专利名称：驱动器连接部件和具有它的压环升降机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体技术，尤其是涉及一种驱动器连接部件和具有它的压环升 降机构。
背景技术：
在LED刻蚀机工艺中，为了控制晶片的温度在一定范围内，需要保证放置晶片的 托盘与通水冷却的卡盘之间有良好的接触，卡盘的选用有静电卡盘和机械卡盘两种，机械 卡盘成本较低，在LED行业中较多采用。托盘通常由压环压紧到机械卡盘上，压环由升降机构驱动升降。在传统的压环升 降机构中，气缸连接部件通过波纹管和波纹管连接轴与压环相连，气缸的气缸轴与气缸连 接部件相连，从而气缸连接部件在气缸驱动下由导引柱导引上下移动，从而带动压环上下 移动。图3示出了传统的气缸连接部件1’，气缸连接部件1’上设置了与气缸轴连接的连接 块2，，气缸连接部件1，上设有穿过导引柱的导引孔102a，和102b，，103，为波纹管连接轴 与气缸连接部件1’的连接位置。如图3所示，由于气缸连接部件1，的重心在导引孔102a，和102b，连线L，的一 侧，而气缸连接块2’的位置(即气缸对气缸连接部件1’的施力位置)在导引孔102a’和 102b’连线L’的另一侧，因此容易出现下面的问题。首先，由于在升降过程中气缸连接部件1’会向着靠近重心的方向倾斜，使得导引 柱与导引孔102a’和102b’之间的间隙在一侧会减小，如果导引柱的材料硬度较软，气缸连 接部件1’虽然可以正常升降，但会在导引柱的表面留下沟痕，时间长了导引柱会失去导向 作用，如果导引柱材料很硬，气缸连接部件1’的升降会很困难，并且容易损坏导引孔102a’ 和102b’。其次，气缸连接部件1’由于自身重力的作用会向靠近重心方向倾斜，为了保证多 个波纹管连接轴升降一致，需要气缸连接部件1’保持在自然状态下的平衡，这使得安装精 度要求高，安装费时费力。
实用新型内容本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种安装方便容易、省时省力的驱动器连 接部件。本实用新型的另一目的在于提出一种具有上述驱动器连接部件的压环升降机构， 该压环升降机构能够平稳升降压环，并且使用寿命长、组装方便容易，省时省力。根据本实用新型的驱动器连接部件包括本体，所述本体上设有第一导向孔和第二 导向孔以及用于与驱动器相连的连接部，其中所述本体的重心和所述连接部均位于所述第 一导向孔与所述第二导向孔的中心连线上。根据本实用新型实施例的驱动器连接部件，由于所述本体的重心与连接部(即驱 动器对驱动器连接部件施加力的位置)在所述第一导向孔与第二导向孔的中心连线上，因此所述驱动器连接部件的受力容易实现平衡，从而安装精度要求降低，省时省力。因此，在 对所述驱动器连接部件施力时，驱动器连接部件容易平衡，而不容易发生朝向一侧倾斜，不 会损坏第一导向孔和第二导向孔，使用寿命长。另外，根据本实用新型的驱动器连接部件还可以具有如下附加的技术特征优选地，所述本体的重心与所述连接部位于所述中心连线的中点。根据本实用新型的驱动器连接部件进一步包括设置在所述连接部上且用于与所 述驱动器相连的连接块，其中所述本体和所述连接块的重心与所述连接块位于所述中心连 线的中点。优选地，所述连接块的中心和重心以及所述中心连线的中点重合。具体地，所述本体具有相对于所述本体的纵向轴线对称的形状。进而，所述中心连线沿垂直于所述纵向轴线且沿所述本体的横向延伸。根据本实用新型的压环升降机构包括支撑架；第一导向轴和第二导向轴，所述 第一导向轴和第二导向轴的上端分别与所述支撑架相连；多个连接轴，所述多个连接轴的 上端分别通过多个波纹管与压环相连；驱动器，所述驱动器安装在所述支撑架上；和驱动 器连接部件，所述驱动器连接部件为上述驱动器连接部件，其中所述多个连接轴的下端分 别与所述驱动器连接部件相连，所述驱动器连接部件的第一导向轴和第二导向轴的下端分 别可滑动地穿过所述第一导向孔和第二导向孔向下伸出，且所述驱动器与所述驱动器连接 部件的连接部相连。根据本实用新型实施例的压环升降机构，由于驱动器连接部件的重心与所述连接 部位于第一导向孔与第二导向孔的中心连线L上，因此在驱动器通过驱动器连接部件驱动 连接轴上下移动时，驱动器连接部件的受力平衡，驱动器连接部件不会发生倾斜，从而不会 损坏连接轴以及第一导向孔与第二导向孔，压环升降平稳，压环升降机构的寿命长，不容易 损坏，并且安装容易，省时省力。具体地，所述驱动器为气缸，其中所述气缸的缸杆的自由端与所述连接部相连。优选地，所述连接轴为三个，所述三个连接轴与所述驱动器连接部件相连的三个 连接位置在所述驱动器连接部件上成三角形分布。附加地，所述第一导向孔和第二导向孔内分别安装有直线轴承。本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述 中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中 将变得明显和容易理解，其中图1是根据本实用新型实施例的压环升降机构的示意图；图2是根据本实用新型实施例的压环升降机构的驱动器连接部件的示意图；和图3是传统气缸连接部件的示意图。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参 考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的 限制。在本实用新型的描述中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水
平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实 用新型而不是要求本实用新型必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新 型的限制。在本实用新型的描述中，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连 接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介相连， 对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。下面首先参考图2描述根据本实用新型一个实施例的驱动器连接部件1。如图2所示，驱动器连接部件1包括本体100，本体100上设有第一导向孔10 和 第二导向孔102b以及用于与驱动器3(参见图1，下面将会描述)相连的连接部，本体100 的重心和连接部均位于第一导向孔10 与第二导向孔102b的中心连线L上。根据本实用新型实施例的驱动器连接部件1，由于本体100的重心与连接部(即驱 动器3对驱动器连接部件1施加力的位置，也可以成为驱动器3与驱动器连接部件1的连 接位置)在第一导向孔10 与第二导向孔102b的中心连线L上，因此驱动器连接部件1 的受力容易实现平衡，从而安装精度要求降低，省时省力。因此，在驱动器3对驱动器连接 部件1施力时，驱动器连接部件1容易平衡，而不容易朝向一侧倾斜，且不会损坏第一导向 孔10 和第二导向孔102b，使用寿命长。在本实用新型的上述实施例中，需要理解的是，所述连接部可以理解为驱动器3 与驱动器连接部件1连接的位置，也可以理解为一个部件。在本实用新型的优选实施例中，本体100的重心与所述连接部位于中心连线L的 中点，由此，可以更加容易实现驱动器连接部件1的受力平衡。在本实用新型的一些实施例中，驱动器连接部件1可以进一步包括设置在所述连 接部上且用于与驱动器3相连的连接块2，其中本体100和连接块2的重心以及连接块2的 中心均位于中心连线L的中点上。通过设置连接块2，可以方便驱动器3与驱动器连接部件1的连接，而且通过使本 体100和连接块2的重心与连接块2均位于中心连线L的中点，不会影响驱动器连接部件1 的受力平衡。而且，当连接块2损坏时，可以方便地更换，无需更换整个驱动器连接部件1， 降低了成本。在本实用新型的优选示例中，连接块2的中心和重心重合，驱动器3可以与连接块 2的中心连接，从而增加连接块2不会影响驱动器连接部件1的受力平衡。例如，连接块2 可以矩形块，也可以为圆形块。为了更容易实现驱动器连接部件1的平衡，本体100具有相对于本体100的纵向 轴线X(图2中的竖直轴线)对称的形状。此外，中心连线L沿垂直于纵向轴线X且沿本体 100的横向(图2中的水平方向)延伸。在本实用新型的一个具体示例中，如图2所示，本体100包括基体101c，和分别从 基体IOlc左右两侧对称延伸出的凸耳IOla和101b。基体IOlc本身相对于纵向轴线X左右对称。由此，可以降低驱动器连接部件1的整体重量，而且容易实现驱动器连接部件1的 受力平衡。当然，根据本实用新型实施例的驱动器连接部件1并不限于图2所示的形状。下面参考图1和2描述根据本实用新型实施例的压环升降机构。如图1所示，根据本实用新型一个实施例的压环升降机构包括支撑架8，第一导向 轴4a，第二导向轴4b，多个连接轴6，驱动器3，和驱动器连接部件1。驱动器连接部件1可以为参考上面实施例描述的驱动器连接部件。第一导向轴如和第二导向轴4b的上端分别与支撑架8相连，第一导向轴如和第 二导向轴4b的下端分别可滑动地穿过驱动器连接部件1的第一导向孔10 与第二导向孔 102并向下伸出驱动器连接部件1。多个连接轴6的上端分别通过多个波纹管7与位于反应室11内的压环10相连。 波纹管7设置在反应室11的底面与支撑架8的上表面之间，压环10通过连接杆与波纹管 7的上端相连，波纹管7的下端与连接轴6的上端相连。驱动器3安装在支撑架8上。驱动器3与驱动器连接部件1的连接部相连，换言 之，驱动器3在连接部所处的位置与驱动器连接部件1相连。反应室11的下面设有腔室连接件9，腔室连接件9与支柱12相连，支柱12安装在 支撑架8上，从而压环升降机构通过支撑架8、支柱12和腔室连接件9与反应室11相连。根据本实用新型实施例的压环升降机构，结合图2所示，由于驱动器连接部件1的 重心与所述连接部位于第一导向孔10 与第二导向孔102b的中心连线L上，优选位于中 心连线L的中点。因此在驱动器3通过驱动器连接部件1驱动连接轴6上下移动时，驱动 器连接部件1的受力平衡，驱动器连接部件1不会发生倾斜，从而不会损坏连接轴6以及第 一导向孔10 与第二导向孔102b，压环10升降平稳，压环升降机构的寿命长，不容易损坏， 并且安装容易，省时省力。在本实用新型的一些实施例中，驱动器3例如为气缸，具体地，气缸的缸杆的自由 端(图1中的下端)与驱动器连接部件1的连接部相连。连接轴6为三个，相应地，波纹管 7也为三个。如图2所示，三个连接轴6与驱动器连接部件1相连的三个连接位置103a， 103b，和103c在驱动器连接部件1上成三角形分布。在连接位置103a，103b，和103c处，可 以分别开设连接孔，从而便于连接轴6与驱动器连接部件1相连。当在驱动器连接部件1上设置连接块2时，气缸的缸杆的自由端可以与连接块2 相连，由此当连接块2损坏时，可以仅仅更换连接块2，无需更换整个驱动器连接部件1，进 一步降低了成本。在本实用新型的一个优选实施例中，为了减小第一导向轴如和第二导向轴4b的 磨损和对第一导向孔10 与第二导向孔102b的损坏，可以在第一导向孔10 与第二导向 孔102b分别安装直线轴承5。由于驱动器连接部件1的受力平衡，因此直线轴承5的安装 简单方便，并且可以先将直线轴承5紧固到第一导向孔10 与第二导向孔102b内，再使第 一导向轴如和第二导向轴4b的下端滑动地穿过直线轴承5，进而进行其他部件的连接，提 高了安装效率。根据本实用新型实施例的驱动器连接部件和具有该驱动器连接部件的压环升降 机构，通过使驱动器连接部件在自然状态下和运动状态下的受力平衡，安装精度要求降低， 安装方便容易，省时省力，并且寿命提高，成本降低。[0052]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示 例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特 点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表 述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在 任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解 在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换 和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。
权利要求1.一种驱动器连接部件，其特征在于，包括本体，所述本体上设有第一导向孔和第二导 向孔以及用于与驱动器相连的连接部，其中所述本体的重心和所述连接部均位于所述第一 导向孔与所述第二导向孔的中心连线上。
2.根据权利要求1所述的驱动器连接部件，其特征在于，所述本体的重心与所述连接 部位于所述中心连线的中点。
3.根据权利要求1所述的驱动器连接部件，其特征在于，进一步包括设置在所述连接 部上且用于与所述驱动器相连的连接块，其中所述本体和所述连接块的重心与所述连接块 均位于所述中心连线的中点。
4.根据权利要求3所述的驱动器连接部件，其特征在于，所述连接块的中心和重心以 及所述中心连线的中点重合。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的驱动器连接部件，其特征在于，所述本体具有相 对于所述本体的纵向轴线对称的形状。
6.根据权利要求5所述的驱动器连接部件，其特征在于，所述中心连线沿垂直于所述 纵向轴线且沿所述本体的横向延伸。
7.—种压环升降机构，其特征在于，包括支撑架；第一导向轴和第二导向轴，所述第一导向轴和第二导向轴的上端分别与所述支撑架相连；多个连接轴，所述多个连接轴的上端分别通过多个波纹管与压环相连；驱动器，所述驱动器安装在所述支撑架上；和驱动器连接部件，所述驱动器连接部件为根据权利要求1-6中任一项所述的驱动器连 接部件，其中所述多个连接轴的下端分别与所述驱动器连接部件连接，所述驱动器连接部 件的第一导向轴和第二导向轴的下端分别可滑动地穿过所述第一导向孔和第二导向孔并 向下伸出，且所述驱动器与所述驱动器连接部件的连接部相连。
8.根据权利要求7所述的压环升降机构，其特征在于，所述驱动器为气缸，其中所述气 缸的缸杆的自由端与所述连接部相连。
9.根据权利要求7所述的压环升降机构，其特征在于，所述连接轴为三个，所述三个连 接轴与所述驱动器连接部件相连的三个连接位置在所述驱动器连接部件上成三角形分布。
10.根据权利要求7-9中任一项所述的压环升降机构，其特征在于，所述第一导向孔和 第二导向孔内分别安装有直线轴承。
专利摘要本实用新型公开一种驱动器连接部件，包括本体，所述本体上设有第一导向孔和第二导向孔以及用于与驱动器相连的连接部，其中所述本体的重心和所述连接部均位于所述第一导向孔与所述第二导向孔的中心连线上。根据本实用新型实施例的驱动器连接部件，由于所述本体的重心与所述连接部在所述第一导向孔与第二导向孔的中心连线上，因此驱动器连接部件的受力容易实现平衡，从而安装精度要求降低，省时省力。因此，对驱动器连接部件施力时，驱动器连接部件容易平衡，而不容易发生朝向一侧倾斜，不会损坏第一导向孔和第二导向孔，使用寿命长。本实用新型还提出一种具有上述驱动器连接部件的压环升降机构。
文档编号H01L21/67GK201893322SQ201020613658
公开日2011年7月6日 申请日期2010年11月18日 优先权日2010年11月18日
发明者刘利坚, 张宝辉, 李东三, 王伟, 赵梦欣 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司