专利名称：用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件及方法
技术领域：
本发明涉及一种用于沉积非晶硅薄膜电池的射频电源连接构件及方法，属于太阳电池技术领域。
背景技术：
在非晶硅薄膜太阳能电池生产工艺中，沉积非晶硅层时需要给阴极板外加一个射频电源，在射频电源作用下在真空室内形成等离子体，进行均勻放电，实现低温沉积， 如专利号200820152147. 2《双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积夹具》及专利号 200610074522. 1《化学气相沉积夹具》都公开的化学气相沉积夹具，阴极板安装在沉积夹具上，沉积夹具可以移动，方便放置基片和拿取沉积好的基片。但对于一次沉积多片的夹具，需要多个阴极板和射频电源，形成阴极板组和相应的外接射频电源组，由于夹具是活动的，每次沉积时要将外接射频电源与阴极板连接，沉积后要将射频电源与阴极板分开。已有技术有通过手动或自动连接，其中手动连接是当沉积夹具推入真空室固定位置后，手动将阴极板接口插入相应的射频电源接口内，将接口锁紧螺母的内螺纹与接口锁紧螺栓的外螺纹拧紧，接口锁紧螺母同时带动拉紧轴套使阴极板接口电缆线与射频电源接口连接，对于一次沉积多片的连接机构，需要每个接口都用手动连接，工作效率低，不便于实现生产自动化。因此如何将外接射频电源组与阴极板组快速而可靠的对接成为目前需要解决的问题。
发明内容
本发明针对现有技术的不足，解决准确定位，将射频电源接口快速、稳固地与阴极板接口对接的技术问题，提供一种快速可靠的化学气相沉积夹具的射频电源连接机构。为了实现以上任务，本发明采用的技术方案是提供一种用于非晶硅薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，包括安装在沉积夹具上的阴极板接口固定板和装在真空室腔壁内的射频电源接口固定板，射频电源接口固定板上装有弹簧机构，该弹簧机构与带定位导套的活动板连接，所述定位导套内插有导柱形成导向定位机构，射频电源接口与阴极板接口通过导向定位机构定位对接，且由弹簧机构调整射频电源接口与阴极板接口的对接偏差。阴极板接口固定板上装有多个阴极板接口和多个定位导柱。连接构件的活动板上装有多个射频电源接口和多个定位导套。导柱安装在阴极板接口固定板上。阴极板接口固定板装在沉积夹具的尾部。阴极板接口和射频电源接口均连接有电缆线。本发明还提供一种用于非晶硅薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接方法，将阴极板安装在沉积非晶硅薄膜电池的夹具上，射频电源接口固定板装在真空室的腔壁内，
射频电源接口固定板通过弹簧机构连接一块活动板， 在活动板上安装射频电源接口和定位导套，在阴极板接口固定板上安装定位导柱，
将定位导柱插接在导套内导向定位，实现阴极板接口与射频电源接口定位对接， 用弹簧机构调整阴极板接口与射频电源接口的对接偏差。射频电源接口连接有电缆线，该电缆线的另一端连接射频电源的引入接头。阴极板接口连接电缆线，该电缆线的另一端与阴极板连接。本发明的有益效果是结构简单、操作方便，不仅能实现阴极板接口和射频电源接口准确定位，而且能快速、稳固地实现阴极板接口和射频电源接口对接，还可以通过调整偏差部件调整阴极板接口和射频电源接口对接的偏差，进一步保证对接的准确性。
图1是本发明的结构示意图。图2是图1中A-A剖视图。图3是本发明射频电源连接机构对接状态示意图。图4是实施例1的示意图。图5是实施例2的示意图。图6是实施例3的示意图。图1至图6中1为沉积夹具，2为阴极板接口固定板，3为阴极板接口电缆线，4为阴极板接口，5为真空室，6为射频电源引入接头，7为射频电源接口固定板，8为活动板，9为射频电源接口电缆线，10为射频电源接口，11为弹簧机构，12为导柱，13为导套。 下面结合附图对本发明做详细的说明。射频电源接口固定板与活动板通过弹簧机构连接，阴极板接口固定安装在沉积夹具上的阴极板接口固定板上，在活动板上装有定位用导套，在阴极板接口固定板上装有定位用导柱，导柱与导套起定位作用，弹簧机构调整对阴极板接口和射频电源接口对位偏差， 使其准确牢固对接。
具体实施例方式实施例1
用于非晶硅薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，包括安装在沉积夹具上的阴极板接口固定板和装在真空室腔壁内的射频电源接口固定板，射频电源接口固定板上装有弹簧机构，该弹簧机构与带定位导套的活动板连接，定位导套内插有导柱形成导向定位机构， 射频电源接口与阴极板接口通过导向定位机构定位对接，由弹簧机构调整射频电源接口与阴极板接口的对接偏差。见图4，本实施例一次可同时沉积16片非晶硅电池基片，需要4对射频电源接口 10与阴极板接口 4，在阴极板接口固定板2上安装4个阴极板接口 4和1个导柱12，在活动板8安装4个射频电源接口 10和1个导套13，活动板8和射频电源接口固定板7通过2 个弹簧机构11连接，可保证射频电源接口 10与阴极板接口 4的不同心的偏差不超过导柱 12直径的一半范围内。实施例2
如图所示，阴极板接口固定板2通过焊接或螺栓固定在沉积夹具1的尾部，阴极板接口4固定在阴极板接口固定板2上，阴极板接口电缆线3 —端连接在阴极板接口 4上，另一端连接在阴极板上，射频电源接口固定板7通过焊接或螺栓固定在真空室5腔壁内，活动板8 通过弹簧机构11与射频电源接口固定板7相连，射频电源接口 10固定在活动板8上与阴极板接口 4对应位置，射频电源接口电缆线9 一端与射频电源接口 10相连，另一端与射频电源引入接头6相连，导柱12固定在阴极板接口固定板2上，导套13固定在活动板8上， 导柱12在沉积夹具1推入真空室5时带动阴极板接口固定板2运动插入导套13内实现导向定位，同时使射频电源接口 10与阴极板接口 4对接，当射频电源接口 10与阴极板接口 4 定位时发生偏差，通过弹簧机构11使得活动板8可以左右上下允许一定范围的偏移来调整射频电源接口 10与阴极板接口 4对位偏差。见图5，本实施例一次可同时沉积32片非晶硅电池基片，需要8对射频电源接口 10与阴极板接口 4，在阴极板接口固定板2上安装8个阴极板接口 4和2个导柱12，在活动板8安装8个射频电源接口 10和2个导套13，活动板8和射频电源接口固定板7通过4 个弹簧机构11连接，可保证射频电源接口 10与阴极板接口 4的不同心的偏差不超过导柱 12直径的一半范围内。实施例3
实施方式同实施例2，在此不再赘述。见图6，本实施例一次可同时沉积48片非晶硅电池基片，需要12对射频电源接口 10与阴极板接口 4，在阴极板接口固定板2上安装12个阴极板接口 4和2个导柱12，在活动板8安装12个射频电源接口 10和2个导套13，活动板8和射频电源接口固定板7通过9个弹簧机构11连接，可保证射频电源接口 10与阴极板接口 4的不同心的偏差不超过导柱12直径的一半范围内。
权利要求
1.一种用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，包括安装在沉积夹具上的阴极板接口固定板和装在真空室腔壁内的射频电源接口固定板，其特征在于所述射频电源接口固定板上装有弹簧机构，该弹簧机构与带定位导套的活动板连接，所述定位导套内插有导柱形成导向定位机构，射频电源接口与阴极板接口通过导向定位机构定位对接，且由弹簧机构调整射频电源接口与阴极板接口的对接偏差。
2.根据权利要求1所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，其特征在于所述阴极板接口固定板上装有多个阴极板接口和多个定位导柱。
3.根据权利要求1所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，其特征在于所述连接构件的活动板上装有多个射频电源接口和多个定位导套。
4.根据权利要求1所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，其特征在于所述导柱安装在阴极板插接口固定板上。
5.根据权利要求1所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，其特征在于所述阴极板接口固定板装在沉积夹具的尾部。
6.根据权利要求1所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接构件，其特征在于所述阴极板接口和射频电源接口均连接有电缆线。
7.一种用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接方法，将阴极板安装在沉积硅基薄膜电池的夹具上，射频电源接口固定板装在真空室的腔壁内，其特征在于在活动板上安装射频电源接口和定位导套，在阴极板接口固定板上安装定位导柱，将定位导柱插接在导套内导向定位，实现阴极板接口与射频电源接口定位对接，用弹簧机构调整阴极板接口与射频电源接口的对接偏差。
8.根据权利要求7所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接方法，其特征在于所述射频电源接口连接有电缆线，该电缆线的另一端连接射频电源的引入接头。
9.根据权利要求7所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接方法，其特征在于所述阴极板接口固定板装在沉积夹具的尾部。
10.根据权利要求7所述的用于硅基薄膜电池沉积夹具中射频电源的连接方法，其特征在于所述阴极板接口连接电缆线，该电缆线的另一端与阴极板连接。
全文摘要
本发明涉及一种用于沉积非晶硅薄膜电池的射频电源连接构件及方法，属于太阳电池技术领域，射频电源接口固定板上装有弹簧机构，该弹簧机构与带定位导套的活动板连接，所述定位导套内插有导柱形成导向定位机构，射频电源接口与阴极板接口通过导向定位机构定位对接，且由弹簧机构调整射频电源接口与阴极板接口的对接偏差。本发明不仅能实现阴极板接口和射频电源接口准确定位，而且能快速、稳固地实现阴极板接口和射频电源接口对接，还可以通过调整偏差部件调整阴极板接口和射频电源接口对接的偏差，进一步保证对接的准确性。
文档编号H01R13/518GK102185217SQ20111005246
公开日2011年9月14日 申请日期2011年3月4日 优先权日2011年3月4日
发明者施泽涛, 李毅 申请人:深圳市创益科技发展有限公司