专利名称：用于置放光罩储存盒的气体循环式电子货架的制作方法
技术领域：
本实用新型关于一种气体循环式电子货架(E-Rack)，尤指一种于制造工厂中，用 来 置放光罩储存盒的气体循环式电子货架。
背景技术：
在半导体的制程中，光罩盒是用来作为光罩(mask)搬运时的置放装置，用以 隔绝光罩与大气的接触，以防止光罩表面产生雾化作用。尤其，在现今的机械标准接口 (Standard Mechanical Interface, SMI)的要求之下，有效提升光罩盒内的光罩与大气隔 绝的效果，可增加光罩的使用寿命，此有助于降低半导体制造的成本并可提升产品的良率。传统上，光罩盒通常是被置放在一经过标示的特定位置上，且该特定位置提供一 保持低湿度的置放空间，并藉由惰性气体于光罩盒内的层流效应及气体循环，以作为贮存 光罩组件长期储存的环境。此外，光罩盒于每次使用完毕必须放回此特定位置，虽然此种储 物系统的建置成本低廉，但对于动则上万片光罩或芯片的半导体厂来说，此种储物方式将 耗费相当高的人事成本，且易出差错，一旦发生找不到光罩盒的情形时，产品的生产进度就 会被严重影响。习知技术如中国台湾地区公开的第200821241号的「被搬送物储存系统」专利案， 揭露一种全自动化控制的储存系统，藉由轨道、天车(0ΗΤ)、及仓储柜(stocker)的组合，每 一储存盒皆可被安排在该仓储柜的专属位置中，当生产在线需要使用某一储存盒内的芯片 或光罩等组件时，通过系统的操作即可令该天车依循轨道自动地至该仓储柜中取出该储存 盒，再通过轨道将该光罩储存盒运送至生产在线。此系统全由计算机所监控，其好处在于任 何储存盒皆能被正确地放置到其各自专属的位置上，而不会错放至其它的存放位置。然而， 此种系统的建置成本相当高昂且相当占空间，举例来说，一个半导体厂的运作可能就需要 上千上万片的光罩或芯片，该些光罩或芯片皆需要有独立的光罩储存盒，若将所有的光罩 储存盒皆以该习知技术的储存系统来存放时，系统的建置成本势必大幅提高，且该储存系 统亦需具备有气体填充设备以供应惰性气体至光罩储存盒中，建置成本更难以降低，再者， 一个厂房运作时需要运送光罩储存盒的次数相当多，运送时的等待时间亦会造成产能的降 低。
发明内容本实用新型的一目的在于提供一种低成本、高效率的气体循环式电子货架。本实用新型的另一目的在于提供一种相较于习知技术较不占空间且空间安排弹 性大的气体循环式电子货架。本实用新型的再一目的在于提供一种可供在线操作人员对于置放的光罩储存盒， 可放了即走(put&go)的气体循环式电子货架。为达上述目的及其它目的，本实用新型提供一种用于置放光罩储存盒的气体循环 式电子货架，应用于将光罩储存盒的识别数据传送予一远程服务器，该气体循环式电子货架包含复数个置放区，每一置放区用于置放一光罩储存盒；复数个气体通道连接部，设置 于每一置放区中，以供气体灌入及导出该置放区上的光罩储存盒；及复数个无线射频感应 器，设置于每一置放区中，用以感应该置放区中光罩储存盒上的无线射频标签，并取得该光 罩储存盒的识别数据。于一实施例中，该气体循环式电子货架更可包含复数个动作传感器，设置于每一 置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以感测该光罩储存盒的置放状态，并据以 使能该无线射频感应器。其中，该动作传感器可为一红外线传感器。于另一实施例中，该气体循环式电子货架更可包含复数个显示器，设置于每一置 放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该光罩储存盒的识别资料，及读取状 态、该远程服务器下达的指令，如机台名称等。于再一实施例中，该气体循环式电子货架更通过该远程服务器，依符合国际半导 体设备与材料的一通讯标准接口(SEMI)连结至一自动化材料处理系统(AMHS)，该气体循 环式电子货架更包含复数个传感器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感 应器，用以感测该光罩储存盒的置放状态，并据以使能该无线射频感应器，每一无线射频感 应器连接至对应的一网关器，并通过一集线器传输数据至该远程服务器。此外，此实施例更 可包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显 示该光罩 储存盒的识别数据及显示该远程服务器下达的指令。该通讯标准接口则可包含符 合SEMI-E84及SEMI-E88标准规格的接口。于再一实施例中，该些光罩储存盒用于存放半导体芯片或光罩。于再一实施例中，该气体循环式电子货架的底部设有复数个轮子，以便于移动。藉此，本实用新型的气体循环式电子货架结构相较于习知技术可节省成本且日后 维护成本低廉，再者，于每一置放区中皆设置一无线射频感应器，使得在线操作人员可直接 将光罩储存盒置放在气体循环式电子货架上的任意置放区中，该无线射频感应器即会感应 光罩储存盒上的无线射频标签并取得光罩储存盒的识别数据，达到放了即走(put&go)的 功效；而不若传统技术于置放光罩储存盒时，需根据架上的指示位置来置放。再者，亦可显 示无线射频感应器读取卷标数据成功或失败的情况，及/或显示该远程服务器下达该光罩 储存盒的指令，如机台名称等，使得在线操作人员不需再查询就可实时、明确直接将光罩 储存盒移置当站机台。再者，本实用新型更可与习知的自动化材料处理系统(AMHS)作连结，而可对原有 的仓储柜自由地进行选择性的扩展，因此通过此种连结除了可供厂商利用原有的自动化材 料处理系统进行所有仓储柜的统合管理外，气体循环式电子货架上的光罩储存盒亦可供操 作员实时的拿取，而可带来更高的便利性。
图1为本实用新型的电子货架系统的架构图。图2为本实用新型于第一实施例中气体循环式电子货架的立体图。图3为本实用新型于第二实施例中气体循环式电子货架的立体图。图4为本实用新型于第三实施例中气体循环式电子货架的立体图。图5为本实用新型于第四实施例中气体循环式电子货架的立体图。[0021]图6为本实用新型于第五实施例中电子货架系统与自动化材料处理系统连结的 架构图。图7为本实用新型于第五实施例中电子货架系统与仓储柜的结合示意图。图8为本实用新型于第7图实施例中气体循环式电子货架的部分俯视图。主要组件符号说明100电子货架系统101远程服务器103集线器110气体循环式电子货架IlOa e气体循环式电子货架112置放区113气体通道连接部114无线射频感应器116显示器118动作传感器119 轮子120光罩储存盒122无线射频标签130网关器200仓储柜2020HT高架上升传送设备TCP/IP通讯协议RS-232 通讯接 口RS-485 通讯接 口AMHS自动化材料处理系统E84通讯标准接口E88通讯标准接口STK仓储柜
具体实施方式
为充分了解本实用新型的目的、特征及功效，兹藉由下述具体的实施例，并配合所 附的图式，对本实用新型做一详细说明，说明如后于半导体厂、其它需对光罩或半导体芯片进行存放的厂房皆可使用本实用新型。本实用新型应用于一种光罩的仓储系统中。请参阅图1，是本实用新型电子货架系 统的架构图，该电子货架系统100包含一远程服务器101、至少一集线器103、及复数个气体 循环式电子货架1 IOa e，该等气体循环式电子货架1 IOa e会回传目前存放于架上的货 品识别资料，而该等气体循环式电子货架IlOa e与该远程服务器101间的连结则可通过 习知的网络架设技术来完成，以图1所示，每一气体循环式电子货架通过一集线器103，连 结至该远程服务器101，该远程服务器101可通过无线或有线的方式来建立与该集线器103的连结，再者，该集线器103亦可再并联多个集线器以完成不同区之间的网络架构，前述的 架设技巧与网络阶层的建置皆为习知架设技术的不同变化，于此不再赘述，如可通过复数 个网关器(Gateway)与复数个集线器将复数群的电子货架整合成一电子货架系统100。接着请参阅图2，是本实用新型于第一实施例中气体循环式电子货架的立体图。该 气体循环式电子货架110于此实施例中通过一网关器130与该集线器103 (请参阅图1)连 接，以将识别数据传送予该远程服务器101 (请参阅图1)，其中，该网关器130可连接复数 个气体循环式电子货架110，并可与复数个其它网关器并联，在一齐连接至集线器，完成电 子货架系统的建置，如同前述，其网络接线的各种变化是习知技术，于此不再赘述。该气体 循环式电子货架110用来存放复数个光罩储存盒120，举例来说，该光罩储存盒120亦可为 一种前开式综合光罩储存盒(Front-Opening Unified Pod，F0UP)，其符合SEMI标准E47. 1 所规定。该光罩储存盒为一运送光罩用的储存盒或容器。本实用新型中的置放区的数量可 依实际情况作改变，本实用新型揭露的九个置放区仅为一种示例，而非为一种限制。请继续参阅图2，该气体循环式电子货架110包含有复数个置放区112及复数个无 线射频感应器114，其中，每一置放区112用来存放一光罩储存盒120，且每一置放区112皆 设有复数个气体通道连接部113，该等气体通道连接部113将气体，如惰性气体，灌入及导 出置放于其上的光罩储存盒120中，该等气体通道连接部113于本实用新型的实施例中以 四个为示例(即二进二出)，然亦可为二 个(即，一进一出)，或其它可使气体进行循环供应 的数量变化。其中，本实用新型的气体循环式电子货架110如习知的气体储存柜般皆连接 有气体供应管路，以使气体可通过与该光罩盒120底部连接的该气体通道连接部113灌入 及导出该光罩盒120的内部。此外，该光罩盒120具有通孔已与该气体通道连接部113接 合。前述的气体供应管路及该光罩盒120上的通孔皆属习知技术，于此不再赘述。请继续参阅图2，该等无线射频感应器114用来感应该光罩储存盒120上的无线 射频标签122，该无线射频标签122内储存有该光罩储存盒120的识别数据。因此，当操作 员欲放回该光罩储存盒120时，可直接找一空的置放区112置放该光罩储存盒120，达到放 了即走(put&go)的功效，该气体循环式电子货架110会通过对应的无线射频感应器114取 得该光罩储存盒120的识别数据，并将此识别数据回传至该远程服务器101 (请参阅图1)。 如此，该远程服务器101即会有目前位于架上的光罩储存盒120的识别数据，在线操作者可 根据该远程服务器101的识别数据找到其欲找寻的光罩储存盒位于厂房中的哪一位置，只 要该光罩储存盒未处于生产在线的使用中状态。如此的气体循环式电子货架将可使操作者 不用为了将光罩储存盒放入专属位置而耗费时间在寻找位置，而可放了即走(put&go)，也 不需担心光罩储存盒是否会放错，因为它现在被置放的位置会回传至该远程服务器101，于 下一次使用时仍可被轻易地找出其置放的位置。接着请参阅图3，是本实用新型于第二实施例中气体循环式电子货架的立体图。所 述气体循环式电子货架110更可包含复数个显示器116，每一置放区112设置有一显示器 116，该显示器116电性连接对应的无线射频感应器114，用以显示该光罩储存盒120的识别 资料，其中，该识别数据储存于该光罩储存盒120的无线射频标签122中。接着请参阅图4，是本实用新型于第三实施例中气体循环式电子货架的立体图。所 述气体循环式电子货架110更可包含复数个动作传感器118，每一置放区112设置有一动作 传感器118，该动作传感器118电性连接对应的无线射频感应器114，用以感测该光罩储存盒120的置放状态，并据以使能该无线射频感应器114。即，当该光罩储存盒120被置放入 该置放区112时，对应的动作传感器118会感测到动作的变化，并使能与其电性连接的无线 射频感应器114，该无线射频感应器114始进行感应，如此可节省电力的消耗。其中，该动作 传感器118可为红外线传感器(IR sensor)或其它可达成相同功效的传感器。接着请参阅图5，是本实用新型于第四实施例中气体循环式电子货架的立体图。如 前所述，该气体循环式电子货架110更可包含复数个显示器116，每一置放区112设置有一 显示器116，该显示器116电性连接对应的无线射频感应器114，用以显示该光罩储存盒120 的识别资料，而可供操作人员直接检视。再者，该气体循环式电子货架110为便于移动，更 可于底部增设复数个轮子119，以便于机动使用，前述的实施例皆可增设该等轮子119。接着请参阅图6及7，是分别为本实用新型于第五实施例中电子货架系统与自动 化材料处理系统连结的架构图，及本实用新型于第五实施例中电子货架系统100与仓储柜 200 (stoker, STK)的结合示意图。本实用新型可与习知的自动化材料处理系统(AMHS)作 连结，而可对原有的仓储柜自由地进行选择性的扩展。由于本实用新型的电子货架系统100 具相当高的机动性，且结构轻、成本低、寿命长、以及日后维护费低廉，因此通过此种连结除 了可供厂商利用原有的自动化材料处理系统进行所有仓储柜200的统合管理外，气体循环 式电子货架(llOa-e)上的光罩储存盒120亦可供操作员实时的拿取，而可带来更高的便利 性。如图6所示，该气体循环式电子货架(llOa-e)通过该远程服务器101，依符合国际半导 体设备与材料的一通讯标准接口(SEMI)连结至一自动化材料处理系统(AMHS)。如图7所 示，主动设备(例如0ΗΤ高架上升传送设备202)与被动设备(例如气体循环式电子货架 (110a-e))间的载具/材料递送操作，可经由采用SEMI-E84标准的平行1/0接口为之；而 电子货架系统100与自动化材料处理系统间的数 据传输则可依据SEMI-E88标准接口的规 格来实施。前述的SEMI-E84与SEMI-E88构成的通讯标准接口符合国际半导体设备与材料 (SEMI)的规范。请再参阅图6，本实施例主要与自动化材料处理系统(AMHS)作连结，除了前述的 SEMI-E84与SEMI-E88通讯接口外，其余的连结方式可采用现行的各种网络连结方式来达 成，本实施例中采用的方式仅为一种示例，任何其它能与自动化材料处理系统(AMHS)连结 的方法皆不离开本发明。如图6所示，气体循环式电子货架(llOa-e)通过RS-485接口与 该网关器130连结，再通过RS-232接口与该集线器103连结，最后通过TCP/IP协议与该远 程服务器101连结，使气体循环式电子货架(llOa-e)可回传数据至该远程服务器101，而该 电子货架系统100则可通过前述的反向传输流程以及SEMI-E88通讯接口与自动化材料处 理系统(AMHS)作连结。藉此，由该远程服务器101 (请参阅图1)连结的自动化材料处理系 统即可通过该通讯标准接口与本实用新型的气体循环式电子货架(llOa-e)进行联机与控 制，并可实时响应人工存取光罩储存盒120时的状态，达到系统整合的目的。再者，该气体 循环式电子货架110为便于移动，更可于底部增设复数个轮子119，以便于机动使用。接着 请参阅图8，是本实用新型于图7的实施例中，气体循环式电子货架的部分俯视图，显示置 放区112的一部分。于一置放区112中包含至少一传感器118，用以感测该光罩储存盒(请 参阅图7)的置放状态，当其被正确置放于区域内时送出正常讯号，反之则送出错误讯号； 并显示此正常或错误现象于显示器上。置放区112对应的无线射频感应器114所存取的信 息可通过远程服务器101将光罩储存盒(请参阅图7)的信息通过SEMI-E88标准的规格回传至自动化材料处理系统(AMHS)。再者，此实施例中更可如图3所示于每一置放区112增 加一显示器116，其电性连接对应的无线射频感应器114，可显示来自该远程服务器101 (请 参阅第1图)下达的指示，例如以不同的灯号开、关来引导操作人员储存匣该如何处理等事项。本实用新型的所有实施例中，显示器116、动作传感器118及轮子119皆可视需求 于该气体循环式电子货架100上进行不同的搭配组合。综上所述，本实用新型具体提供了一种低成本、高效率且机动性高、空间安排弹性 大的气体循环式电子货架，在线操作者对于置放的光罩储存盒，可放了即走(put&go)，而不 若传统技术于置放光罩储存盒时，需根据架上的指示位置来置放。再者，本实用新型更可与 习知的自动化材料处理系统(AMHS)作连结，而可对原有的仓储柜自由地进行选择性的扩 展，因此通过此种连结除了可供厂商利用原 有的自动化材料处理系统进行所有仓储柜的统 合管理外，气体循环式电子货架上的光罩储存盒亦可供操作员实时的拿取，而可带来更高 的便利性。本实用新型在上文中已以较佳实施例揭露，然本领域技术人员应理解的是，该实 施例仅用于描绘本实用新型，而不应解读为限制本实用新型的范围。应注意的是，举凡与该 实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本实用新型的范畴内。因此，本实用新型的保护 范围当以下文的权利要求所界定的范围为准。
权利要求一种用于置放光罩储存盒的气体循环式电子货架，应用于将该光罩储存盒的识别数据传送予一远程服务器，其特征在于，该气体循环式电子货架包含复数个置放区，每一置放区用于置放一光罩储存盒；复数个气体通道连接部，设置于每一置放区中，以供气体灌入及导出该置放区上的光罩储存盒；及复数个无线射频感应器，设置于每一置放区中，用以感应该置放区中光罩储存盒上的无线射频标签，并取得该光罩储存盒的识别数据。
2.如权利要求1所述的气体循环式电子货架，其特征在于，更包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该 光罩储存盒的识别资料。
3.如权利要求1所述的气体循环式电子货架，其特征在于，更包含复数个动作传感器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以感 测该光罩储存盒的置放状态，并据以使能该无线射频感应器。
4.如权利要求3所述的气体循环式电子货架，其特征在于，该动作传感器是一红外线 传感器。
5.如权利要求3所述的气体循环式电子货架，其特征在于，更包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该 光罩储存盒的识别资料。
6.如权利要求1所述的气体循环式电子货架，其特征在于，该气体循环式电子货架更 通过该远程服务器，依符合国际半导体设备与材料的一通讯标准接口(SEMI)连结至一自 动化材料处理系统(AMHS)，该气体循环式电子货架更包含复数个传感器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以感测该 光罩储存盒的置放状态，并据以使能该无线射频感应器，每一无线射频感应器连接至对应 的一网关器，并通过一集线器传输数据至该远程服务器。
7.如权利要求6所述的气体循环式电子货架，其特征在于，更包含复数个显示器，设置于每一置放区中，并电性连接对应的无线射频感应器，用以显示该 光罩储存盒的识别数据及显示该远程服务器下达的指令。
8.如权利要求6所述的气体循环式电子货架，其特征在于，该通讯标准接口包含符合 SEMI-E84及SEMI-E88标准规格的接口。
9.如权利要求1至8中任一项所述的气体循环式电子货架，其特征在于，该些光罩储存 盒用于存放半导体组件或光罩。
10.如权利要求9所述的气体循环式电子货架，其特征在于，该气体循环式电子货架的 底部设有复数个轮子。
专利摘要本实用新型提供一种用于置放光罩储存盒的气体循环式电子货架，应用于将该气体循环式电子货架上光罩储存盒的识别数据传送予一远程服务器，该气体循环式电子货架包含复数个置放区及复数个无线射频感应器，其中，每一置放区中皆设置一无线射频感应器，使得在线操作人员可直接将光罩储存盒置放在气体循环式电子货架上的任意置放区中，该无线射频感应器即会感应光罩储存盒上的无线射频标签并取得光罩储存盒的识别数据，达到放了即走(put & go)的功效，此外，本实用新型可与自动化材料处理系统(AMHS)作连结，更可对原有的仓储柜自由地进行选择性的扩展。
文档编号H01L21/673GK201594533SQ20102010486
公开日2010年9月29日 申请日期2010年1月27日 优先权日2010年1月27日
发明者吴俊龙, 林权瑞 申请人:华景电通股份有限公司