专利名称：高压水喷淋装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种高压水喷淋装置。
背景技术：
如图1所示，半导体行业中，很多设备必须要使用一种电子元件603，其包括引脚 602，在使用前，需要对引脚602进行表面电镀处理。由于应用于集成电路等半导体技术中， 电子元件603和引脚602的体积往往很小。为适应规模化生产的需要，使用边筋604将多个引脚602连接后，并在边筋604上开设通孔(601、605)，使用一个挂钩支撑框上的多个夹子夹持边筋604可同时对多个引脚电镀，边筋、电子元件和引脚合称为引线框架6。在实际使用之前，还需要使用环氧树脂封装电子元件603。封装过程中，容易产生毛刺，毛刺也称为飞边或溢料，是指半导体器件经塑封后残留在引脚等处的环氧塑封料溢料，俗称为“毛刺”。它是在塑封过程中从模具中溢出的塑料类物质，它们在半导体器件的引脚处形成，并以厚度不等的塑料膜的形式将引脚包裹起来。影响引脚的电镀，造成电子元件引脚可焊性不良、漏焊，严重时可能会使引脚失去了与外界传输信号的功能，是影响半导体器件可靠性的最大隐患。几乎所有半导体器件(包括IC和分立器件等)都程度不同地存在着毛刺的问题，尤其是国内某些企业采用技术水平较差的塑封模具，毛刺更加严重。所以，各种经塑封后的半导体器件都需要进行去毛刺处理。但现有的去毛刺或清洗设备，均是在引线框架相对固定的状态下清洗或去毛刺。例如将引线框架放置到指定位置，冲刷完后再移走，然后再将下一个引线框架放置到指定位置冲刷，依此类推。其虽然能够实现机械化操作，但在使用过程中，只能依次冲刷，在冲刷前后分别有一个移送动作。虽然在机械化操作的情况下，移送动作可以很快，但对于大规模的冲刷来说，移送动作耗费了操作时间，降低了工作效率。提供一种可对多个引线框架连续操作，降低间隔时间的去毛刺装置，成为提高生产效率的需要解决的主要问题。如图2所示，电镀引线框架时，使用钢带1悬挂多个引线框架6进行电镀。钢带1 上设置有多个通孔11。钢带1仅画出一段，引线框架6仅画出两个。如何提供一种可快速大批量为弓I线框架去毛刺，且能够确保弓I线框架和电子元件在去毛刺过程中不变形的装置，是电子元件生产过程中急需解决的主要问题之一。
实用新型内容本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供可确保在去毛刺过程中确保引线框架和电子元件不变形的高压水喷淋设备。为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现高压水喷淋装置，包括高压水喷嘴，其特征在于，在高压水喷射的方向上设置有滚轮，所述滚轮可转动地安装在支架上。优选地是，所述滚轮数目为两个以上，两个以上的滚轮联动安装。优选地是，至少一个滚轮与第一转轮联动安装，滚轮转动可带动第一转轮转动；第一转轮侧面沿圆周方向设置有两个以上的定位销；第二转轮侧面设置有一圈凹槽，第一转轮与第二转轮相对安装使得定位销插入凹槽内；第二转轮可移动地安装在支架上。 优选地是，所述第二转轮可转动地安装在转轮架上，转轮架可转动地安装在支架上，复位弹簧一端与转轮架连接，另一端连接在支架上。本实用新型中的高压水喷淋设备，在高压水喷向引线框架时，可利用滚轮支撑住引线框架，可防止引线框架被高压水冲打而偏离运动轨迹。滚轮可转动地安装，可减小滚轮与摩擦力。通过传送引线框架的钢带驱动滚轮转动，可使滚轮转动与引线框架移动速度相适应，进一步减小了引线框架与滚轮之间的摩擦力，可避免滚轮损坏引线框架。采用弹簧定位第二滚转轮，既可以使第一转轮和第二转轮相配合使钢带按照预定轨迹运动，又不至于卡死。
图1为一种引线框架结构示意图。图2为输送引线框架的钢带结构示意图。图3为本实用新型结构示意图。图4为本实用新型使用方法示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行详细的描述如图3所示，高压水喷淋装置，包括支架2，支架2上安装有水箱21，水箱21设置有高压水喷嘴22。水箱21与高压水源(图中未示出)联通。高压水经过水箱21和高压水喷嘴22，向前喷射。高压水喷嘴22数目为两个以上，根据需要去毛刺的引线框架大小分布设置。还包括五个滚轮3，每个滚轮3可转动地套装在一个滚轮轴31上。滚轮轴31安装在支架2上。滚轮3位于高压水喷射的方向上。四个滚轮3通过四个传送带32联动安装。 图中仅示出了一个传动带32。在一个滚轮3转动时，其它四个滚轮同步转动。其中一个滚轮3与第一转轮4同轴安装。滚轮3转动时，可带动第一转轮4转动。 第一转轮4侧面沿圆周方向设置有两个以上的定位销41。第二转轮5可转动地安装在转轮架51 —端。转轮架51另一端可转动地安装在支架上2。复位弹簧6 —端与转轮架51连接，另一端连接在支架2上。第二转轮5侧面设置有一圈凹槽52。第一转轮4与第二转轮5相对安装使得定位销41插入凹槽52内。图4为本实用新型使用方法示意图。如图4所示，图2中所示的钢带1夹持图1 所示的引线框架6移动。钢带1和引线框架6在高压水喷嘴22和滚轮3之间穿过。高压水喷嘴22喷出的高压水冲打在引线框架6上，将引线框架6上的毛刺冲刷掉。在受到高压水冲打时，滚轮3可支撑住引线框架6，放置引线框架被冲打变形。定位销41穿过钢带1的通孔11后插入凹槽52内。以此可确保钢带1在高度方向上不会偏离运动轨迹。钢带1的运动可带动第一转轮4转动，进而带动五个滚轮3转动，这样就可以确保滚轮3的转动与钢带的移动速度相适应.滚轮3的转速与引线框架6的移动速度相适应可减小滚轮3与引线框架6之间的摩擦力 本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。
权利要求1.高压水喷淋装置，包括高压水喷嘴，其特征在于，在高压水喷射的方向上设置有滚轮，所述滚轮可转动地安装在支架上。
2.根据权利要求1所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述滚轮数目为两个以上，两个以上的滚轮联动安装。
3.根据权利要求1所述的高压水喷淋装置，其特征在于，至少一个滚轮与第一转轮联动安装，滚轮转动可带动第一转轮转动；第一转轮侧面沿圆周方向设置有两个以上的定位销；第二转轮侧面设置有一圈凹槽，第一转轮与第二转轮相对安装使得定位销插入凹槽内； 第二转轮可移动地安装在支架上。
4.根据权利要求3所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述第二转轮可转动地安装在转轮架上，转轮架可转动地安装在支架上，复位弹簧一端与转轮架连接，另一端连接在支架上 。
专利摘要本实用新型公开了一种高压水喷淋装置，包括高压水喷嘴，其特征在于，在高压水喷射的方向上设置有滚轮，所述滚轮可转动地安装在支架上。本实用新型中的高压水喷淋设备，在高压水喷向引线框架时，可利用滚轮支撑住引线框架，可防止引线框架被高压水冲打而偏离运动轨迹。滚轮可转动地安装，可减小滚轮与摩擦力。通过传送引线框架的钢带驱动滚轮转动，可使滚轮转动与引线框架移动速度相适应，进一步减小了引线框架与滚轮之间的摩擦力，可避免滚轮损坏引线框架。采用弹簧定位第二滚转轮，既可以使第一转轮和第二转轮相配合使钢带按照预定轨迹运动，又不至于卡死。
文档编号H01L21/00GK202105747SQ20102069550
公开日2012年1月11日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者刘红兵, 王振荣, 黄利松 申请人:上海新阳半导体材料股份有限公司