一种调整双臂机械手fork圆心重合的方法

文档序号:6996853阅读:600来源:国知局
专利名称:一种调整双臂机械手fork圆心重合的方法
技术领域
本发明涉及在半导体生产设备制造领域内,一种调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。经过调整,当T轴处于零位时,可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合,从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
背景技术
双臂机械手在吸附硅片时,硅片的圆心位置理论上即是未端臂FORK的圆心。无论双臂机械手的上下臂运动轨迹如何变化,但上下臂运动轨迹的原始基准是确定的。理论上讲,当T轴处于零位,双臂向前平伸,上下臂FORK的圆心是重合的。但由于制造误差的装配误差的存在,实际上的上下臂FORK的圆心是不重合的。为了使上下臂FORK的圆心不重合程度小于规定的指标,需要双臂机械手在装配调试时,一是要有一个确定双臂FORK圆心的基准,二是在双臂机械手的左右臂,要有在R轴旋转平面可以进行平移的调整机构。

发明内容
本发明的目的在于提供一种结构合理,能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。本方法通过试验台提供确定的双臂FORK圆心基准,通过FORK调整夹头来对FORK圆心进行调整。本发明的发明目的是这样实现的一种调整双臂机械手FORK圆心重合的方法,所述方法使用的装置包括FORK调整夹头机构和FORK圆心基准试验台。FORK调整夹头机构包括FORK组合1、调整紧固螺钉2、调整夹头本体3、气路密封胶圈4、取片臂5、气路接口 6、取片臂下盖板7。FORK圆心基准试验台包括框架结构8、圆心调节装置底板9、小臂中间定位板10、圆心定位块11、小臂定位固定夹板12、小臂定位活动夹板13、主机支撑板14等。将气路接口 6的螺纹端拧入调整夹头本体3旋紧到位后,把气路密封圈4放入调整夹头本体3上的密封圈槽内,将FORK组合1的气孔对正密封圈4的气孔,把FORK组合1 后端放入调整夹头本体3的槽内,将8个紧固螺钉拧紧到位。经上述安装后的装配体放入取片臂5的凹槽内,将4个调整紧固螺钉2从取片臂的长孔内拧入装配体但并不旋紧。此时装配体在取片臂5的槽中应能左右平移2mm。两个臂都完成上述装配后,将双臂机械手的主机放入圆心基准试验台内,先将主机的惟一安装位置固定,然后将T轴调至零位。调正零位后,将两臂的小臂紧靠在圆心试验台的小臂中间定位板10上,并以小臂定位固定夹板12、小臂定位活动夹板13夹紧。此时,双臂机械手的大臂和小臂均以固定,只有取片臂能够活动。将两个取片臂的联接螺钉拧松,前后左右的转动或平移上下取片臂5,使FORK组合1的圆心半径与定位块11的圆心半径靠紧并完全吻合后,再将所有松开的螺钉紧固到位。保持现有紧固状态,将两个小臂的同步带与带轮安装啮合,调整同步带预紧机构,保持足够的预紧力,并检查双臂的传动机构,确保没有无约束的自由转动或移动。拆除定位约束按以下顺序进行先拆除圆心定位块11,再拆除小臂活动夹板13, 最后卸下小臂固定夹板12与小臂中间夹板10。本发明一种调整双臂机械手圆心重合的方法,具有如下优点1、在本发明中,FORK圆心重合的调整过程使用同一基准的圆心定位块,因此定位精度较高,重复精度好。2、在本发明中,由于FORK圆心重合调整试验台的框架使用了主机工位调试试验台的框架,因此调整后无需搬运主机,安装工作工位后,即可进行硅片的传输试验,可减少工位试验的系统误差,提高硅片传输精度。3、本发明之FORK圆心重合的调整方法,结构简单、作用可靠、操作简便、可有效降低设备调试的成本。


图1为本发明中的调整机构-FORK调整夹头的俯视图。在图1中,具体数字表示0点表示FORK的圆心、1-F0RK组合;图2为本发明中的调整机构-FORK调整夹头的主剖视图。在图2中,具体数字表示1-F0RK组合;2_调整紧固螺钉、3_调整夹头本体、4_气路密封胶圈、5-取片臂、6-气路接口、7-取片臂下盖板;图3表示FORK圆心基准试验台的俯视图。具体数字表示8-框架结构、9-圆心调节装置底板、10-小臂中间定位板、11-圆心定位块、12-小臂定位固定夹板、13-小臂定位活动夹板、14-主机支撑板。
具体实施例方式结合附图对本发明作进一步说明参照图1、图2所示,一种调整双臂机械手圆心重合的装置包括FORK调整夹头机构和FORK圆心基准试验台。其中,FORK调整夹头机构包括FORK组合1、调整紧固螺钉2、调整夹头本体3、气路密封胶圈4、取片臂5、气路接口 6、取片臂下盖板7。FORK圆心基准试验台包括框架结构8、圆心调节装置底板9、小臂中间定位板10、圆心定位块11、小臂定位固定夹板12、小臂定位活动夹板13、主机支撑板14等。装配及调整过程中,将气路接口 6的螺纹端拧入调整夹头本体3旋紧到位后,把气路密封圈4放入调整夹头本体3上的密封圈槽内,将FORK组合1的气孔对正气路密封胶圈 4的气孔,把FORK组合1后端放入调整夹头本体3的槽内,将8个紧固螺钉拧紧到位。经上述安装后的装配体放入取片臂5的凹槽内,将4个调整紧固螺钉2从取片臂5的长孔内拧入装配体但并不旋紧。此时装配体在取片臂5的槽中应能左右平移2mm。两个臂都完成上述装配后,将双臂机械手的主机放入圆心基准试验台内,先将主机的惟一位置固定,然后将 T轴调至零位。调正零位后,将两臂的小臂紧靠在圆心重合试验台的小臂中间定位板10上, 并以小臂定位固定夹板12、小臂定位活动夹板13夹紧。此时,双臂机械手的大臂和小臂均以固定,只有取片臂5能够活动。将两个取片臂5的联接螺钉拧松,前后左右的转动或平移上下取片臂5,使FORK组合1的中心半径与圆心定位块11的中心半径靠紧并完全吻合后,再将所有松开的螺钉紧固到位。保持现有紧固状态,将两个小臂的同步带与带轮安装啮合, 调整同步带预紧机构,保持足够的预紧力,并检查双臂的传动机构,确保没有无约束的自由转动或移动后,可对圆心重合试验台的约束进行放松。
权利要求
1.一种调整双臂机械手圆心重合的方法,包括使用FORK调整夹头机构和FORK圆心基准试验台;其特征在于所述FORK调整夹头机构包括FORK组合(1)、调整紧固螺钉O)、调整夹头本体(3)、气路密封胶圈G)、取片臂(5)、气路接口(6)、取片臂下盖板(7);将气路接口(6)的螺纹端拧入调整夹头本体C3)旋紧到位后,把气路密封圈(4)放入调整夹头本体(3)上的密封圈槽内,将FORK组合(1)的气孔对正气路密封胶圈(4)的气孔,把FORK组合(1)后端放入调整夹头本体(3)的槽内,将8个紧固螺钉拧紧到位;经上述安装后的装配体放入取片臂(5)的凹槽内,将4个调整紧固螺钉( 从取片臂(5)的长孔内拧入装配体但并不旋紧;此时装配体在取片臂( 的槽中应能左右平移2mm ;两个臂都完成上述装配后,将双臂机械手的主机放入圆心基准试验台内,先将主机的惟一位置固定,然后将T轴调至零位,T轴调正零位后,将两臂的小臂紧靠在圆心重合试验台的小臂中间定位板(10)上, 并以小臂定位固定夹板(12)、小臂定位活动夹板(13)夹紧;此时,双臂机械手的大臂和小臂均以固定,只有取片臂(5)能够活动;将两个取片臂(5)的联接螺钉拧松,前后左右的转动或平移上下取片臂(5),使FORK组合(1)的中心半径与圆心定位块(11)的中心半径靠紧并完全吻合后,再将所有松开的螺钉紧固到位;保持现有紧固状态,将两个小臂的同步带与带轮安装啮合,调整同步带预紧机构,保持足够的预紧力,并检查双臂的传动机构,确保没有无约束的自由转动或移动后,可对圆心重合试验台的约束进行放松。。
2.根据权利要求1所述的一种调整双臂机械手圆心重合的方法,其特征在于所述 FORK圆心基准试验台包括框架结构(8)、圆心调节装置底板(9)、小臂中间定位板(10)、圆心定位块(11)、小臂定位固定夹板(12)、小臂定位活动夹板(13)、主机支撑板(14)。
全文摘要
本发明提供一种结构合理,能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。方法通过FORK圆心基准试验台提供确定的双臂FORK圆心基准,通过FORK调整夹头来对FORK组合中的圆心进行调整。经过调整,当T轴处于零位时,可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合,从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
文档编号H01L21/683GK102176424SQ201110062759
公开日2011年9月7日 申请日期2011年3月16日 优先权日2011年3月16日
发明者刘延杰, 吴明月, 孙立宁, 荣伟彬 申请人:哈尔滨工业大学
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