一种高可靠性封装的制作方法

文档序号:7144341阅读:585来源:国知局
专利名称:一种高可靠性封装的制作方法
技术领域
本发明涉及半导体芯片封装技术领域。
背景技术
芯片封装技术就是将内存芯片包裹起来,以避免芯片与外界接触,防止外界对芯片的损害的一种工艺技术。空气中的杂质和不良气体,乃至水蒸气都会腐蚀芯片上的精密电路,进而造成电学性能下降。不同的封装技术在制造工序和工艺方面差异很大,封装后对内存芯片自身性能的发挥也起到至关重要的作用。随着光电、微电制造工艺技术的飞速发展,电子产品始终在朝着更小、更轻、更便宜的方向发展,因此芯片元件的封装形式也不断得到改进。芯片的封装技术多种多样,有DIP、P0FP、TS0P、BGA、QFP、CSP等等,种类不下三十种,经历了从DIP、TSOP到BGA的发展历程。芯片的封装技术已经历了几代的变革,性能日益先进,芯片面积与封装面积之比越来越接近1,适用频率越来越高,耐温性能越来越好,以及引脚数增多,引脚间距减小,重量减小,可靠性提高,使用更加方便。随着表面贴装技术的广泛应用,一种比较严重的失效模式就是封装体在客户端进行表面贴装SMT时,芯片封装体从界面处开裂,界面处的导线键合受到分离应力作用容易开路而导致产品失效,界面处的芯片建立了与外界的潮气通路,其失效机理就是由于有些工序中温度比较高,界面所吸收的潮气在高温下体积迅速膨胀,产生的应力高于界面的结合力导致的开裂。为此JEDEC固态技术协会公布了针对SMT器件的潮气敏感度的标准,对此给了明确的潮气敏感度定义、实验方法、等级划分。

发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种高可靠性封装,其能够提高芯片封装中多个关键界面的结合强度,降低潮气等级数;延长产品使用寿命;解决处理后的保存时间问题。为解决上述技术问题,本发明提供了如下技术方案一种高可靠性封装,其中,包括以下步骤,芯片切割、芯片键合在引线框架或者基板上;导线键合,将引线框架放入湿菲林溶液中电镀,所述湿菲林溶液浓度为60% -70%,电镀时间为5-10秒,温度为50-55摄氏度,然后用清水清洗,烘干 后进行等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用助粘剂溶液,常温风干或烘干,然后进行后道工序,环氧树脂包覆芯片,芯片座。作为本发明所述的高可靠性封装的优选方案之一,其中所述湿菲林溶液浓度为65% -68%,电镀时间为5-8秒,温度为50-53摄氏度,然后用清水清洗,烘干后,先使用氩气对待处理材料进行等离子处理,再使用氮气进行等离子处理等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用助粘剂溶液,所述活性成分为3-氨丙基硅三醇与三钛酸异丙酯及乙烯基二甲氧基娃烧的混合体,二者比例为1_2 : 1-2 : 6_8。作为本发明所述的高可靠性封装的优选方案之一,其中所述湿菲林溶液浓度为67%,电镀时间为7秒,温度为50摄氏度,然后用清水清洗,烘干后,先使用氩气对待处理材料进行等离子处理,再使用氮气进行等离子处理等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用3%浓度的助粘剂混合溶液,所述活性成分为3-氨丙基硅三醇与三钛酸异丙酯,两者比例为9 I。作为本发明所述的高可靠性封装的优选方案之一,其中所述湿菲林溶液浓度为68%,电镀时间为6秒,温度为55摄氏度,然后用清水清洗,烘干后,先使用氩气对待处理材料进行等离子处理,再使用氮气进行等离子处理等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用5%浓度的助粘剂混合溶液,所述活性成分为3-氨丙基硅三醇与三钛酸异丙酯,两者比例为8 2。采用本发明有益的技术效果包括能够提高多个关键界面的结合强度,防止分层、开裂的出现,避免工艺过程中不必要的全检和次品;能够降低产品的潮气等级数,消除产品在客户端使用时潜在的缺陷,本身成本很低,降低了封装总体的成本;能够延长产品的使用寿命一倍以上,提高产品的市场竞争力。
具体实施方式
一种实施例,先对芯片切割、芯片键合在引线框架或者基板上;导线键合,将引线框架放入湿菲林溶液中电镀,所述湿菲林溶液浓度为60% _70%,电镀时间为5-10秒,温度为50-55摄氏度,然后用清水清洗,烘干后。将其装入反应腔内,可以多条平铺,自动或手动皆可。将待处理材料的表面暴露在等离子体入射范围内,连接真空泵抽真空,进行等离子处理;然后对待处理材料表面施用助粘剂溶液,常温风干或烘干,然后进行后道工序,环氧树脂包覆芯片,芯片座。

另一种实施方式中,其中所述湿菲林溶液浓度为65% -68%,电镀时间为5-8秒,温度为50-53摄氏度,然后用清水清洗,烘干后,将其装入反应腔内,可以多条平铺,自动或手动皆可。将待处理材料的表面暴露在等离子体入射范围内,连接真空泵抽真空,进行等离子处理。先使用氩气对待处理材料进行等离子处理,再使用氮气进行等离子处理等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用助粘剂溶液,所述活性成分为3-氨丙基硅三醇与三钛酸异丙酯及乙烯基三甲氧基硅烷的混合体,三者比例为1_2 1-2 6-8。另一种实施方式中,所述湿菲林溶液浓度为67%,电镀时间为7秒,温度为50摄氏度,然后用清水清洗,烘干后,将其装入反应腔内,可以多条平铺,自动或手动皆可。将待处理材料的表面暴露在等离子体入射范围内,连接真空泵抽真空,进行等离子处理。先使用氩气对待处理材料进行等离子处理,再使用氮气进行等离子处理等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用3%浓度的助粘剂混合溶液,所述活性成分为3-氨丙基硅三醇与三钛酸异丙酯,两者比例为9 I。应说明的是,以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的精神和范围,其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
权利要求
1.一种高可靠性封装,其特征在于,包括以下步骤,芯片切割、芯片键合在引线框架或者基板上;导线键合,将引线框架放入湿菲林溶液中电镀,所述湿菲林溶液浓度为60% -70%,电镀时间为5-10秒,温度为50-55摄氏度,然后用清水清洗,烘干后进行等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用助粘剂溶液,常温风干或烘干,然后进行后道工序,环氧树脂包覆芯片,芯片座。
2.根据权利要求1所述的高可靠性封装,其特征在于所述湿菲林溶液浓度为65% -68%,电镀时间为5-8秒,温度为50-53摄氏度,然后用清水清洗,烘干后,先使用氩气对待处理材料进行等离子处理,再使用氮气进行等离子处理等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用助粘剂溶液,所述活性成分为3-氨丙基硅三醇与三钛酸异丙酯及乙烯基二甲氧基娃烧的混合体,二者比例为1_2 : 1-2 : 6_8。
3.根据权利要求1所述的高可靠性封装,其特征在于所述湿菲林溶液浓度为67%,电镀时间为7秒,温度为50摄氏度,然后用清水清洗,烘干后,先使用氩气对待处理材料进行等离子处理,再使用氮气进行等离子处理等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用3%浓度的助粘剂混合溶液,所述活性成分为3-氨丙基硅三醇与三钛酸异丙酯,两者比例为 9 I。
4.根据权利要求1所述的高可靠性封装,其特征在于所述湿菲林溶液浓度为68%,电镀时间为6秒,温度为55摄氏度,然后用清水清洗,烘干后,先使用氩气对待处理材料进行等离子处理,再使用氮气进行等离子处理等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用5%浓度的助粘剂混合溶液,所述活性成分为3-氨丙基硅三醇与三钛酸异丙酯,两者比例为 8 : 2。
全文摘要
本发明公开了一种高可靠性封装,其特征在于,包括以下步骤,芯片切割、芯片键合在引线框架或者基板上;导线键合,将引线框架放入湿菲林溶液中电镀,所述湿菲林溶液浓度为60%-70%,电镀时间为5-10秒,温度为50-55摄氏度,然后用清水清洗,烘干后进行等离子清洗处理;然后对待处理材料表面施用助粘剂溶液,常温风干或烘干,然后进行后道工序,环氧树脂包覆芯片,芯片座。能够提高产品有效性,延长产品使用寿命;解决处理后的保存时间问题。
文档编号H01L23/495GK103066030SQ20111032520
公开日2013年4月24日 申请日期2011年10月22日 优先权日2011年10月22日
发明者不公告发明人 申请人:无锡世一电力机械设备有限公司
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