专利名称：风机过滤器机组控制方法及设备、晶圆加工方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造领域，更具体地说，本发明涉及一种风机过滤器机组控制设备、相应的风机过滤器机组控制方法、以及采用了该风机过滤器机组控制方法的晶圆加
工方法。
背景技术：
晶圆从生产制造到运送，都需在密闭无尘的条件下进行；传统以洁净室生产晶圆的方式是将生产设备置于洁净室内。晶圆隔离进出料技术的概念则是将洁净室直接设置于设备中，其中包括晶圆盒(P0D，一种密封隔离洁净容器)、SMIFI/0 (input & Output)及迷你洁净环境(Minienvironment)三项主要技术。晶圆隔离技术又称为标准机械接口(Standard Mechanical Interface, SMIF,国际半导体协会(Semiconductor Equipment Material International Association, SEMI)更SMIF列为12寸晶圆厂的标准，成为未来进入0. 13 及更微细线宽制程需求洁净度的主流技术。如图I所示，风机过滤器机组(Filter Fan Unit，FFU，也称为滤网风机模块)用于保证洁净室内一定的风速和洁净度，由风扇3和过滤器(未示出)组成。风机过滤器机组对于在半导体制造期间，经由晶圆输送盒2向加工设备加载晶圆或者从加工设备卸载晶圆的过程中，产生迷你洁净环境来说，是非常关键的；这是因为在上述过程中，晶圆从晶圆盒I暴露出来。对于电路加工工艺，例如外延或者硅锗沉积，对晶圆上的颗粒进行控制对于确保良好的膜质量来说是非常重要的。当风机过滤器机组出现故障或者停运时，在外延或者硅锗沉积等工艺过程中，在晶圆表面会出现颗粒聚集或者颗粒堆叠。根据现有的标准机械接口 SMIF的信号传递设计，对风机过滤器机组的故障没有进行互锁设计。由此，当风机过滤器机组出现故障或者停运时，由于在外延或者硅锗沉积等工艺过程中容易在晶圆表面会出现颗粒聚集或者颗粒堆叠，所以容易造成工艺缺陷等问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种当风机过滤器机组出现故障或者停运时能够防止工艺缺陷的风机过滤器机组控制设备、相应的风机过滤器机组控制方法、以及采用了该风机过滤器机组控制方法的晶圆加工方法。根据本发明的第一方面，提供了一种风机过滤器机组控制方法，包括在向晶圆盒载入晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇的工作状态；在风机过滤器机组中的风扇工作正常的情况下，向晶圆盒载入晶圆；在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，不 向晶圆盒载入晶圆。
优选地，在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，发出中断信号。 根据本发明的第二方面，提供了一种风机过滤器机组控制方法，包括在从晶圆盒卸载晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇的工作状态；在风机过滤器机组中的风扇工作正常的情况下，从晶圆盒卸载晶圆；在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，不从晶圆盒卸载晶圆。优选地，在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，发出中断信号。根据本发明的第三方面，提供了一种晶圆加工方法，其特征在于采用了上述风机过滤器机组控制方法。根据本发明的第四方面，提供了一种风机过滤器机组控制设备，其包括光耦和继 电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工作的驱动电压；其中，在所述线圈中不存在电流的情况下，所述继电器断开，所述风机不存在电流情况下，所述光耦断开；并且，在所述风扇工作正常从而所述线圈和光耦中存在电流的情况下，所述继电器和光耦输出端同时接通；优选地，在所述线圈接通并且光耦导通的情况下，所述线圈和光耦输出启动信号。优选地，所述启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作，或者启动信号用于启动从晶圆盒卸载晶圆的操作，或者启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作以及从晶圆盒卸载晶圆的操作。优选地，所述驱动电压等于24V。根据本发明的第五方面，提供了一种风机过滤器机组控制设备，其包括光耦和继电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工作的驱动电压；其中，在所述线圈中不存在电流的情况下，所述继电器断开，所述风机不存在电流情况下，所述光耦断开；并且，在所述风扇工作正常从而所述线圈和光耦中存在电流的情况下，所述继电器和光耦输出端同时接通；并且，所述风机过滤器机组控制设备还包括二极管、电阻；二极管的输入端连接至风扇和线圈的公共连接端；光耦的发光器件输入端也连接至风扇和线圈的所述公共连接端；电阻连接在二极管的输出端和光I禹的发光器件输出端之间(限制光I禹的输入电流在额定电流内)；光1禹的感光器件输出端连接至继电器。在所述线圈接通且光耦的感光器件感测出电流的情况下，所述线圈输出启动信号。优选地，所述启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作，或者启动信号用于启动从晶圆盒卸载晶圆的操作，或者启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作以及从晶圆盒卸载晶圆的操作。根据本发明，通过将风机过滤器机组的风扇的工作状态(正常工作或出现电压或电流故障)与晶圆盒中晶圆的装载和卸载操作互锁起来，可以有效地防止在风机过滤器机组的风扇工作不正常的情况下向晶圆盒载入晶圆和/或从晶圆盒卸载出晶圆。因此，当风机过滤器机组出现故障或者停运时，能够例如在外延或者硅锗沉积等工艺过程中防止工艺缺陷。
结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中图I示意性地示出了风机过滤器机组的工作的示图。图2示意性地示出了根据本发明实施例的风机过滤器机组控制设备的具体示例。需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
具体实施例方式为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。
<第一实施例>在根据本发明实施例的风机过滤器机组控制方法中，可执行下述步骤在向晶圆盒I载入晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇3的工作状态；在风机过滤器机组中的风扇3工作正常的情况下，向晶圆盒I载入晶圆；否则，在风机过滤器机组中的风扇3工作不正常的情况下，不向晶圆盒I载入晶圆。优选地，在风机过滤器机组中的风扇3工作不正常的情况下，可发出警报信号。根据本发明实施例，通过将风机过滤器机组的风扇的工作状态(正常工作或出现故障)与晶圆盒中晶圆的装载操作互锁起来，可以有效地防止在风机过滤器机组的风扇工作不正常的情况下向晶圆盒载入晶圆。因此，当风机过滤器机组出现故障或者停运时，能够例如在外延或者硅锗沉积等工艺过程中防止工艺缺陷。<第二实施例>在从晶圆盒I卸载晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇3的工作状态；在风机过滤器机组中的风扇3工作正常的情况下，从晶圆盒I卸载晶圆；否则，在风机过滤器机组中的风扇3工作不正常的情况下，不从晶圆盒I卸载晶圆。优选地，在风机过滤器机组中的风扇3工作不正常的情况下，可发出警报信号。根据本发明实施例，通过将风机过滤器机组的风扇的工作状态(正常工作或出现故障)与晶圆盒中晶圆卸载操作互锁起来，可以有效地防止在风机过滤器机组的风扇工作不正常的情况下从晶圆盒卸载出晶圆。因此，当风机过滤器机组出现故障或者停运时，能够例如在外延或者硅锗沉积等工艺过程中防止工艺缺陷。<第三实施例>图2示意性地示出了根据本发明实施例的风机过滤器机组控制设备的具体示例。图2所述的根据本发明实施例的风机过滤器机组控制设备可用来实现第一实施例和第二实施例所述的风机过滤器机组控制方法。如图2所示，本发明实施例的风机过滤器机组控制设备包括线圈5和继电器4。其中，线圈5两端分别连接至风机过滤器机组的风扇3的两端。风机过滤器机组的风扇3的两端施加了驱动电压Vc，例如驱动电压Vc=24V。驱动电压Vc用于驱动风扇3工作。
继电器4被布置在线圈5的耦合区域内。并且，在线圈5中不存在电流的情况下，继电器4断开。在这种状态下，不发出启动信号SI。与图I不同的是，图2所示的根据本发明实施例的风机过滤器机组控制设备还包括一个或多个二极管、电阻、以及光耦6。二极管的输入端连接至风扇3和线圈5的公共连接端。光耦6的发光器件输入端同样连接至风扇3和线圈5的所述公共连接端。电阻连接在二极管的输出端和光I禹6的发光器件输出端之间。光I禹6的感光器件输入端连接至继电器4。例如,光稱6的发光器件是发光二极管。例如,光稱6的感光器件是感光三极管。
由此，在继电器4监控风机过滤器机组的风扇的电压是否正常的情况下，光耦6同时监控风机过滤器机组的风扇的电流是否正常。并且，当测试出风机过滤器机组的风扇的电压以及电流均正常时判断风机过滤器机组的风扇3工作正常，继电器4而接通，且光耦6的感光器件由于感测到电适当流而接通，从而才能发出启动信号SI。启动信号SI用于启动向晶圆盒I载入晶圆的操作，或者启动信号SI用于启动从晶圆盒I卸载晶圆的操作，或者启动信号Si用于启动向晶圆盒I载入晶圆的操作以及从晶圆盒I卸载晶圆的操作。在图2所不的电路不意图中，电流的主回路是“电源正极一> 风扇一> 二极管一>电源负极”。其中继电器4和风扇3并联，用来判断风扇电压是否正常。而光耦6通过限流电阻和二极管并联，判断风扇3的电流是否正常。由于风扇3和二极管是串联，风扇3和二极管电流相等。在图2所示的电路示意图中，只有风扇电压和电流均正常，输出端才能接通。因此，根据本发明实施例，通过测试风机过滤器机组的风扇的电压以及电流是否正常来将风机过滤器机组的风扇的工作状态(正常工作或出现故障)与晶圆盒中晶圆的装载和卸载操作互锁起来，可以有效地防止在风机过滤器机组的风扇工作不正常的情况下向晶圆盒载入晶圆和/或从晶圆盒卸载出晶圆。因此，当风机过滤器机组出现故障或者停运时，能够例如在外延或者硅锗沉积等工艺过程中防止工艺缺陷。根据本发明的另一优选实施例，本发明还提供了一种采用了上述风机过滤器机组控制方法的晶圆加工方法。可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
权利要求
1.一种风机过滤器机组控制方法，其特征在于包括 在向晶圆盒载入晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇的工作状态； 在风机过滤器机组中的风扇工作正常的情况下，向晶圆盒载入晶圆； 在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，不向晶圆盒载入晶圆。
2.根据权利要求I所述的风机过滤器机组控制方法，其特征在于还包括在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，触发中断信号，以使得不能从晶圆盒卸载晶圆。
3.—种风机过滤器机组控制方法，其特征在于包括 在从晶圆盒卸载晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇的工作状态； 在风机过滤器机组中的风扇工作正常的情况下，从晶圆盒卸载晶圆； 在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，不从晶圆盒卸载晶圆。
4.根据权利要求3所述的风机过滤器机组控制方法，其特征在于还包括在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，触发中断信号，以使得不能从晶圆盒卸载晶圆。
5.一种晶圆加工方法，其特征在于采用了根据权利要求I至4之一所述的风机过滤器机组控制方法。
6.一种风机过滤器机组控制设备，其特征在于包括光耦和继电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工作的驱动电压；其中，在所述线圈中不存在电流的情况下，所述继电器断开；并且，在所述风扇工作正常从而所述线圈中存在电流的情况下，所述继电器和光耦接通。
7.根据权利要求6所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，在所述风机接通的情况下，所述继电器和光稱输出启动信号。
8.根据权利要求7所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，所述启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作，或者启动信号用于启动从晶圆盒卸载晶圆的操作，或者启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作以及从晶圆盒卸载晶圆的操作。
9.根据权利要求6至8之一所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，所述驱动电压等于24V。
10.一种风机过滤器机组控制设备，其特征在于包括光耦和继电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工作的驱动电压；其中，在所述线圈中不存在电流的情况下，所述继电器断开，所述风机不存在电流情况下，所述光耦断开；并且，在所述风扇工作正常从而所述线圈和光耦中存在电流的情况下，所述继电器和光耦输出端同时接通； 并且，所述风机过滤器机组控制设备还包括二极管以及电阻；二极管的输入端连接至风扇和线圈的公共连接端；光耦的发光器件输入端也连接至风扇和线圈的所述公共连接端；电阻连接在二极管的输出端和光耦的发光器件输出端之间以限制光耦的输入电流在额定电流内；光耦的感光器件输出端连接至继电器。
11.根据权利要求10所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，在所述线圈接通且光耦的感光器件感测出电流的情况下，所述线圈和光耦同时输出启动信号；其中，如果只有线圈接通或者只有光耦导通，则不能输出启动信号。
12.根据权利要求11所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，所述启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作，或者启动信号用于启动从晶圆盒卸载晶圆的操作，或者启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作以及从晶 圆盒卸载晶圆的操作。
全文摘要
本发明提供了风机过滤器机组控制方法及设备、晶圆加工方法。根据本发明的风机过滤器机组控制设备包括光耦和继电器；其中，继电器的线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端以监控风扇电压是否正常；风扇的两端施加了用于驱动风扇工作的驱动电压；在线圈中不存在电流的情况下，继电器断开；并且，在风扇工作正常从而线圈中存在电流的情况下，继电器接通。设备还包括二极管、电阻；二极管与风扇串联，监控风扇电流是否正常，提供光耦的采样电压信号。当风扇工作电流正常时，电流通过二极管而产生压降，光耦输入端即有电流通过，从而输出端导通。电阻用来限制光耦输入端电流不超过光耦的最大额定电流。
文档编号H01L21/66GK102709217SQ20121019125
公开日2012年10月3日 申请日期2012年6月11日 优先权日2012年6月11日
发明者傅荣颢, 黄锦才 申请人:上海宏力半导体制造有限公司