专利名称：用在电子单元制造中的打印方法
技术领域：
本发明涉及用在电子单元制造中的打印方法，其中所述电子单元包括在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征。例如，本发明可以用于在例如显示器像素的光电子部件的阵列中打印有机层。
背景技术：
用于在衬底上形成例如发光二极管(LED)的光电子器件的技术是已知的。每个这样的器件在衬底上支撑，并且包括位于称为阳极和阴极的两个电极之间的一层电致发光材料。所述器件还可以包括位于电致发光层与一个电极之间的电荷注入层和/或电荷传输层。在现代器件中，电致发光层、电荷注入层和/或电荷传输层可以由有机聚合物形成。包括一个或多个这种有机层的LED可以被称为有机LED (0LED)。在特定的应用中，这些构成器件的阵列可以在例如玻璃或塑料的衬底上形成，以便为计算机、电视机、移动终端或者其它设备产生例如电子显示屏的单元。图1示出了一种示例性显示面板的示意性俯视图。该显示面板包括具有阵列区域104的衬底102，在阵列区域104中形成显示器的像素。在阵列区域104中定义了通道区域106形式的多个结构性行。每一行或者每个通道区域106都包括沿该通道区域106的长度以有规律的间隔形成的一行更小的像素区域108。衬底102和阵列区域104 —般都是方形或者矩形形状的，在相同的朝向中，由此如图所示定义了阵列区域的水平和垂直方向中垂直的轴X和Y，相互垂直的Z轴与衬底102和阵列区域104的平面垂直(即，在页的外面)。在这种情况下，像素区域108 —般布置在沿阵列区域的水平长度(X方向)的行中和沿其垂直长度(Y方向)的列中。在所示出的示例中，通道区域106具有跨阵列区域104的水平长度(在X方向)延伸的纵向方向。像素区域108本身每个都还具有与其相应通道106对准的纵轴，每个像素区域108在沿通道106的方向中都比垂直于通道106的方向中更长。图2示出了通过例如OLED的示例性发光器件的层的示意性侧截面，其中发光器件可以在显示面板的像素区域108中形成。形成面板的方法以提供衬底202开始，然后在衬底202之上形成阳极材料204的部分。优选地，衬底202是由例如玻璃或者合适的塑料的透明材料形成的，而阳极204是由例如氧化铟锡(ITO)的透明导体形成的，使得光可以发射通过衬底202。每个通道区域106都可以由衬底102之上阵列区域104中形成的纵向井定义(在图1的示例中是在X方向延伸)。在这种情况下，每个井都是由定义井侧面的例如光致抗蚀剂的分隔材料214的堤部(bank)和位于井底部的一条阳极材料204形成的。每个通道区域106沿其长度都具有结构上重复出现的特征，这些特征定义了独立部件像素区域108，例如，沿其长度在有规律的点(即，在图1的示例中在周期性的X坐标)位于井中的重复的逐渐变细和/或中断。在井的像素区域108中，随后在阳极204之上形成空穴注入层206，在空穴注入层之上形成空穴传输层208，在空穴传输层208之上形成半导电的电致发光层210并且在电致发光层210之上形成阴极212。
在最终完成的器件的运行当中，当合适的电位差施加在阳极204与阴极212之间时，空穴(h+)从阳极104注入到器件中并且电子(e_)从阴极212注入。空穴与电子在电致发光层210中组合，造成激励，该激励随后衰减，从而发光。空穴从阳极204的注入是由空穴注入层206辅助的，并且空穴从阳极204到电致发光层210的传输是由空穴传输层208辅助的。另选布置也是可能的，例如具有在衬底之上形成的阴极并且阳极作为顶部电极，和/或在阴极与电致发光层之间包括电子注入层和电子传输层。如所提到的，空穴注入层206、空穴传输层208和/或电致发光层210中的每一个都可以由有机聚合物形成。有机聚合物层的一个优点是它们可以通过薄膜成形聚合物材料的溶液处理来淀积，从而允许低成本的制造和对淀积过程的良好控制。该技术涉及对相关的表面应用包含期望的聚合物材料的溶液，然后通过蒸发或者其它此类的干燥技术使溶剂变干，由此留下剩余聚合物材料的薄膜。有机聚合物的优点连同一些合适的溶液和淀积技术在国际专利申请公开N0.W02006/123167中讨论。为了形成空穴注入层206，所使用的溶质可以是包括掺杂了一般较大量的主体“基质”成分的“活性”成分的空穴注入材料。该活性成分实际上是由于其促进空穴注入的能力而被选择的，而基质成分是电荷平衡抗衡离子。在W02006/123167中公开的空穴注入材料的一个特定示例是PEDOT:PSS。即，掺杂了基质成分聚磺苯乙烯(“PSS”)的活性成分聚乙烯二氧噻吩(“PED0T”或者有时候就是“PEDT”)。PSS可溶于水，因此产生适于淀积技术的溶液。最近已经提供了除PEDOT: PSS之外的可供选择的空穴注入材料。例如,PlextroniCs公司生产出了一系列称为“PLEX”的材料，包括作为活性成分的磺化聚噻吩衍生物和作为基质成分的聚4-(乙烯基苯酚)(PVPh)。不像PED0T:PSS，在淀积溶液中使用例如二甘醇的别的溶剂。可以用于淀积例如有机层206、208、210的面板的特征的一种技术是喷墨打印，例如，使用包括有机导电或半导电聚合物的溶液的墨水来淀积有机层。应当指出，这种背景下的墨水不一定暗示是彩色的，而可以指可以被打印然后变干以便淀积溶质的任何溶液。为此，可以提供包括一行喷嘴112的打印头110。这行喷嘴112的朝向与通道区域106的方向(图1中的X方向)平行，并且打印头110和衬底102相对于彼此移动，从而在横穿通道区域106的打印方向P执行打印程(printing pass)(即，在图1中的Y方向移动)。以这种方式相对于衬底102移动，打印头110因此顺序地打印到每个通道区域106中。另夕卜，喷嘴112沿该行以有规律的间距隔开，优选的是每个像素区域108有多个喷嘴。因此，当打印头110在每个连续的通道106之上依次移动时，它同时把多滴有机墨水打印到对应通道106的每个像素区域108中。
发明内容
关于上述布置存在一个问题，就是在利用有机墨水打印的时候纵向像素区域108的末端可能没有完全“浸湿”。即，墨滴在干燥之前可能没有流到像素区域108的整个表面上，而是在像素末端留下未覆盖的区域。为了说明，关于图3和4讨论这个问题的一个示例。如图3中示意性地示出的，通用的喷墨系统使用可能墨滴位置的固定矩形栅格。横穿打印方向的栅格的间距(打印“节距” λ )是由喷嘴112的间距确定的，而栅格沿打印的间距是由头112与衬底102之间相对运动的速度和墨滴产生的速率(喷射频率)确定的。参考图4的示例，打印有机空穴注入层206的方法可以在步骤(i)通过提供以上所讨论类型的衬底开始，所述衬底具有沿通道区域106形成的有规律地重复的像素区域108。通道106是由光致抗蚀剂堤部214和阳极底部204形成的纵向井定义的。构成像素区域108之间的边界是由抗蚀剂214中的“中断区域”204’定义的。这些中断区域是沿通道106有规律出现的点，在那些位置抗蚀剂材料214逐渐变细，从而形成井的收缩，然后在再次变宽之前变得不连续(尽管阳极材料204优选地沿通道106保持连续)。因而，每个像素区域108都在两个相对的侧面被抗蚀剂堤部214界定并且在其纵向末端被两个相对的中断区域204，界定。在步骤(ii)，当打印头110移动到特定通道区域106之上的一个位置时，它在沿通道106的多个像素之上从多个喷嘴112并行地打印墨滴206s。墨水206s包括有机聚合物的溶液，该有机聚合物将在阳极底部204之上形成空穴注入层206。喷嘴112的间距导致墨滴206s沿通道106的方向以特定的打印“节距” λ (S卩，某个特定的频率)打印。喷嘴112以比像素区域208更高的密度(更小的间距)隔开，使得多个墨滴沿像素的纵轴以打印节距λ并行地打印到每个像素区域208中。但是，中断区域204’难以用有机墨水206s浸湿。即，在干燥之前墨滴206s可能不能完全流到像素区域108的表面之上。因此，当墨水206s在步骤(iii)干燥时，底层阳极204的一部分可能未被空穴注入层材料206覆盖。当随后在空穴注入层206之上淀积空穴传输层208和电致发光层210 (例如通常也通过喷墨打印)时，它们趋于遵照空穴注入层206的形状。但是，阴极212可能例如通过荫罩板(shadow mask)更杂乱地构图,这意味着阴极212可能短通(short through)并且造成与阳极204的电接触。这将导致器件故障。当打印到电子单元任何有规律重现的区域中时，关于浸湿的类似问题会出现。为了解决这类问题，将期望实现打印密度的某种程度的不均匀性，从而提供打印密度有规律的局部增加。即，可能期望在某些区域中打印更高密度的墨滴206s，S卩，使得可能的墨滴位置的栅格不是等距隔开的。例如，这将使得有可能操纵像素中的膜轮廓或者强迫像素区域208用流体墨水206s浸湿。如所提到的，“中断”区域204’会难以利用打印的墨水206s浸湿并且因此在中断区域中打印更多的墨滴可以帮助浸湿通道。通常，在显示打印与其它功能打印中，衬底常常构造成具有有规律的特征，并且因此还将存在其它应用，其中利用具有有规律地重复的变化的墨滴密度在构图区域之上打印将是有利的。在打印方向中，这可以通过改变相对的头-衬底速度或者墨滴产生速率来实现。但是，在横穿打印方向P的方向(其中节距λ由喷嘴间距确定)，这是难以改变的。在上面的示例中，可能期望在中断区域204’中淀积更高密度的墨滴，这将需要有效地改变喷嘴节距。一种解决方案将是执行具有侧向偏移的第二打印程，然后在这第二打印程期间仅仅打印来自在中断之上通过的某些喷嘴的额外墨滴206s。但是，第二打印程使得打印过程慢多了。可选地，可以添加一个或多个附加的打印头110，形成一个组件，来自两个头的喷嘴112彼此偏移，从而使组件的有效喷嘴节距减小。这在图5中示意性地说明，该图示出了通过两个水平偏移的打印头实现的可能的墨滴位置的更精细的栅格。但是，这将意味着只使用第二个打印头的一些喷嘴，即那些在图5中标记为“X”的喷嘴，它们是在像素边缘与中断区域204’ 一致的喷嘴。但是，这意味着在像素的中间，第二个头的一些喷嘴112成为冗余的，这很浪费。即，由于图4和5的示例只在中断204’需要更高的墨滴密度，因此通过附加的头增加的喷嘴中只有一些将实际被使用。这给打印系统增加了不期望的费用。一种类似的解决方案将是简单地增加喷嘴阵列112的分辨率，但是在这个分辨率只使用某些喷嘴，这同样意味着一些喷嘴112将成为冗余的。因此，期望找出可供选择的解决方案。根据本发明的一方面，提供了用在电子单元制造中的打印方法，其中该电子单元包括在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征，所述结构性特征沿每一行以有规律的间隔重复；其中该方法包括:使用第一打印头配置沿所述行中的每一行以第一节距打印一种成分的部分；并且使用第二打印头配置沿所述行中的每一行以第二节距打印所述成分的部分；使得第一和第二节距一起产生沿所述行中的每一行的差拍模式(beatingpattern)，差拍的波长匹配所述有规律地重复的结构性特征的间隔。通过利用两个或更多个不同的打印头配置打印，可以打印由于不同节距而“具有差拍”的游标类型的模式，其中每个配置具有横穿打印方向的不同打印节距。这对(从两个底层打印节距衍生出来的)第三节距赋予局部打印密度增强，该第三节距可以匹配具有结构化模式的衬底上特征(例如，显示器衬底上的像素)的节距。例如，见图8 (ii)中示意性说明的墨滴206s。因此，可以在将受益于此的区域中，例如在像素208的末端，获得更高的打印密度。差拍模式有利地允许材料利用变化的密度沿通道区域对那个通道区域的重复结构适当地打印。因此，使用来自具有不同节距的两个打印头配置的游标类型的模式有利地实现了周期性局部增加的分辨率，而没有冗余的喷嘴。即，本发明允许打印密度的重复空间变化，从而能够在有些区域中使用高密度，而不必在每个地方都提供高密度，在每个地方都提供高密度将涉及不期望的冗余性。在实施方式中，所述行中的多行可以每行都在衬底之上的纵向方向中形成，第一和第二打印头配置可以在相对于衬底的打印方向中移动，并且打印方向可以横穿所述行的纵向方向。第一打印头配置可以包括具有一行有规律隔开的喷嘴的打印头的第一实例，其中每个喷嘴用于沿所述行中的每一行在不同的对应点打印所述成分的对应部分；并且第二打印头配置可以包括所述打印头的第二实例，其设置成关于第一实例有一个斜角，相对于第一节距的第二节距是喷嘴间距与所述斜角的结果。打印头的第二实例可以包括在与第一实例相同的跨衬底的打印程中一起使用的独立的打印头。打印头的第二实例可以包括在跨衬底的后续打印程中使用的相同打印头。在其它实施方式中，一行或多行可以在衬底之上的纵向方向中形成，并且第一和第二打印头配置可以每个都在相对于衬底的打印方向中移动，并且打印方向可以与所述行的纵向方向平行。第二打印头配置可以包括配置成具有与第一打印头配置不同的喷射频率的一个或多个喷嘴，当这一个或多个喷嘴沿所述行的纵向方向移动时，导致所述第一和第二节距。有规律地重复的结构性特征可以对应于光电子部件，使得所述行中的每一行都可以包括在所述衬底之上形成的一行有规律地重复的光电子区域，并且第一和第二打印头配置中的每一个都可以用于把所述成分的多个部分沿每一行以对应的节距打印到每个光电子区域中。电子单元可以包括电子显示器，有规律地重复的结构性特征可以对应于显示器的像素，使得所述行中的每一行都可以包括一行在所述衬底之上的纵向方向中形成的有规律地重复的像素区域，并且第一和第二打印头配置中的每一个都可以用于沿每一行的纵向方向以对应的节距把所述成分的多个部分打印到每个像素区域中。所述成分可以包括用于沿所述行中的每一行淀积有机聚合物层的有机聚合物溶液。有机聚合物层可以包括电荷载流子注入层、电荷载流子传输层和电致发光层中的一种。所述成分可以通过喷墨打印来打印。所述行中的每一行都可以包括具有在所述衬底之上的纵向方向中形成的有规律地重复结构性特征的井区域，并且第一和第二打印头配置中的每一个都可以用于沿其纵向方向以对应的节距把所述成分的多个部分打印到每个井区域中。所述井区域中的每一个都可以由沿所述衬底之上的所述纵向方向延伸的光致抗蚀剂的堤部形成。所述行中的每一行都可以包括在所述衬底之上形成的电极层，并且第一和第二打印头配置中的每一个都可以用于在该电极层之上打印所述成分的部分。电极层可以是由氧化铟锡形成的阳极层。衬底可以包括玻璃或者透明塑料。第一和第二节距可以具有5:4的相对比率。第一节距可以基本上等于70 μ m,而第二节距可以基本上等于56 μ m。根据本发明的另一方面，提供了用在电子单元制造中的计算机程序产品，其中电子单元包括在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征，该结构性特征沿每一行以有规律的间隔重复；其中该计算机程序产品包括包含在计算机可读介质上的代码，并且代码配置成当在处理器上执行时:控制第一打印头配置沿所述行中的每一行以第一节距打印一种成分的部分；并且控制第二打印头配置沿所述行中的每一行以第二节距打印所述成分的部分；使得第一和第二节距一起产生沿所述行中的每一行的差拍模式，差拍的波长匹配所述有规律地重复的结构性特征的间隔。在实施方式中，代码可以进一步配置成根据以上任何方法特征控制打印头配置。根据本发明的另一方面，提供了用在电子单元制造中的打印装置，其中电子单元包括在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征，该结构性特征沿每一行以有规律的间隔重复；其中该装置包括:第一打印头配置，配置成沿所述行中的每一行以第一节距打印一种成分的部分；及第二打印头配置，配置成沿所述行中的每一行以第二节距打印所述成分的部分；使得第一和第二节距一起产生沿所述行中的每一行的差拍模式，差拍的波长匹配所述有规律地重复的结构性特征的间隔。在实施方式中，打印装置可以进一步配置成根据以上任何方法特征执行操作。根据本发明的另一方面，提供了一种电子单元，包括:在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征，该结构性特征沿每一行以有规律的间隔重复；及既以第一节距又以第二节距淀积的材料，从而形成一种差拍模式，差拍波长匹配所述有规律地重复的结构性特征的间隔。在实施方式中，电子单元可以包括从以上任何方法特征得到的结构性特征。
图1示出了处于生产中间阶段的示例显示面板的示意性俯视图，图2示出了通过例如OLED的示例发光器件的层的示意性侧截面，图3示出了打印头配置的可能打印位置的栅格，图4示意性地说明了在示例显示面板的像素区域中形成有机层的逐步的过程，图5示出了打印头系统的可能打印位置的栅格，图6示出了另一种打印头配置的可能打印位置的栅格，图7示出了另一种打印头系统的可能打印位置的栅格，图8示意性地示出了在示例显示面板的像素区域中形成有机层的另一个逐步的过程，图9示出了处于生产中间阶段的另一个示例显示面板的示意性俯视图，以及图10给出了另一个打印头系统的示意性说明。
具体实施例方式如以上所讨论的，在显示打印(和实际上其它功能打印)中，衬底通常构造成具有有规律的特征并且因此可能存在期望具有有规律地重复的更高墨滴密度的构图区域。以下描述如何可以通过叠加来自固定喷嘴间距的两个或更多个打印头(或组件)的打印位置来实现变化墨滴密度的有规律地重复模式的示例，从而允许空间喷嘴频率一起“差拍”，在衬底上产生与墨滴密度的期望变化对应的差拍波长。现在将参考图1、6、7和8讨论一个示例。再次参考图1，像素区域108具有沿每个通道106的方向(图1中横穿打印方向Y的X方向)以有规律的间隔S重复的结构。术语“间隔”在这里用来指结构性特征重复的有规律的长度或距离S，S卩，特征的空间周期。在这个示例中，重复的特征包括每个通道106的井中的中断区域204’。根据本发明的一种特别有利的应用，期望在中断区域204’中或者其周围实现较高的墨滴密度，同时朝着像素区域208的中间只以较低的墨滴密度打印。在打印的背景下，术语“节距”可以用来指被打印成分的被打印部分的空间周期或者有规律的间距，即，墨滴间距。根据以下本发明的实施方式，每个通道区域106内变化的墨滴密度是通过使用第一打印头配置沿通道106以第一节距X1 (对应于空间频率V1)打印有机墨水206s并且使用第二打印头配置沿通道106以第二节距λ2 (对应于空间频率ν2)打印有机墨水206s来实现的。相对于第一节距λ i实现第二节距λ 2的一种优选途径在图6和7中示意性地示出。根据这种技术，第一打印头IlOa以与以上关于图1和3所述基本上类似的配置提供。还提供了第二打印头110b，它包括与第一打印头IlOa相同行的固定间距喷嘴112，但是定向成相对于第一打印头IlOa有一个斜角a。如果当朝向与通道区域106平行时(B卩，喷嘴112和通道106的行都在图1中的X方向延伸)第一打印头IlOa具有λ 1= λ的“自然”节距，那么当第二打印头IlOb相对于通道106和第一打印头IlOa的纵向方向转动一个斜角α时它将具有有效节距X2=XC0S(a)。从而实现可能墨滴位置的不均匀栅格。更一般地说，两个打印头都可以相对于通道区域106的纵向方向有一个角度，从而实现任何两种有效节距。两个不同朝向中的两个打印头IlOa和IIOb优选地作为同一整体打印头组件的一部分一起相对于衬底移动，在衬底102之上的同一打印程中，当该组件在横穿通道区域106纵向方向的打印方向中通过时，两个打印头都打印到每个连续的通道区域106中。因而，两种节距的墨滴沿相同的通道106叠加，从而产生差拍模式，有时候称为游标效应。在这种应用中，因为在沿通道106的有规律的点来自两种节距的墨滴206s构造上一致，所以这种效应发生，从而导致较高的打印密度。在其它点，来自两种节距的墨滴不一致并且因此导致较低的密度。差拍重复的距离或间隔是差拍波长λ3 (对应于空间频率ν 3)。差拍公式是:V 3= V1-V2或者:
权利要求
1.一种用在电子单元制造中的打印方法，所述电子单元包括在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征，所述结构性特征沿每一行以有规律的间隔重复；其中所述方法包括: 使用第一打印头配置沿所述行中的每一行以第一节距打印一种成分的部分；以及 使用第二打印头配置沿所述行中的每一行以第二节距打印所述成分的部分； 使得所述第一节距和所述第二节距一起产生沿所述行中的每一行的差拍模式，差拍的波长与所述有规律地重复的结构性特征的间隔匹配。
2.如权利要求1所述的方法，其中多个所述行中的每一行都是在所述衬底之上沿纵向方向形成的，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置沿相对于衬底的打印方向移动，所述打印方向横穿所述行的纵向方向。
3.如权利要求1或者2所述的方法，其中: 所述第一打印头配置包括具有一行有规律地隔开的喷嘴的打印头的第一实例，其中每个喷嘴用于沿所述行中 的每一行在不同的相应点打印所述成分的相应部分；以及 所述第二打印头配置包括所述打印头的第二实例，其设置成关于所述第一实例成一个斜角，相对于所述第一节距的所述第二节距是喷嘴间距与所述斜角的结果。
4.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述打印头的第二实例包括在与所述第一实例相同的跨所述衬底的打印程中一起使用的独立的打印头。
5.如权利要求3所述的方法，其中所述打印头的第二实例包括在跨所述衬底的后续打印程中使用的同一打印头。
6.如权利要求1所述的方法，其中所述一行或多行是在所述衬底之上沿纵向方向形成的，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置每个都在相对于所述衬底的打印方向中移动，所述打印方向与所述行的纵向方向平行。
7.如权利要求6所述的方法，其中所述第二打印头配置包括配置成具有与所述第一打印头配置不同的喷射频率的一个或多个喷嘴，从而在所述一个或多个喷嘴沿所述行的纵向方向移动时导致所述第一和所述第二节距。
8.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述有规律地重复的结构性特征对应于光电子部件，使得所述行中的每一行都包括在所述衬底之上形成的一行有规律地重复的光电子区域，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都用于沿每一行以相应的节距把所述成分的多个部分打印到每个光电子区域中。
9.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述电子单元包括电子显示器，所述有规律地重复的结构性特征对应于显示器的像素，使得所述行中的每一行都包括在所述衬底之上沿纵向方向形成的一行有规律地重复的像素区域，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都用于沿每一行的纵向方向以相应的节距把所述成分的多个部分打印到每个像素区域中。
10.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述成分包括用于沿所述行中的每一行淀积有机聚合物层的有机聚合物溶液。
11.如权利要求10所述的方法，其中所述有机聚合物层包括电荷载流子注入层、电荷载流子传输层和电致发光层中的一种。
12.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述成分是通过喷墨打印来打印的。
13.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述行中的每一行都包括具有在所述衬底之上沿纵向方向形成的有规律地重复的结构性特征的井区域，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都用于沿其纵向方向以相应的节距把所述成分的多个部分打印到每个井区域中。
14.如权利要求13所述的方法，其中所述井区域中的每一个都是由所述衬底之上沿所述纵向方向延伸的光电抗蚀剂堤部形成的。
15.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述行中的每一行都包括在所述衬底之上形成的电极层，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都用于在所述电极层之上打印所述成分的部分。
16.如权利要求15所述的方法，其中所述电极层是由氧化铟锡形成的阳极层。
17.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述衬底包括玻璃或透明塑料。
18.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述第一节距和所述第二节距具有5:4的相对比率。
19.如前面任何一项权利要求所述的方法，其中所述第一节距基本上等于70μ m，而所述第二节距基本上等于56 μ m。
20.一种用在电子单元制造中的计算机程序产品，其中所述电子单元包括在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征，所述结构性特征沿每一行以有规律的间隔重复；其中所述计算机程序产品包括包含在计算机可读介质上的代码，并且所述代码配置成当在处理器上执行时: 控制第一打印头配置沿所述行中的每一行以第一节距打印一种成分的部分；以及 控制第二打印头配置沿所述行中的每一行以第二节距打印所述成分的部分； 使得所述第一节距和所述第二节距一起产生沿所述行中的每一行的差拍模式，差拍的波长匹配所述有规律地重复的结构性特征的间隔。
21.如权利要求20所述的计算机程序产品，其中所述代码还配置成根据权利要求2至19中任一项来控制打印头配置。
22.—种用在电子单元制造中的打印装置，其中所述电子单元包括在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征，所述结构性特征沿每一行以有规律的间隔重复；其中所述装置包括: 第一打印头配置，配置成沿所述行中的每一行以第一节距打印一种成分的部分；以及 第二打印头配置，配置成沿所述行中的每一行以第二节距打印所述成分的部分； 使得所述第一节距和所述第二节距一起产生沿所述行中的每一行的差拍模式，差拍的波长匹配所述有规律地重复的结构性特征的间隔。
23.如权利要求22所述的打印装置，其中多个所述行中的每一行都是在衬底之上沿纵向方向形成的，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置每个都配置成在相对于衬底的打印方向中移动，所述打印方向横穿所述行的纵向方向。
24.如权利要求22或者23所述的打印装置，其中: 所述第一打印头配置包括具有一行有规律地隔开的喷嘴的打印头的第一实例，其中每个喷嘴用于沿所述行中的每一行在不同的相应点打印所述成分的相应部分；以及 所述第二打印头配置包括所述打印头的第二实例，其放置成关于所述第一实例成一个斜角，相对于所述第一节距的所述第二节距是喷嘴间距与所述斜角的结果。
25.如权利要求22至24中任何一项所述的打印装置，其中所述有规律地重复的结构性特征对应于光电子部件，使得所述行中的每一行都包括在所述衬底之上形成的一行有规律地重复的光电子区域，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都配置成沿每一行以相应的节距把所述成分的多个部分打印到每个光电子区域中。
26.如权利要求22至25中任何一项所述的打印装置，其中所述电子单元包括电子显示器，所述有规律地重复的结构性特征对应于显示器的像素，使得所述行中的每一行都包括在所述衬底之上沿纵向方向形成的一行有规律地重复的像素区域，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都配置成沿每一行的纵向方向以相应的节距把所述成分的多个部分打印到每个像素区域中。
27.如权利要求22至26中任何一项所述的打印装置，其中所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都配置成沿所述行中的每一行打印包括用于淀积有机聚合物层的有机聚合物溶液的成分。
28.如权利要求22至27中任何一项所述的打印装置，其中所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都包括用于通过喷墨打印来打印所述成分的喷墨打印头。
29.如权利要求22至28中任何一项所述的打印装置，其中所述行中的每一行都包括具有在所述衬底之上沿纵向方向形成的有规律地重复的结构性特征的井区域，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都配置成沿其纵向方向以相应的节距把所述成分的多 个部分打印到每个井区域中。
30.如权利要求22至29中任何一项所述的打印装置，其中所述行中的每一行都包括在所述衬底之上形成的电极层，并且所述第一打印头配置和所述第二打印头配置中的每一个都配置成在所述电极层之上打印所述成分的部分。
31.如权利要求22至30中任何一项所述的打印装置，其中所述第一打印头配置和所述第二打印头配置被配置成使得所述第一节距和所述第二节距具有5:4的相对比率。
32.如权利要求22至31中任何一项所述的打印装置，其中所述第一打印头配置被配置成具有基本上等于70 μ m的第一节距，而所述第二打印头配置被配置成具有基本上等于56 μ m的第二节距。
33.一种电子单兀,包括: 在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征，所述结构性特征沿每一行以有规律的间隔重复；以及 既以第一节距又以第二节距淀积从而形成差拍模式的材料，所述差拍模式具有匹配所述有规律地重复的结构性特征的间隔的差拍波长。
34.如权利要求33所述的电子单元，其中所述有规律地重复的结构性特征对应于光电子部件，使得所述行中的每一行都包括在所述衬底之上形成的一行有规律地重复的光电子区域。
35.如权利要求33或34所述的电子单元，其中所述电子单元包括电子显示器，并且所述有规律地重复的结构性特征对应于显示器的像素，使得所述行中的每一行都包括在所述衬底之上沿纵向方向形成的一行有规律地重复的像素区域。
36.如权利要求33至35中任何一项所述的电子单元，其中所述有规律地重复的结构性特征对应于光电子部件，使得所述行中的每一行都包括在所述衬底之上形成的一行有规律地重复的光电子区域。
37.如权利要求33至36中任何一项所述的电子单元，其中所述电子单元包括电子显示器，所述有规律地重复的结构性特征对应于显示器的像素，使得所述行中的每一行都包括在所述衬底之上的纵向方向中形成的一行有规律地重复的像素区域。
38.如权利要求33至37中任何一项所述的电子单元，其中所述材料包括有机聚合物。
39.如权利要求38所述的电子单元，其中所述有机聚合物包括电荷载流子注入材料、电荷载流子传输材料和电致发光材料中的一种。
40.如权利要求33至39中任何一项所述的电子单元，其中所述行中的每一行都包括具有在所述衬底之上沿纵向方向形成的有规律地重复的结构性特征的井区域。
41.如权利要求40所述的电子单元，其中所述井区域中的每一个都是由在所述衬底之上沿所述纵向方向延伸的光电抗蚀剂堤部形成的。
42.如权利要求41所述的电子单元，其中所述行中的每一行都包括在所述衬底之上形成的电极层。
43.如权利要求42所述的电子单元，其中所述电极层是由氧化铟锡形成的阳极层。
44.如权利要求33至43中任何一项所述的电子单元，其中所述衬底包括玻璃或透明塑料。
45.如权利要求33至44中任何一项所述的电子单元，其中所述第一和所述第二节距具有5:4的相对比率。
46.如权利要求33至45中任何一项所述的电子单元，其中所述第一节距基本上等于.70 μ m,而所述第二节距基本上等于56 μ m。
全文摘要
一种用在电子单元制造中的打印方法，其中电子单元包括在衬底之上形成的一行或多行有规律地重复的结构性特征(108)，该结构性特征沿每一行以有规律的间隔重复。该方法包括使用第一打印头配置(110a)沿所述行中的每一行以第一节距打印一种成分(206s)的部分；以及使用第二打印头配置沿所述行中的每一行以第二节距打印所述成分的部分；使得第一和第二节距一起产生沿所述行中的每一行的差拍模式，差拍的波长(S)与所述有规律地重复的结构性特征的间隔匹配。
文档编号H01L51/00GK103180990SQ201180050406
公开日2013年6月26日 申请日期2011年9月6日 优先权日2010年9月8日
发明者M·克兰科肖 申请人:剑桥显示技术有限公司