半导体太阳能镀膜工艺腔室的制作方法

文档序号:6966895阅读:251来源:国知局
专利名称:半导体太阳能镀膜工艺腔室的制作方法
技术领域
本实用新型属于非晶硅薄膜太阳能电池行业领域,具体涉及一种用于半导体太阳 能镀膜的工艺腔室。
背景技术
现有的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室,包括腔壁、气体注射器、负载架以及承 受器,负载架装置主要有两方面的作用一是负载架边脚能起到支撑玻璃作用,机械手臂将 玻璃送入工艺腔室内部时,首先将玻璃架在负载架的边脚上,承受器再执行上升与玻璃接 触后再进行工艺;二是对抽真空的时候起到阻力作用,让工艺气体不容易被瞬间抽走,停留 在玻璃的表面能更好地进行沉积,能够有效地控制薄膜的均勻性和生产的良率。根据目前工艺腔室内部装置分析色差主要分布在玻璃的两端边沿上,外观判断属 于热量扩散或加热不均勻而导致色差现象发生,玻璃从加热腔室出来后直接放到工艺腔室 内部的负载架边脚上,由于负载架边脚没有加热装置,玻璃放在上面之后热量会快速分散, 然后承受器进行上升,与玻璃完全接触后工艺开始进行,工艺完成后,我们发现玻璃两端出 现了镀膜不均勻的现象,根据色差现象再次分析,玻璃属于加热不均勻和边缘热量扩散的 原因造成。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足,而提供一种镀膜更 为均勻,色差小的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室。为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是一种半导体太阳能镀膜工艺腔室,包括腔壁、气体注射器、负载架以及承受器,所 述的气体注射器设置在腔壁的上端,所述的承受器设置在气体注射器的下端,其特征在于 所述的负载架设置在所述的承受器上,在所述的腔壁上设置有气体缓冲层。所述的气体缓冲层上设置有定位孔,在所述的腔壁上设置有T字型校准栓,在T字 型校准栓的尾部设置有突出的校准柱,所述的气体缓冲层的定位孔套在校准柱上。与现有技术相比,本实用新型半导体太阳能镀膜工艺腔室,负载架不是设置在腔 壁上,而是设置在承受器上,用来支撑玻璃,在腔壁上再设独立的气体缓冲层单独来阻止气 体。采用本实用新型的工艺腔室,玻璃的负载架设置在承受器上,在对玻璃进行支撑后,玻 璃的边缘不会快速的降温,经承受器加热后,玻璃温度均勻,镀膜效果好,色差小。
图1是本实用新型的结构示意图。图2是本实用新型缓冲层结构示意图。其中1、气体注射器,2、承受器,3、气体缓冲层,31、定位孔,4、支撑架,5、支撑栓底 板,6、腔壁。
具体实施方式
[0014]
以下结合附图,对本实用新型作详细说明如图1所示,一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室,包括腔壁6、气体注射器1支 撑栓底板5、承受器2,其中气体注射器1设置在腔壁6的上端,承受器2设置在气体注射器 1的下端,支撑架4设置在承受器2的下端,腔壁上设置有气体缓冲层3。气体缓冲层3上设置有定位孔31,在腔壁上设置有T字型校准栓,在T字型校准栓 的尾部设置有突出的校准柱,所述的气体缓冲层的定位孔套在校准柱上。气体缓冲层主要作用就是对抽真空的时候起到阻力作用,机械手臂将玻璃送进工 艺腔室内部时放在承受器表面的负载架上后,承受器执行上升命令与玻璃接触再进行工 艺,气体缓冲层的优点是避免玻璃的边缘与现有技术的负载架的边脚接触而导致热量扩 散,使色差现象发生;气体缓冲层的安装方法,将T字型校准栓安装在工艺腔室壁上,T字型 的尾部上方有突出的校准柱,将新型的负载架直接架在T字型的校准柱上来固定。
权利要求1.一种半导体太阳能镀膜工艺腔室,包括腔壁、气体注射器、负载架以及承受器,所述 的气体注射器设置在腔壁的上端,所述的承受器设置在气体注射器的下端,其特征在于所 述的负载架设置在所述的承受器上,在所述的腔壁上设置有气体缓冲层。
2.根据权利要求1所述的半导体太阳能镀膜工艺腔室,其特征在于所述的气体缓冲 层上设置有定位孔,在所述的腔壁上设置有T字型校准栓,在T字型校准栓的尾部设置有突 出的校准柱,所述的气体缓冲层的定位孔套在校准柱上。
专利摘要本实用新型公开了一种半导体太阳能镀膜工艺腔室,包括腔壁、气体注射器、负载架以及承受器,所述的气体注射器设置在腔壁的上端,所述的承受器设置在气体注射器的下端,其特征在于所述的负载架设置在所述的承受器上,在所述的腔壁上设置有气体缓冲层。与现有技术相比,本实用新型半导体太阳能镀膜工艺腔室,负载架不是设置在腔壁上,而是设置在承受器上,用来支撑玻璃,在腔壁上再设独立的气体缓冲层单独来阻止工艺气体。采用本实用新型的工艺腔室,玻璃的负载架设置在承受器上,在对玻璃进行支撑后,玻璃的边缘不会快速的降温,经承受器加热后,玻璃温度均匀,镀膜效果好,色差小。
文档编号H01L31/18GK201868459SQ201020179750
公开日2011年6月15日 申请日期2010年5月5日 优先权日2010年5月5日
发明者张 浩, 昝圣达, 朱峰林 申请人:江苏综艺光伏有限公司
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