专利名称：清洗机冷冻盘管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于电子元器件蚀刻时降温的清洗机中的冷冻盘管，属于清洗机冷冻盘管技术领域。
背景技术：
清洗机用于电子器件蚀刻的时候降温，目前清洗机内使用的冷冻盘管是在铜管外再包覆一层铁氟龙管制作而成的，其优点是耐用，但降温速度慢，降温效果不理想。
发明内容本实用新型针对现有清洗机冷冻盘管存在的不足，提供一种降温效果好的清洗机冷冻盘管。本实用新型的清洗机冷冻盘管采用下述技术方案该清洗机冷冻盘管，呈矩形，由冷冻管盘绕而成，冷冻管的两个端口位于矩形的同一侧，所述冷冻管是在不锈钢管外包覆一层铁氟龙。本实用新型采用不锈钢管镀铁氟龙粉制作而成，降温速度快，降温效果比铜管提高两倍以上。
图1是本实用新型清洗机冷冻盘管的结构示意图。图2是图1的俯视图。图中1、冷冻管，2、进口，3、出口。
具体实施方式
如图1和图2所示，本实用新型的清洗机冷冻盘管，由冷冻管1盘绕成矩形结构， 冷却液进入和流出冷冻管1的进口 2和出口 3两个端口位于矩形的同一侧。冷冻管1是在 SUS310S不锈钢管外包覆一层铁氟龙制作而成，铁氟龙粉通过静电喷涂镀在不锈钢管上。虽然采用不锈钢管会降低冷冻盘管的使用寿命，但是降温速度会明显提高，降温效果比铜管提高两倍以上。
权利要求1. 一种清洗机冷冻盘管，其特征是呈矩形，由冷冻管盘绕而成，冷冻管的两个端口位于矩形的同一侧，所述冷冻管是在不锈钢管外包覆一层铁氟龙。
专利摘要本实用新型提供了一种降温效果好的清洗机冷冻盘管，该清洗机冷冻盘管，呈矩形，由冷冻管盘绕而成，冷冻管的两个端口位于矩形的同一侧，所述冷冻管是在不锈钢管外包覆一层铁氟龙。本实用新型采用不锈钢管镀铁氟龙粉制作而成，降温速度快，降温效果比铜管提高两倍以上。
文档编号H01L21/00GK202003964SQ201120040840
公开日2011年10月5日 申请日期2011年2月18日 优先权日2011年2月18日
发明者刘桂扬, 赵仕庆, 马玉水 申请人:山东高唐杰盛半导体科技有限公司