专利名称：面接触式石英舟的制作方法
技术领域：
本发明涉及太阳能电池生产所用硅片装载装置，尤其涉及太阳能电池扩散工艺用 的石英舟。
背景技术：
晶体硅太阳能电池作为新兴的清洁可再生能源，已经取得越来越广泛的应用。扩 散工艺是晶体硅太阳能电池的生产过程的关键工序之一，它是将P型硅片在扩散后表面变 成N型，从而形成P-N结，硅片由此才具有光伏效应。扩散工艺需要使用一种硅片承截装置 将硅片放置在该装置上，然后再将装有硅片的硅片承载装置放置在碳化桨上送入扩散炉内 进行集中扩散，石英因其材料纯度高、耐高温、耐酸、耐碱而成为制作这种承载装置材料的 首选，用石英材料做成的硅片承载装置称为石英舟。一个合格的石英舟造价很高，用石英制 品的硅片承载装置存在易碎的缺点。目前普遍使用的石英舟由四根水平挡杆和四根竖直杆 围合成的框架结构，在四根水平挡杆上开设有硅片卡槽，硅片间隔地插在硅片槽中，四根竖 直杆即为整个石英舟的四个支撑脚，石英舟放置在碳化桨上是点接触，石英舟的支撑脚所 承受的压强过大，很容易损坏，导致整个石英舟使用寿命不长。同时，石英舟上的两个把手 会因为经常在放置硅片时引入污染物，以致扩散时污染物参杂到硅片内，使得生产出来的 电池片出现色差，影响电池片的质量。
发明内容
为了克服现有石英舟存在的缺点，本发明提供了 一种面接触式石英舟。采用这种 面接触式石英舟，能降低石英舟支撑脚的压强，从而提高了石英舟使用寿命，同时避免了石 英舟两端把手对硅片的污染，提高了电池片的质量。本发明采取的技术方案是本发明所述面接触式石英舟，其特征是包括两根水平设置的上石英分隔挡杆、两 根水平设置的下石英分隔挡杆、左U形侧面连接件、右U形侧面连接件、把手、支撑杆和防污 挡板，两根上石英分隔挡杆的两端分别固定在左U形侧面连接件和右U形侧面连接件上，两 根下石英分隔挡杆的两端分别固定在左U形侧面连接件和右U形侧面连接件的下端，在两 根下石英分隔挡杆的下方固定有二根以上的支撑杆，支撑杆的底部为平面，且两根上石英 分隔挡杆之间的距离与硅片的宽度尺寸相当；在左U形侧面连接件和右U形侧面连接件上 都设有把手，在上石英分隔挡杆和下石英分隔挡杆上均开设有硅片卡槽，硅片间隔地插在 硅片卡槽中，在靠近把手端各插有一块防污挡板。进一步，在硅片卡槽的上口设有扩展角Φ，φ在45° 90°之间；进一步，硅片卡槽的中心线方向与石英分隔挡杆轴线之间夹角β为87° 88° ；由于将石英舟的支撑脚由现有的点接触改为支撑杆的面接触，扩散时支撑杆架设 在碳化桨上，与碳化桨的接触为面接触，所受到的压强大大减小，使得石英舟支撑脚的受力 更加合理，石英舟在使用中不易损坏，从而延长了石英舟的使用寿命。在靠近把手处各插放一块防污挡板，可减少在扩散时由于石英舟两端把手污染引起的扩散色差片，大大提高电 池片的成品率。在硅片卡槽的上口设有扩展角Φ，有利于硅片的插入；将硅片卡槽设计成 一定偏角β有利于增加石英分隔挡杆对硅片限位面积，进一步缩小硅片在石英舟中自由度。
图1为面接触式石英舟的主视图；图2为面接触式石英舟的左视图；图3为图1中A-A向剖视图；图4为图1中B-B剖示图；图5为图1中C向局部放大视6为图2的D-D剖视图；图中1_上石英分隔挡杆；2-下石英分隔挡杆；3-左U形侧面连接件；4-右U形 侧面连接件；5-把手；6-支撑杆；7-防污挡板；8-硅片；9-硅片卡槽；Φ为硅片卡槽的上口 的扩展角；β为硅片卡槽与石英分隔挡杆轴线之间夹角。
具体实施例方式下面结合
本发明的
具体实施例方式所述面接触式石英舟，如图1 图6所示，它包括两根水平设置的上石英分隔挡杆 1、两根水平设置的下石英分隔挡杆2、左U形侧面连接件3、右U形侧面连接件4、把手5、支 撑杆6和防污挡板7，两根上石英分隔挡杆1的两端分别固定在左U形侧面连接件3和右U 形侧面连接件4的上端，两根下石英分隔挡杆2的两端分别固定在左U形侧面连接件3和 右U形侧面连接件4的下端，在两根下石英分隔挡杆2的下方固定有三根支撑杆6，支撑杆 6的底部为平面，两根上石英分隔挡杆1之间的距离与硅片8的宽度尺寸相当；在左U形侧 面连接件3、右U形侧面连接件4上都设有把手5，在上石英分隔挡杆1的内侧面上和下石 英分隔挡杆2的上端面上均开设有硅片卡槽9，硅片8间隔地插在硅片卡槽9中，在硅片卡 槽9的上口的扩展角Φ为60° ；硅片卡槽9的中心线方向与石英分隔挡杆轴线之间夹角 β为87° ；在靠近左右把手5端各设有一块可拆卸的防污挡板7。
权利要求
1.一种面接触式石英舟，其特征是包括两根水平设置的上石英分隔挡杆(1)、两根水 平设置的下石英分隔挡杆O)、左U形侧面连接件(3)、右U形侧面连接件、把手(5)、支 撑杆(6)和防污挡板(7)，两根上石英分隔挡杆(1)的两端分别固定在左U形侧面连接件 (3)和右U形侧面连接件(4)上，两根下石英分隔挡杆( 的两端分别固定在左U形侧面连 接件C3)和右U形侧面连接件的下端，在两根下石英分隔挡杆O)的下方固定有二根 以上的支撑杆(6)，支撑杆(6)的底部为平面，且两根上石英分隔挡杆(1)之间的距离与硅 片的宽度尺寸相当；在左U形侧面连接件C3)和右U形侧面连接件(4)上都设有把手(5)， 在上石英分隔挡杆(1)和下石英分隔挡杆( 上均开设有硅片卡槽(9)，硅片(8)间隔地插 在硅片卡槽(9)中，在靠近把手端各插有一块防污挡板(7)。
2.根据权利要求1所述面接触式石英舟，其特征是在硅片卡槽(9)的上口设有扩展 角Φ，Φ在45° 90°之间。
3.根据权利要求1或2所述面接触式石英舟，其特征是硅片卡槽(9)的中心线方向 与石英分隔挡杆轴线之间夹角β为87° 88°。
全文摘要
一种面接触式石英舟，包括石英分隔挡杆、U形侧面连接件、把手、支撑杆和防污挡板，石英分隔挡杆和U形侧面连接件围合成硅片承载框架，在硅片承架的下方设有二根以上底面为平面的支撑杆，在石英分隔挡杆上开设有斜置的硅片卡槽，且其上口设有扩展角；在靠近把手端设有防污挡板。由于将石英舟的支撑脚由点接触改为面接触，支撑杆与碳化桨间为面接触，使得支撑杆的受力更合理，石英舟在使用中不易损坏，延长了使用寿命。防污挡板的设置能减少扩散色差片，提高电池片的成品率。在硅片卡槽的上口设有扩展角，有利于硅片的插入；斜置的硅片卡槽能增加硅片卡槽对硅片的限位面积，更好限定硅片在石英舟中自由度。
文档编号H01L21/673GK102064233SQ201010523710
公开日2011年5月18日 申请日期2010年10月29日 优先权日2010年10月29日
发明者李钟华 申请人:常州亿晶光电科技有限公司