专利名称：一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及全固态激光领域，特别涉及一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置。
背景技术：
激光技术是二十世纪最伟大的发明之一，自1960年第一台激光器发明以来，它对光学及其它多学科的发展产生了极其深远的影响。目前，激光应用已经遍及科学、经济、军事和社会发展的诸多领域。深紫外(DUV)光源，一般指波长介于40nm到200nm之间的电磁辐射波段，由于其波长短、光子能量高，因而在高分辨率成像、光谱应用、微细加工等诸多领域具有重要的应用价值，是国际光电子领域最重要发展方向之一。窄线宽激光指光谱宽度很窄的激光，但目前没有明确、统一的公认标准。在全固态激光领域，对于激光材料的某一发射谱线，窄线宽激光一般指光谱宽度△ λ小于自然线宽 1/10的激光；对于没有对应发射谱线的激光波长λ，窄线宽激光也可以认为是光谱宽度与波长λ的比值小于一定值(如Δ λ/λ < IO-5)的激光。对于常用的激光材料Nd: YAG，其 1064·激光谱线的自然线宽为0.45nm(对应频域线宽吉AA=ll9.2SGHz,其中，0为真空中的光速，λ为激光中心波长)，一般认为光谱宽度Δ λ < 0.045nm(频域线宽Δ υ < 12GHz)的1064nm激光即为窄线宽激光。由于要控制较窄的线宽，需要在产生过程中采用特殊的线宽压窄和控制技术。窄线宽深紫外激光，与普通深紫外激光相比，具有光谱亮度更高的优势，例如，应用于光电子能谱仪可将分辨率提高一个量级，应用于钠米光刻可提高光刻精度。目前，产生窄线宽深紫外激光的方法主要是ArF准分子激光器(K.Kakizaki， Τ. Matsunaga,et al,"Ultra-high-repetition rate ArF excimer laser with long pulse duration for 193nm lithography", Proceeding of SPIE, 2001 (4346) :1210)和采用全固态激光源通过非线性晶体的和频特性产生(例如Photonic公司TU-L系列产品)。准分子激光是目前使用最多的深紫外相干激光源，其波长有157nm、193nm等特定谱线，具有高平均功率、高脉冲能量、结构简单、效率高等优点，但运转方式少(CW和ns)、波长固定、气体有毒、一次充气寿命有限等缺点。全固态激光器具有结构紧凑、效率高等优势，但目前通过这一途径产生深紫外激光的方法仅通过和频产生，需利用两束激光进行和频，使得技术复杂、 效率不高、寿命有限，且不能实现更短波长(小于190nm)输出。中国科学院理化技术研究所的陈创天领导的研究组和许祖彦领导的研究组在深紫外晶体材料和激光技术领域进行了大量开创性的工作(许祖彦，“深紫外全固态激光源”， 中国激光2009(36) :1619)，在国际上首次使用直接倍频方法，实现了 184. 7nm深紫外激光输出(C. T. Chen, Ζ. Y. Xu, D. Q. Deng, J. Zhang, and G. K. L. Wong, “The vacuum ultraviolet phase matching characteristics of nonlinear optical KBe2BO3F2Crystal，，，App 1. Phys. Lett. ,1996(8) :2930)，突破了全固态激光200nm壁垒，并发明了它的使用技术-棱镜耦合技术(一种非线性光学晶体激光变频耦合器，ZL 01115313. X)。但目前尚未进行直接
4倍频产生窄线宽深紫外的研究。
发明内容
本发明的目的是针对目前无法获得波长小于190nm、可实用化、波长可调谐的窄线宽深紫外激光源的问题，采用窄线宽全固态紫外激光泵浦源(波长介于200nm到400nm之间)泵浦具有深紫外激光输出能力的非线性光学晶体，通过直接倍频方法获得窄线宽深紫外激光。本发明的目的是这样实现的本发明提供的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其包括激光泵浦源、直接倍频器件和真空罐系统；所述直接倍频器件为具有深紫外非线性光学变频输出能力的倍频器件，该直接倍频器件由深紫外倍频晶体、第一匹配材料和第二匹配材料组成，深紫外倍频晶体为薄片状晶体，第一匹配材料和第二匹配材料为直角棱柱，所述深紫外倍频晶体光胶于所述第一匹配材料和第二匹配材料的斜边面上；所述激光泵浦源为高光束质量、窄线宽的全固态紫外激光源，高光束质量指光束质量因子M2小于5，窄线宽指线宽小于10pm，紫外指200 400nm波段；所述真空罐系统由密封罐体、置于所述密封罐体罐壁上的入射窗口和出射窗口组成，所述密封罐体内抽真空或充填惰性气体气氛；所述的倍频器件放置在真空罐系统的密封罐体中，确保直接倍频器件在真空或惰性气体气氛中进行倍频产生窄线宽深紫外激光，防止深紫外激光被空气吸收；激光泵浦源产生的紫外激光从入射窗口进入真空罐系统的密封罐体，由第二匹配材料的直角边垂直入射，然后通过深紫外倍频晶体进行直接倍频，产生深紫外激光和剩余的紫外激光经过匹配材料后在深紫外激光传播方向上设置的出射窗口出射，深紫外激光在出射窗口输出。所述激光泵浦源为侧面泵浦的全固态紫外激光源、端面泵浦的全固态紫外激光源或可调谐全固态紫外激光源。所述的侧面泵浦的全固态紫外激光源为近红外基频激光经过整形后通过第一非线性晶体和第二非线性晶体进行非线性频率变换而产生的紫外激光；所述近红外基频激光由至少一个侧面激光头、激光谐振腔镜A和激光谐振腔镜B和线宽压窄元件组成的基频级产生；当所述近红外基频激光波长为1 士0.2μπι时，第一非线性晶体为该波长的倍频晶体，近红外基频激光经第一非线性晶体后产生近红外基频激光倍频光，第二非线性晶体为近红外基频激光和近红外基频激光倍频光的和频晶体，经第一非线性晶体后剩余的近红外基频激光和产生的近红外基频激光倍频光在第二非线性晶体中和频，最终获得355士67nm 的紫外激光；当所述近红外基频激光波长为1. 3士0. 2μπι时，第一非线性晶体为近红外基频激光的倍频晶体，近红外基频激光通过第一非线性晶体后转换为近红外基频激光倍频光，第二非线性晶体为近红外基频激光倍频光的倍频晶体，近红外基频激光倍频光经过第二非线性晶体后，最终获得330士67nm的紫外激光。所述端面泵浦的全固态紫外激光源为近红外基频激光经过整形后通过第一非线性晶体和第二非线性晶体进行非线性频率变换而产生的紫外激光；所述近红外基频激光由至少一个端面激光头、光纤耦合半导体激光泵浦源、激光谐振腔A镜、激光谐振腔B镜和线宽压窄元件组成的基频级产生；当所述近红外基频激光波长为1 士 0.2μπι时，第一非线性晶体为该波长的倍频晶体，近红外基频激光经第一非线性晶体后产生近红外基频激光倍频光，第二非线性晶体为近红外基频激光和近红外基频激光倍频光的和频晶体，经第一非线性晶体后剩余的近红外基频激光和产生的近红外基频激光倍频光在第二非线性晶体中和频，最终获得355士67nm 的紫外激光；当所述近红外基频激光波长为1. 3士0. 2μπι时，第一非线性晶体为近红外基频激光的倍频晶体，近红外基频激光通过第一非线性晶体后转换为近红外基频激光倍频光，第二非线性晶体为近红外基频激光倍频光的倍频晶体，近红外基频激光倍频光经过第二非线性晶体后，最终获得330士67nm的紫外激光。所述的可调谐全固态紫外激光源为利用钛宝石材料作为激光增益介质而产生的 670 1070nm可调谐激光通过二倍频或三倍频或四倍频获得的200 400nm窄线宽紫外激光源；或者所述的可调谐全固态紫外激光源为通过激光参量过程获得的窄线宽紫外激光源。所述直接倍频器件是深紫外倍频晶体KBBF族晶体制成的具有深紫外输出能力的棱镜耦合器件。所述的KBBF族晶体为KBBF晶体或RBBF晶体。所述的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置还包括本专业人员所熟知的各种光路元件，如图2-图4，具体包括透镜或透镜组1-7-1、1-7-2和1-7-3，用于激光整形；棱镜1-9-1和1-9-2，用于将两种波长的激光分开；转台3-5，用于放置、转动直接倍频器件2 ； 镜1-6-1 7，用于调整激光传播方向；以及剩余光回收装置3-3和探测装置3-4。本发明的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置具有效率高、最小波长短、可实用化、波长可调谐以及线宽窄、光谱亮度高的优点，在前沿科学研究、高精度半导体加工等领域具有不可替代的作用。
以下，结合附图和实施例对本发明进行详细地说明图1是一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置结构简图；图2是实施例1的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置结构图；图3是实施例2的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置结构图；图4是实施例3的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置结构图。
具体实施例方式图1是本发明的装置结构简图，包括窄线宽激光泵浦源1、直接倍频器件2和真空罐系统3。直接倍频器件2为具有深紫外非线性光学变频输出能力的倍频器件，由深紫外倍频晶体2-1、第一匹配材料2-2-1和第二匹配材料2-2-2组成，深紫外倍频晶体2_1为薄片状晶体，第一匹配材料2-2-1和第二匹配材料2-2-2为直角棱柱，深紫外倍频晶体2-1光胶于第一匹配材料2-2-1和第二匹配材料2-2-2的斜边面上；真空罐系统3由密封罐体3-1、 置于密封罐体3-1罐壁上的入射窗口 3-2-1和出射窗口 3-2-2组成，密封罐体3_1内抽真空或充填惰性气体气氛；的倍频器件2放置在真空罐系统3的密封罐体3-1中，确保直接倍频器件2在真空或惰性气体气氛中进行倍频产生窄线宽深紫外激光，防止深紫外激光被空气吸收；激光泵浦源1产生的紫外激光从入射窗口 3-2-1进入真空罐系统3的密封罐体 3-1，由第二匹配材料2-2-2的直角边垂直入射，然后通过深紫外倍频晶体2-1进行直接倍频，产生深紫外激光和剩余的紫外激光经过匹配材料2-2-1后在深紫外激光传播方向上设置的出射窗口 3-2-2出射，深紫外激光在出射窗口 3-2-2输出。为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。实施例1本实施例按图2制作一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置。采用两个半导体泵浦的侧泵激光头模块1-1-1和1-1-2串接，侧泵激光头模块 1-1-1和1-1-2内置双端镀1064nm增透膜的Nd:YAG晶体棒作为激光增益介质；两个激光头模块中间放置90度旋光晶体1-2，用以消除热致双折射效应；谐振腔内同轴放置声光调Q 装置1-3，用以产生调Q脉冲激光输出；谐振腔内再以54. 5度放置镀1. 06 μ m增透膜的偏振片1-4，用以产生偏振激光；在腔内放置压窄线宽元件1-5，为1. 06 μ m FP标准具。谐振腔两端放置腔镜1-6-1 (激光谐振腔A镜)和1-6-2 (激光谐振腔B镜)，高反腔镜1-6-1为石英镜片，镀对于1. 06μ m反射率大于99. 8%的高反膜，输出镜也为石英镜片，镀对于1. 06μ m 透过率为30%的部分透射膜。调节腔内各元件，使得激光在腔内形成谐振，输出高光束质量、窄线宽1. 06 μ m激光。窄线宽1. 06 μ m激光经第一组整形缩束镜1_7_1聚焦后从第一变频晶体1_8_1端面入射，在晶体内进行非线性光学频率变换，1. 06 μ m激光部分转化为0. 53 μ m倍频激光。 第一变频晶体1-8-1为按I类相位匹配方向(θ = 90°，Φ = 0° )切割的LBO晶体，尺寸为4Χ4Χ40mm3，双端光学抛光并镀对于1. 06 μ m和0. 53 μ m的增透膜。剩余的1. 06 μ m激光和0. 53 μ m倍频激光再经过第二组整形缩束镜1_7_2，从第二变频晶体1-8-2端面入射，剩余的1. 06 μ m激光和0. 53 μ m倍频激光在晶体内进行非线性光学频率变换，产生窄线宽355nm三倍频激光。在第二变频晶体1-8-2后放置分光棱镜1-9-1，将剩余的1. 06 μ m激光、0. 53 μ m 倍频激光与355nm三倍频激光分开一定角度。在光路中放置并调节镜片1_6_3和1_6_4，使得窄线宽355nm激光泵源经过第三组整形缩束镜1_7_3后入射进倍频器件。倍频器件中的KBBF晶体作为具有深紫外输出能力的非线性光学晶体2-1，厚度为 2_。为实现相位匹配，在2-1上下两面光胶匹配材料2-2-1和2-2-2，匹配材料为CaF2，其截面为直角三角形。对于355nm，KBBF晶体的倍频角为64. 5°，CaF2切割角度(直角三角形平行于入射泵浦激光的边所对应的角)θ =69.2°，厚度为9mm，倍频器件整体尺寸约 9 X 23 X 9mm3。倍频器件放置在真空罐系统中，用以确保直接倍频器件在真空或惰性气体气氛中进行倍频产生窄线宽深紫外激光，防止深紫外激光被空气吸收。真空罐系统由真空罐3-1、真空罐透光窗口 3-2-1和3_2_2、剩余光回收装置3_3、 探测装置3-4、倍频器件转台3-5组成。真空罐3-1采用不锈钢材料加工成，留有透光窗口 3-2-1和3-2-2，分别用来入射355nm泵浦光和出射产生的177. 3nm深紫外激光。倍频器件放置在转台3-5上，可旋转角度进行调节。剩余光回收装置3-3用来收集剩余未进行倍频的355nm激光，防止其四散。探测装置3_4为功率计，用来测量产生的深紫外激光的功率。
调节光路，使得窄线宽355nm激光入射进倍频器件，从而获得窄线宽177. 3nm深紫外激光输出。不测量177. 3nm深紫外激光功率时，移开探测装置3-4，在真空罐透光窗口 3_2_2 处出射窄线宽深紫外激光。实施例2本实施例按图3制作一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置。采用885nm的光纤耦合半导体激光泵浦源1-10端面泵浦内有NchYVO4晶体的激光头模块1-1-1。在腔内激光束腰处放置第一变频晶体1-8-1，为按I类相位匹配方向(Θ = 5.8°，Φ=0°，匹配温度280Κ)切割的LBO晶体，尺寸为3. 5X3. 5 X 40mm3，双端光学抛光并镀对于1. 34 μ m禾P 0. 67 μ m的增透膜。腔内加入1. 34 μ m的线宽压窄元件1_5和镀1. 34 μ m、0. 67 μ m增透膜的声光调Q 装置1-3，从而产生窄线宽的脉冲激光。镜片1-6-1、1-6-2、1-6-3和1_6_4组成“Z”型激光谐振腔。镜片1_6_3为平镜， 镀对于885nm泵浦光高透、对于1. 34 μ m、0. 67 μ m的5°高反的膜；镜片1_6_4曲率为R = 200mm，镀对于1. 34μπι、0. 67 μ m的0 °高反、1. 06μπι增透的膜；镜片1-6-1曲率为R = 200mm，镀对于1. 34μπι、0· 67μπι的5°高反、1. 06 μ m增透的膜，镜片1_6_2镀对于1. 34ym 高反、0. 67 μ m高透的膜，镜片1-6-2作为输出镜。出射的0. 67 μ m激光经镜片1_6_5调整传播方向后，经第二组整形缩束镜1_7_2 聚焦从第二变频晶体1-8-2端面入射，在晶体内进行非线性光学频率变换，0. 67 μ m激光转化为335nm四倍频激光。第二变频晶体1_8_2为按I类相位匹配方向(θ =39.5°， Φ = 90°，匹配温度300Κ)切割的CBO晶体，尺寸为4Χ4Χ25mm3，双端光学抛光并镀对于 0. 67 μ m和335nm的增透膜。在第二变频晶体1-8-2后放置分光棱镜1-9-1，将335nm激光与其它光分开。在光路中放置并调节镜片1-6-6和1-6-7，使得窄线宽335nm激光泵源经过第三组整形缩束镜 1-7-3后入射进倍频器件。倍频器件和真空罐系统与实施例1相似，不同的是，为了实现335nm的直接倍频， 光胶匹配材料2-2-1和2-2-2的切割角度θ改为83. 4°。实施例3本实施例按图3制作一种直接倍频产生可调谐的窄线宽深紫外激光装置。与实施例1不同的是，本实施例的激光泵浦源不是通过Nd:YAG晶体的1 μ m谱线三倍频获得，而是通过连续绿光泵浦钛宝石材料，获得690 760nm窄线宽可调谐激光，通过LBO倍频后，获得345 380nm窄线宽可调谐激光泵浦源。采用连续绿光泵源1-11，通过镜片1-6-3和1-6-4调整传播方向后入射进激光头模块1-1-1，内置钛宝石作为增益介质，尺寸为3X3X20mm3。腔内插入两块布氏石英棱镜1-9-1和1-9-2作为色散元件压窄激光线宽。镜片 1-6-1和1-6-2作为腔镜组成激光谐振腔，镜片1-6-1镀对于690 760nm高反的膜，通过旋转调节镜片1-6-1，可调谐输出激光的波长，范围为690 760nm。镜片1_6_3镀对于 532nm45°高反膜，镜片1_6_4镀对于532nm45°高反、对于690 760nm45°高透的膜。
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输出的690 760nm激光经过第一组整形缩束镜1_7_1聚焦后依次入射进第一变频晶体1-8-1和第二变频晶体1-8-2。为实现690 760nm宽范围倍频，理论计算得到的 BBO晶体调谐角为27. 9 34. 3°，因此，第一变频晶体1_8_1和第二变频晶体1_8_2均采用用按I类相位匹配角(Θ = 31.4)切割的BBO晶体。采用两块BBO晶体是为了进行走离补偿。倍频后的345 380nm窄线宽可调谐激光泵浦源经镜片1_6_5调整传播方向，并经第三组整形缩束镜入射进直接倍频器件。镜片1-6-5镀对于690 760nm 45°高反、对于 345 380nm 45°高透的膜。倍频器件和真空罐系统与实施例1相似，不同的是，为了实现345 380nm较宽范围的直接倍频，该波段对应的相位匹配角为68. 3° 57.0°，对应的光胶匹配材料2-2-1 和2-2-2的切割角度θ为74. 2° 60. 2°，实际切割角度θ可以为这一角度范围内的值， 为操作方便，我们选择θ为67. 2°，这样可以通过旋转倍频器件，来调整345 380nm激光泵浦源光的入射角度，从而实现直接倍频。当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变型，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其包括激光泵浦源、直接倍频器件和真空罐系统；所述直接倍频器件为具有深紫外非线性光学变频输出能力的倍频器件，该直接倍频器件由深紫外倍频晶体、第一匹配材料和第二匹配材料组成，深紫外倍频晶体为薄片状晶体，第一匹配材料和第二匹配材料为直角棱柱，所述深紫外倍频晶体光胶于所述第一匹配材料和第二匹配材料的斜边面上；其特征在于，所述激光泵浦源为高光束质量、窄线宽的全固态紫外激光源，高光束质量指光束质量因子M2小于5，窄线宽指线宽小于10pm，紫外指200 400nm波段；所述真空罐系统由密封罐体、置于所述密封罐体罐壁上的入射窗口和出射窗口组成，所述密封罐体内抽真空或充填惰性气体气氛；所述的倍频器件放置在真空罐系统的密封罐体中，确保直接倍频器件在真空或惰性气体气氛中进行倍频产生窄线宽深紫外激光，防止深紫外激光被空气吸收；激光泵浦源产生的紫外激光从入射窗口进入真空罐系统的密封罐体，由第二匹配材料的直角边垂直入射，然后通过深紫外倍频晶体进行直接倍频，产生深紫外激光和剩余的紫外激光经过匹配材料后在深紫外激光传播方向上设置的出射窗口出射，深紫外激光在出射窗口输出。
2.根据权利要求1所述的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其特征在于，所述激光泵浦源为侧面泵浦的全固态紫外激光源、端面泵浦的全固态紫外激光源或可调谐全固态紫外激光源。
3.根据权利要求2所述的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其特征在于，所述的侧面泵浦的全固态紫外激光源为近红外基频激光经过整形后通过第一非线性晶体和第二非线性晶体进行非线性频率变换而产生的紫外激光；所述近红外基频激光由至少一个侧面激光头、激光谐振腔A镜和激光谐振腔B镜和线宽压窄元件组成的基频级产生；当所述近红外基频激光波长为1 士 0.2μπι时，第一非线性晶体为该波长的倍频晶体， 近红外基频激光经第一非线性晶体后产生近红外基频激光倍频光，第二非线性晶体为近红外基频激光和近红外基频激光倍频光的和频晶体，经第一非线性晶体后剩余的近红外基频激光和产生的近红外基频激光倍频光在第二非线性晶体中和频，最终获得355士67nm的紫外激光；当所述近红外基频激光波长为1. 3士0. 2 μ m时，第一非线性晶体为近红外基频激光的倍频晶体，近红外基频激光通过第一非线性晶体后转换为近红外基频激光倍频光，第二非线性晶体为近红外基频激光倍频光的倍频晶体，近红外基频激光倍频光经过第二非线性晶体后，最终获得330 士67nm的紫外激光。
4.根据权利要求2所述的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其特征在于，所述端面泵浦的全固态紫外激光源为近红外基频激光经过整形后通过第一非线性晶体和第二非线性晶体进行非线性频率变换而产生的紫外激光；所述近红外基频激光由至少一个端面激光头、光纤耦合半导体激光泵浦源、激光谐振腔A镜、激光谐振腔B镜和线宽压窄元件组成的基频级产生；当所述近红外基频激光波长为1 士 0.2μπι时，第一非线性晶体为该波长的倍频晶体， 近红外基频激光经第一非线性晶体后产生近红外基频激光倍频光，第二非线性晶体为近红外基频激光和近红外基频激光倍频光的和频晶体，经第一非线性晶体后剩余的近红外基频激光和产生的近红外基频激光倍频光在第二非线性晶体中和频，最终获得355士67nm的紫外激光；当所述近红外基频激光波长为1. 3士0. 2 μ m时，第一非线性晶体为近红外基频激光的倍频晶体，近红外基频激光通过第一非线性晶体后转换为近红外基频激光倍频光，第二非线性晶体为近红外基频激光倍频光的倍频晶体，近红外基频激光倍频光经过第二非线性晶体后，最终获得330 士67nm的紫外激光。
5.根据权利要求2所述的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其特征在于，所述的可调谐全固态紫外激光源为利用钛宝石材料作为激光增益介质而产生的670 1070nm 可调谐激光通过二倍频或三倍频或四倍频获得的200 400nm窄线宽紫外激光源；或者所述的可调谐全固态紫外激光源为通过激光参量过程获得的窄线宽紫外激光源。
6.根据权利要求1所述的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其特征在于，所述直接倍频器件是深紫外倍频晶体KBBF族晶体制成的具有深紫外输出能力的棱镜耦合器件。
7.根据权利要求6所述的直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其特征在于，所述的KBBF族晶体为KBBF晶体或RBBF晶体。
全文摘要
本发明涉及一种直接倍频产生窄线宽深紫外激光的装置，其包括激光泵浦源、直接倍频器件和真空罐系统；采用窄线宽全固态激光泵浦源泵浦具有深紫外激光输出能力的非线性光学晶体，通过直接倍频方法获得波长小于190nm、可实用化、波长可调谐的窄线宽深紫外激光源，具有效率高、最小波长短、可实用化、波长可调谐以及线宽窄、光谱亮度高的优点。针对目前无法获得波长小于190nm、可实用化、波长可调谐的窄线宽深紫外激光源的问题。
文档编号H01S3/094GK102324689SQ20111024531
公开日2012年1月18日 申请日期2011年8月25日 优先权日2011年8月25日
发明者宗楠, 彭钦军, 王保山, 薄勇, 许祖彦 申请人:中国科学院理化技术研究所