使零件5从暂时压接位置暂时退避移动。接着，通过保持部升降装置24，将基板1再次定位 于作业位置，基于之先识别的安装区域3的位置信息和零件5的位置信息，以两位置彼此一 致的方式，由暂时压接头35修正零件5的位置，通过暂时压接头35将零件5加热加压而暂 时压接于基板1的安装区域3。零件5向基板1的安装区域3的暂时压接顺序不局限于这种方法，可以采用其他 各种方法。例如，也可以为按照后述的动作顺序进行如下的动作，所述动作为通过保持部 升降装置24，使基板1从基板交接位置下降到作业位置而定位，在由承载部件30从基板1 的安装区域3的背面侧支承基板1的状态下，通过零件暂时压接单元32的暂时压接头35， 从表面侧将零件5暂时压接。所述动作顺序为首先，通过暂时压接头35，使暂时压接于安 装区域3的零件5移动到暂时压接位置，利用识别照相机31，高精度地识别零件5的位置， 之后，通过暂时压接头35，使零件5从暂时压接位置暂时退避移动。之后，通过保持部升降 装置24，使基板1的下方侧的缘部2a或2b从基板交接位置下降到作业位置，且使承载部件 30移动到支承基板1的安装区域3的背面侧的位置，利用识别照相机31，从安装区域3的 背面侧高精度地识别安装区域3的基板1的平板面方向的位置。需要说明的是，此时，也可 以在安装区域3的位置识别后，由承载部件30从基板1的安装区域3的背面侧支承该安装 区域3。接着，基于已识别的安装区域3的位置信息和零件5的位置信息，以两位置彼此一 致的方式，由暂时压接头35修正零件5的位置，通过暂时压接头35将零件5加热、压接而 暂时压接于基板1的安装区域3。通过设为这种动作顺序，能够消减在基板1的安装区域3 的位置识别后由保持部升降装置24使基板1暂时向上方退避上升的时间、和再次向作业位 置定位的时间。这样，当完成零件5相对于缘部的一个安装区域3的暂时压接时，使搭载有承载部 件30及识别照相机31的可动台29和零件暂时压接单元32移动到与下一安装区域3对向 的位置，按照上述的顺序进行零件暂时压接动作。需要说明的是，零件暂时压接单元32和 可动台29虽然设为分体，但也可以构成为一体而移动到对应于基板1的安装区域3的位 置。重复该动作直到首先完成零件5 (5a)相对于基板1的一缘部即长边侧的缘部2a的所 有安装区域3的暂时压接。接着，使基板保持部23从作业位置上升到基板交接位置，将基 板1交接于输送装置11侧的输送用基板保持部19，通过旋转装置22，使输送用基板保持部 19旋转90度，成为基板1的另一缘部即短边侧的缘部2b位于下方侧的状态。之后，以基板 1的下方侧的缘部2b位于基板交接位置的规定高度位置的方式使升降装置20动作。接着， 如图8A所示，在基板交接位置，将基板1再次从输送装置11交接于基板保持部23，如图8B
14所示，使基板1下降到作业位置而定位，与上述的顺序同样地，将零件5 (Sb)暂时压接于基 板1的短边侧的缘部2b的所有安装区域3。之后，使基板保持部23从作业位置上升到基板 交接位置，将基板1交接于输送装置11的输送用基板保持部19。之后，为了基板1向下道 工序输送的输送姿势，在输送装置11中，通过旋转装置22使输送用基板保持部19恢复旋 转90度，并且向下一正式压接装置14输送基板1。接着，参照图4、图5、图9、图10、图11A、及图IlB对正式压接装置14的结构及动 作进行说明。如图4、图5所示，正式压接装置14具备由承载部件43和正式压接头44的组 合构成的多个正式压接单元(作业单元的一个例子)42。所述承载部件43能够在支承位 置和从支承位置退避的退避位置之间移动，所述支承位置是从定位于作业位置的基板1的 下方侧的缘部2a的安装区域3的背面侧支承该安装区域3的位置。所述正式压接头44对 暂时压接于基板1的安装区域3的零件5，以比暂时压接高的温度和压力进行加热、加压而 压接(正式压接)。如图4所示，作为多个正式压接单元42，例如，在图示的例子中，正式压 接装置14与基板1的长边侧缘部2a的安装区域3的数量相对应地装设有三台正式压接单 元42。另外，在正式压接装置14中，这些正式压接单元42沿基板1的缘部2a (即，沿X轴 方向)分别独立或分别通过独立的驱动而移动自如地支承于直线导向件45，通过直线电动 机(未图示)，使配置于直线导向件45上的多个正式压接单元42移动，通过变更各自的配 置间隔及位置而能够进行定位。利用图9、图10、图11A、及图IlB对正式压接装置14的更具体的结构进行说明。 各正式压接单元42具备移动支承台46，所述移动支承台46可沿着沿基板1的平板面的方 向即直线导向件45的方向(即，X轴方向)分别独立或分别通过独立的驱动而移动及定位。 在移动支承台46的上部搭载有承载部件43，其从定位于作业位置的基板1的下方侧缘部 2a的安装区域3的背面侧支承该安装区域3 ；正式压接头44，其对暂时压接于表面侧的零 件5进行加热、加压。承载部件43在支承位置和退避位置之间可沿Y轴方向进退移动，正 式压接头44通过滑动导向件47可相对于承载部件43(即，沿Y轴方向)进退移动。在移 动支承台46的下部以位于正式压接头44的下方的方式配置有气缸装置48，其活塞杆前端 48a和正式压接头44的与基板1的缘部2a侧相反侧的后端44a可转动地连结于摆动联杆 49的上下端，所述摆动联杆49摆动自如地支承在中间部设置于移动支承台46的支轴50 上。由此，通过使气缸装置48沿Y轴方向进退动作，可以经由摆动联杆49使正式压接头44 沿Y轴方向进退动作，并由正式压接头44进行正式压接动作。另外，图10的参照符号46a 是设置于移动支承台46的电动机，经由齿轮齿条机构(未图示)等，将移动支承台46进行 移动、定位。在该正式压接装置14中，如图IlA所示，当在基板交接位置将基板1从输送装置 11的输送用基板保持部19接收于基板保持部23时，如图IlB所示，使基板1下降到对基板 1的缘部2a进行零件的正式压接作业的作业位置而定位。之后，在使正式压接头42动作而 由承载部件43从基板1的长边侧缘部2a的各安装区域3的背面侧支承该各安装区域3的 状态下，通过压接头44从表面侧将零件5的暂时压接部分加热、加压而正式压接。此时，在 该第一实施方式中，如图3及图4所示，通过三台正式压接单元42，将暂时压接于基板1的 一缘部即长边侧的缘部2a的三个零件5 —次性正式压接。之后，使基板保持部23从作业 位置上升到基板交接位置，在基板交接位置，将基板1交接于输送装置11的输送用基板保持部19，通过旋转装置22使输送用基板保持部19旋转90度，使基板1的另一缘部即短边 侧的缘部2b位于下方侧。与此同时，以该下方侧的缘部2b成为基板1向下道工序的基板 保持部23交接的基板交接位置的规定高度位置的方式使升降装置20动作，向下一正式压 接装置15输送基板1。如图4所示，正式压接装置15是将暂时压接在定位于作业位置的基板1的短边侧 的缘部2b的各安装区域3的零件5正式压接的装置，对应于短边侧的缘部2b的安装区域 3的数量装设有两台正式压接单元42，这一点与正式压接装置14的结构不同，其他结构及 动作与正式压接装置14相同，省略其说明。另外，上述的输送装置11、ACF粘贴装置12、零 件暂时压接装置13及正式压接装置14、15连接于控制装置(未图示)，由控制装置进行动 作控制，以进行上述说明的各自的动作。根据上述该第一实施方式的零件安装装置，如图12A所示，由于在将基板1置于实 质上垂直姿势的状态下进行用于输送和安装的规定的作业处理，因此，与如图12B所示在 将基板1置于水平姿势的状态下进行输送和作业处理的现有零件安装装置相比，能够减小 装置结构及其设置面积。因此，在处理特大型的基板1的零件安装装置中，能够大幅度地降 低设备成本。而且，由于基板1为实质上垂直姿势，因此，在用输送用基板保持部19及基板 保持部23吸附保持基板1的状态下，几乎不会对基板1作用在其整个面上沿厚度方向(与 基板1的平板面正交的方向)挠曲或沿厚度方向剥离那样的力。因此，在基板1为例如大型 的显示器面板用的玻璃基板的情况下，也能够降低对其显示功能带来不良影响的可能性。另外，在该第一实施方式中，在输送装置11和各作业装置12 15之间，以实质上 垂直姿势交接基板1，在各作业装置12 15中，以实质上垂直姿势接收基板1并将其定位 于下方的作业位置(第一作业工序)，通过承载部件25、30、43，在基板1的下方侧的缘部从 背面侧进行支承进行作业处理(第二作业工序)。另一方面，在现有技术的水平姿势下，如 图12B所示，基板1自身及进行了暂时压接等的状态的零件5，通过其自重会发生挠曲及下 垂。相对于此，在该第一实施方式中，由于基板1以实质上垂直姿势进行处理，因此，即使基 板1为大型或薄型且面刚性低那样的基板，基板1的自重也不会以使平板面挠曲的方式起 作用。因此，不需要设置用于确保基板1的平面度的复杂机构或进行用于确保基板1的平 面度的动作，就能够如图12A所示在输送中及作业处理时维持基板1的平面度。因此，用简 单的装置结构，就能够以高的位置精度将零件安装在设置于面刚性低的大型或薄型基板1 的缘部2a、2b的安装区域3。另外，即使不特别提高零件安装装置10的横跨全长的成为大规模结构的输送装 置11的精度，也能够通过提高各作业装置12 15、特别要求精度的零件暂时压接装置13 的精度来实现高精度的零件安装，并能够用低廉的结构实现高精度的安装。由此，输送装置 11也可以通过在输送方向上多个分割的构造组合，成为横跨零件安装装置全长的结构。另 外，当在各作业装置12 15对基板1的一个缘部2a或2b的安装区域3的作业处理结束 后，从各作业装置12 15将基板1交接于输送装置11，将基板1在输送装置11侧旋转90 度。而且，在输送装置中，能够变更地设定基板的交接高度，以使基板的下方侧缘部的下端 部或暂时压接于安装区域等的零件的下端部成为向作业装置交接的基板交接位置的基准 高度，由此，在各作业装置12 15中，从基板交接位置下降规定的大致一定距离到作业位 置而进行作业处理。因此，能够将各作业装置12 15形成为简单且紧凑的结构，能够实现
16装置成本的降低。另外，在如现有技术那样以水平姿势输送基板进行零件安装的面向大型 基板的零件安装装置中，当进行对小型基板的零件安装时，即使基板为小型，也得通过移动 装置支承基板的下表面中央部侧来对作业装置进行定位，因此，定位动作时的移动距离变 大。另外，在现有的以水平姿势进行的输送中，由于基板的输送距离也与大型基板的情况相 同，因此，在小型基板的情况下，需要减小生产节拍提高生产率，尽管如此，定位动作的节拍 反倒比大型基板的情况长，存在生产率下降之类的问题。因此，在现有装置中，需要根据大 型基板和小型基板不同的规格来设计、制造零件安装装置，存在设备成本巨大之类的问题。 与此相对，在该第一实施方式的采用垂直姿势的输送的零件安装装置中，即使基板1的尺 寸变化，也能够与基板1的尺寸大小无关地以较短的节拍进行安装作业，在用同一设备对 从小尺寸的基板到大尺寸的基板进行零件安装的情况下，也能够确保高生产率。另外，在该第一实施方式中，当在各作业装置12 15对基板1的一个缘部2a或 2b的安装区域3的作业处理结束后，从各作业装置12 15将基板1交接于输送装置11的 输送用基板保持部19，通过旋转装置22使基板1在输送装置11侧旋转90度，进而，可以通 过升降装置20使输送用基板保持部19升降。因此，通过调节该旋转动作时的输送用基板 保持部19的高度位置，如图9及图13所示，即使在基板1为大型的情况下，也能够在旋转 装置20实现的基板1的最大旋转半径轨迹51的上端和设备的顶面52之间确保规定的安 全距离d。此时，最大旋转半径轨迹51的下部穿过距作业装置12 15 (在图13中，例示正 式压接装置14)的上端位置相当于距离H的下方的位置，但如图9所示，由于输送装置11 相对于比各作业装置12 15靠跟前的作业者侧，位于各作业装置12 15的相反侧(内 侧)的侧方，因此，在基板1的输送装置11的旋转装置22的旋转时，完全没有干涉的可能 性。因此，如图9及图13所示，仅在输送装置11的下部确保用于基板1旋转的适当的空间 即可。另外，在如现有那样以水平姿势输送基板而进行零件安装的零件安装装置中，输 送装置及作业装置的水平面尺寸大，并且，作业装置通过移动装置使从输送装置接收的基 板向位于远离输送装置的位置的作业单元的作业位置移动而定位，因此，从输送装置跟前 到作业装置的作业位置或作业单元的距离增大。因而，这些装置的维护保养时的作业性极 差，存在各作业装置的每次维护保养都必须将机械设备的整体运转停止之类的问题。与此 相对，在该第一实施方式中，由于以实质上垂直姿势处理基板1，因此，比各作业装置12 15靠跟前的作业者侧和各作业装置12 15的空间、及输送装置11和作业装置12 15之 间的空间变小，因此也能够容易地进行维护保养作业。(第二实施方式)接着，参照图14 17对本发明第二实施方式的零件安装装置进行说明。另外， 在以下的该第二实施方式的说明中，对与上述的实施方式相同的结构要素标注同一参照符 号，省略其说明，主要对不同点进行说明。该第二实施方式的零件安装装置只有正式压接装置14、15的结构与上述第一实 施方式不同，另外，正式压接装置14和正式压接装置15的结构也如上所述彼此基本相同， 因此，以两正式压接装置14及15为代表，对将暂时压接于基板1的短边侧的缘部2b的两 个零件5进行正式压接的正式压接装置15进行说明。在该第二实施方式的正式压接装置15中，如图14及图15所示，设有控制各正式压接单元42的气缸装置48的正式压接头44的按压动作速度的速度控制装置53。具体而 言，速度控制装置53具备限制部件54和移动控制装置55，所述限制部件54与安装于各正 式压接单元42的气缸装置48的活塞杆前端48a和摆动臂49的连结部的辊49a在气缸装 置48的进退方向(图示Y轴方向)上可离开地卡合，所述移动控制装置55在气缸装置48 的进退方向上对限制部件54进行移动控制。正式压接单元42通过沿直线导向件45的滑 动方向驱动的电动机46a进行移动及定位。限制部件54延伸配置在与X轴方向的直线导 向件45的延伸范围大致相同的长度范围内。直线导向件45及移动控制装置55配设于共 用的基座部件56上，在将正式压接单元42定位于X轴方向的滑动范围内的任何位置的情 况下，速度控制装置53的限制部件54都能够直接发挥功能、即可与辊49a抵接。另外，基 座部件56可沿X轴方向移动及定位地配置于支承框架57上，所述支承框架57跨沿基板1 的输送方向进行各作业装置12 15的至少一个作业工序的范围(区域)沿X轴方向延伸 配置。因此，在基板1的尺寸变化较大且基板1的缘部2a、2b的安装区域3的间隔大的情 况下，也能够应对。另外，在图14及图15的图示例子中，例示了使用平板状的基座部件56的例子，但 也可以如图16所示，代替基座部件56，使用截面形状L字状且刚性更高的基座框架58，所 述基座框架58配置有直线导向件45，其引导支承移动支承台46的下表面使其移动自如； 直线导向件59，其引导支承移动支承台46的输送装置11侧的侧面(图示Y轴方向右侧的 侧面)使其移动自如。在采用这种结构的情况下，能够将正式压接单元42构成为可移动， 同时通过基座框架58的刚性，能够进一步确保高位置精度。参照图17对该第二实施方式的正式压接装置15的动作进行说明。在正式压接动 作的开始时的时间Tl，辊49a和限制部件54之间隔开距离，从该状态起，从正式压接头44 的原点位置即气缸装置48收缩的位置开始气缸装置48的伸长动作。随着气缸装置48的 伸长动作，通过摆动杆49，正式压接头44向承载部件43移动，使两者的间隔逐渐变小。在 时间T2，当正式压接头44和承载部件43之间的间隔为Dl时，辊49a与限制部件54抵接， 之后，辊49a的移动速度受限制部件54的移动速度的限制。通过气缸装置48的伸长，正式 压接头44通过设有辊49a的摆动臂49的摆动动作而向承载部件43的移动与限制部件54 的移动同步而被限制。通过移动控制装置55进行控制，使得限制部件54的移动速度在正 式压接头44和承载部件43之间的间隔达到正式压接头44与零件5抵接的规定间隔D2之 前被减速，从而可靠地防止正式压接头44与零件5冲击性的抵接。在时间T3，当正式压接 头44和承载部件43之间的间隔为D2而正式压接头44与零件5抵接时，辊49a的移动大 致停止。另外，利用移动控制装置55，使限制部件54持续移动到与辊49a以间隔且产生间 隙的方式稍离开的规定位置，由此，限制部件54成为离开辊49a的状态。由此，气缸装置48 的输出荷载通过摆动杆49可靠地传递于正式压接头44，通过正式压接头44，以规定的按压 力按压零件5。通过该按压状态维持到时间T4，以零件5经由ACF4正式压接于基板1的下 方侧的缘部2a、2b的安装区域3的方式，由正式压接头44对零件5以规定的温度和压力进 行加热、加压，由此零件5被正式压接于基板1的安装区域3。当到达时间T4时，气缸装置 48进行恢复收缩动作，按压力被解除，在时间T5，正式压接头44恢复到原点位置。之后，限 制部件54也通过移动控制装置55而恢复到原点位置。这样，在该第二实施方式中，装设有速度控制装置53，在速度控制装置53通过气缸装置48使正式压接头44向承载部件43移动的情况下，可与正式压接单元42离开和抵 接地控制该正式压接头44的移动速度，由此，能够使用简单且紧凑的气缸装置，同时能够 以较短的节拍且不会冲击性地加载负载地以所希望的加压力将零件5经由ACF4正式压接 于基板1的安装区域3。因此，能够形成如下所述的紧凑的装置结构，即，能够使各正式压接 单元42与基板1的安装区域3的配置间隔相一致地分别并行动作，并能够移动各自的位置 而并列配置。(第三实施方式)接着，参照图18A及图18B对本发明第三实施方式的零件安装装置进行说明。如图18A及图18B所示，在该第三实施方式的零件安装装置10中，装设有将输送 装置11和各作业装置12 15(图18A及图18B中，例示正式压接装置14)之间隔断的隔断 装置60。如图18A所示，在隔断装置60中，将可分别升降的上下一分为二的闸门部件61a、 61b重叠配置于作业装置12 15的输送装置11侧的侧端下部，在作业装置12 15需要 维护保养时，如图18B所示，使闸门部件61a、61b上升到隔断的位置，从而能够将输送装置 11和作业装置12 15之间隔断。在如现有那样以水平姿势输送基板进行零件安装的零件安装装置中，输送基板的 输送高度位置及在各作业装置的基板的高度位置被设定为为了在输送装置和各作业装置 之间进行基板的交接，或者为了进行将基板移动、定位而将其安装区域的某缘部载置于承 载部件上的动作所必须的最小限度的高度差。因此，为了避免输送基板和各作业装置的可 动部发生干涉，输送装置采用了相对于沿输送方向依次配设的各作业装置而同步依次输送 基板那样的结构，其结果是，在任一作业装置需要维护保养时，都需要停止装置整体的动 作。因此，这种现有零件安装装置的结构成为降低生产率的要因之一，另外，在具有作业节 拍不同的作业装置的情况下，也不能采用配置多个节拍长的作业装置、有选择地将基板供 给到某个作业装置进行安装作业以提高生产率这样的配置结构。与此相对，根据该第三实 施方式，在各作业装置12 15的维护保养时等，能够用隔断装置60将作业装置12 15 中特定的作业装置和输送装置11之间隔断。因此，能够边维持输送装置11的动作边安全 地进行维护保养作业，从而，在维护保养时，不需要为了安全起见停止零件安装装置1的整 体动作，能够确保高生产率。另外，隔断装置不局限于如图18A及图18B所示的闸门部件61a、61b那样物理性 隔断的闸门结构，也可以例如是，当人体的一部分或工具或器材等物体超过设定于输送装 置11和各作业装置12 15之间的边界时，用红外线检测装置等进行检测而发出警报或使
动作停止。(第四实施方式)接着，参照图19A及图19B对本发明第四实施方式的零件安装装置进行说明。在上述的各实施方式中，对如下所述结构的例子进行了说明，即，在零件安装装置 中，作为多个作业装置，具备单一的ACF粘贴装置12、单一的零件暂时压接装置13、一对正 式压接装置14、15，在输送装置11中，基板1轮流经过这些作业装置。在该第四实施方式的 零件安装装置10中，具备1台或多个任意台数的作业装置12 14，在输送装置11中，基板 1依次经过ACF粘贴装置12、零件暂时压接装置13和正式压接装置14，在输送装置11中， 能够将基板1相对于任意作业装置12 14输送以高效地将零件5安装于基板1。在图19A
19及图19B的图示例中，沿输送装置11输送基板1的输送方向，配置有一台ACF粘贴装置12、 两台零件暂时压接装置13以及三台正式压接装置14。在图19A所示的例子中，在通过ACF粘贴装置12将ACF4粘贴于各安装区域3之 后，将基板1交替地输送到两台零件暂时压接装置13中的任一台而将零件5暂时压接于各 安装区域3，将完成了零件5的暂时压接的基板1依次输送到三台正式压接装置14中的两 台，分别将零件5正式压接于两缘部2a、2b，将基板1输送到三台正式压接装置14中的某空 着的正式压接装置14，通过该正式压接装置14，对基板1的两缘部2a、2b的零件5进行正 式压接。另外，在图19B所示的例子中，在通过ACF粘贴装置12将ACF4粘贴于各安装区域 3之后，将基板1依次输送到两台零件暂时压接装置13，将零件5依次暂时压接于基板1的 各缘部2a、2b的各安装区域3，将完成了零件5的暂时压接的基板1依次输送到三台正式压 接装置14中的两台，对两缘部2a、2b的各自的零件5进行正式压接。需要说明的是，第三 台正式压接装置14作为预备的正式压接装置14而待机，所述预备的正式压接装置14是在 维护保养时、或需要较长压接时间的制品在压接作业时为了生产线节拍平衡等而使用的装 置。如该第四实施方式所述，当通过输送装置11将基板1输送到各作业装置12 14 之际，对基板1依次进行规定的作业处理，并且，为了各作业装置12 14的作业处理的工 序平衡而以工序节拍均一的方式选择作业装置12 14，并通过输送装置11将基板1输送 到所选择的作业装置12 14，由此能够更可靠地实现作业处理的各工序节拍的均一化。从 而，能够确保高生产率，并且在根据基板1的尺寸而使安装区域3的数量发生了变化的情况 下，也能够通过仅使所需台数的安装作业装置12 14动作而高效且生产率良好地安装零 件。在上述的各实施方式中，作为接合部件粘贴装置，例示了使用粘贴各向异性导电 薄膜即ACF4的ACF粘贴装置12的例子，但也可以采用其他形式的装置。例如，在通过压接 工艺将零件的突起电极直接连接于基板电极的情况下，当作为零件5接合于基板1的安装 区域3的接合加强而使用绝缘性粘接件(接合部件的一个例子)时，只要使用粘贴绝缘性 粘接件的粘接件粘贴装置即可。另外，对输送装置11的基板输送单元18具备用于将基板 1在输送装置11和各作业装置12 15之间进行交接的进退移动装置21的例子进行了说 明，但也可以在各作业装置12 15侧设置使其基板保持部23进退移动的进退移动装置。另外，在上述的实施方式的说明中，对将零件5安装于基板1的缘部2a、2b的各安 装区域3的例子进行了说明，但是，本发明的零件安装装置也可以适用于经由所安装的零 件5将印刷电路基板安装于各缘部2a、2b的情况。具体而言，如图21A所示，在经由安装于 基板1的长边侧和短边侧的缘部2a、2b的各零件5将印刷电路基板62a、62b安装于各缘 部2a、2b的情况下，当如现有技术那样以水平姿势输送基板并进行安装动作时，如图21B所 示，也会导致基板1或所安装的零件5因自重而下垂。与此相对，如图20所示，通过应用本 发明将基板1以实质上垂直姿势进行输送及安装动作，可以保持基板1的平面状态，从而能 够用简单的装置结构生产率良好地进行印刷电路基板62a、62b向零件5的安装。另外，在上述的实施方式的说明中，以在输送装置11的各基板输送单元18中设有 对所吸附保持的基板1进行向Y轴方向的进退移动、及旋转移动的机构(装置)的情况为例 进行了说明，但也可以代替这种情况，或与这种情况一同，在各作业装置12 15中装设使基板保持部向Y轴方向进退移动的机构及进行旋转移动的机构。另外，在各作业装置12 15中，只要相对进行由基板保持部吸附保持的基板1和作业单元的用于作业位置定位的移 动动作即可，例如，也可以是作业单元侧相对于基板保持部移动(例如升降)而进行两者定 位。另外，为了进一步提高安全性地进行基板输送单元的输送用基板保持部对基板的 吸附保持及基板保持部对基板的吸附保持，例如，也可以在输送用基板保持部及基板保持 部设置用于防止基板下落的机构。需要说明的是，在本发明中，所谓“基板的实质上垂直姿势”，相对于水平面未必需 要是准确的90度，只要是在可以得到上述本发明的作用效果的范围内实质性垂直即可，根 据需要，有时可以具有例如士 10度左右的倾斜。另外，通过将上述各种实施方式中任意的实施方式适当组合，能够实现各自具有 的效果。本发明参照附图对优选的实施方式进行了充分地记述，但对于熟知该技术的人们 来说，显然能够进行各种变形及修正。这种变形及修正只要不脱离由所附权利要求书限定 的本发明的范围，均应理解为包含于其中。2008年4月1日申请的日本国专利申请No. 2008-094796号的说明书、附图、及权 利要求书的公开内容、及2008年4月1日申请的日本国专利申请No. 2008-094807号的说 明书、附图、及权利要求书的公开内容作为全体被参照并编入本说明书中。
2权利要求
一种零件安装装置，具备输送装置，其对平板状的基板以实质上垂直姿势进行吸附保持，将所吸附保持的基板在沿其平板面的方向上输送，并且在沿基板的输送方向设定的多个基板交接位置进行基板的交接；多个作业装置，其分别对应于输送装置的多个基板交接位置而配置，并在作业位置对安装零件的安装区域进行用于零件安装的作业处理，其中，所述安装区域设置于从输送装置接收到的实质上垂直姿势的基板的缘部，各作业装置具备基板保持部，其在输送装置的基板交接位置，对至少除实质上垂直姿势的基板的下方侧缘部的安装区域以外的基板的平板面进行吸附保持；保持部移动装置，其使基板保持部移动，以将实质上垂直姿势的基板定位于输送装置的基板交接位置和作业位置；承载部件，其能够在支承位置和从支承位置退避的退避位置之间移动，所述支承位置是从定位于作业位置的基板的缘部的安装区域的相反侧的面即基板的背面侧支承该安装区域的位置；以及作业单元，其从定位于作业位置的基板的缘部的安装区域一侧即基板的表面侧对该安装区域进行作业处理。
2.如权利要求1所述的零件安装装置，其中， 在各作业装置中，保持部移动装置是使基板保持部在输送装置的基板交接位置和位于基板交接位置下 方侧的作业位置之间升降的保持部升降装置，作业单元在作业位置对设置于实质上垂直姿势的基板的下方侧缘部的安装区域进行 作业处理。
3.如权利要求2所述的零件安装装置，其中，输送装置具备多个基板输送单元，所述多个基板输送单元沿着在沿基板的平板面的方 向上连续的单一的输送路径，在基板的交接位置之间相互独立地往复移动，各基板输送单元具备吸附保持实质上垂直姿势的基板的背面侧的输送用基板保持部。
4.如权利要求3所述的零件安装装置，其中，输送装置的各基板交接位置与在沿基板的平板面的方向上连续的单一的输送路径在 水平方向上相间隔而定位，各基板输送单元具备水平方向进退移动装置，所述水平方向进退移动装置使输送用基 板保持部在输送路径和基板交接位置之间沿水平方向进退移动。
5.如权利要求4所述的零件安装装置，其中，各基板输送单元具备旋转装置，所述旋转装置使输送用基板保持部绕与基板的平板面 正交的旋转轴旋转移动。
6.如权利要求2所述的零件安装装置，其中， 多个作业装置包括接合部件粘贴装置，其向基板的安装区域粘贴接合部件；零件暂时压接装置，其经由粘贴于基板的安装区域的接合部件暂时压接零件；以及零件正式压接装置，其将暂时压接于基板的安装区域的零件边加热边加压而安装零件。
7.如权利要求6所述的零件安装装置，其中， 零件暂时压接装置具备识别装置，其在以实质上垂直姿势定位于作业位置的基板的安装区域的位置或实质上 相当于安装区域的位置，识别基板的安装区域及零件的位置；控制装置，其对保持部升降装置、承载部件、作业单元、及识别装置进行动作控制， 控制装置以如下方式对保持部升降装置、承载部件、作业单元、及识别装置进行动作控 制，即，利用保持部升降装置，使基板从基板交接位置下降，将基板的下方侧缘部定位于作 业位置，利用识别装置，从基板的背面侧识别基板的安装区域的位置，之后，利用升降装置， 使基板暂时退避上升到作业位置的上方，接着，利用作业单元，将要暂时压接的零件定位于 零件的暂时压接位置，利用识别装置识别零件的位置后，使零件从暂时压接位置退避移动， 之后，利用升降装置使基板下降而再次定位于作业位置，并且使承载部件移动到从基板的 背面侧支承基板的安装区域的位置，之后，利用作业单元，以所识别的基板的安装区域和零 件的位置彼此一致的方式对零件进行位置修正，从而将零件暂时压接于基板的安装区域。
8.如权利要求6所述的零件安装装置，其中， 零件暂时压接装置具备识别装置，其在以实质上垂直姿势定位于作业位置的基板的安装区域的位置或实质上 相当于安装区域的位置，识别基板的安装区域及零件的位置；控制装置，其对保持部升降装置、承载部件、作业单元、及识别装置进行动作控制， 控制装置以如下方式对保持部升降装置、承载部件、作业单元、及识别装置进行动作控 制，即，利用作业单元，将要暂时压接的零件定位于零件的暂时压接位置，利用识别装置识 别零件的位置后，使零件从暂时压接位置退避移动，之后，利用保持部升降装置使基板从基 板交接位置下降，将基板的下方侧缘部定位于作业位置，且使承载部件移动到从背面侧支 承基板的安装区域的位置，之后，利用识别装置，从基板的背面侧识别基板的安装区域的位 置，之后，利用作业单元，以所识别的基板的安装区域和零件的位置彼此一致的方式对零件 进行位置修正，从而将零件暂时压接于基板的安装区域。
9.如权利要求1 8中任一项所述的零件安装装置，其中，还具备隔断装置，所述隔断装置在输送装置和各作业装置之间，禁止在两装置之间的 物体的移动。
10.一种零件安装方法，具备输送工序，其利用输送装置，对平板状的基板以实质上垂直姿势进行吸附保持，将所吸 附保持的基板在沿其平板面的方向上输送，并且在沿基板的输送方向设定的多个基板交接 位置进行基板的交接；作业工序，其利用分别对应于多个基板交接位置而配置的作业装置，在作业位置对安 装零件的安装区域进行用于零件安装的作业处理，其中，所述安装区域设置于实质上垂直 姿势的基板的下方侧缘部， 各作业工序包括第一作业工序，其在输送装置的基板交接位置，对至少除实质上垂直姿势的基板的下方侧缘部的安装区域以外的基板的平板面进行吸附保持，并以实质上垂直姿势将基板定位 在位于基板交接位置下方的作业位置；第二作业工序，其使承载部件向定位于作业位置的基板的安装区域的相反侧的面即背 面移动，并从基板的表面侧对处于由承载部件从基板的背面侧支承基板的安装区域的状态 的基板的安装区域进行作业处理。
全文摘要
本发明提供一种零件安装装置，具备输送装置，其对基板以实质上垂直姿势进行吸附保持，并沿基板的平板面方向输送；多个作业装置，其对从输送装置接收到的实质上垂直姿势的基板的缘部的安装区域进行作业处理，各作业装置具备基板保持部，其吸附保持实质上垂直姿势的基板；保持部升降装置，其使所吸附保持的基板移动到下方的作业位置；承载部件，其从背面侧支承定位于作业位置的基板的缘部；以及作业单元，其从表面侧对定位于作业位置的基板的缘部的安装区域进行作业处理。
文档编号H01L21/60GK101981681SQ200980111180
公开日2011年2月23日 申请日期2009年3月30日 优先权日2008年4月1日
发明者村冈信彦, 门田昌三 申请人:松下电器产业株式会社