专利名称：一种运行稳定的变节距夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光伏硅片生产设备技术领域，尤其涉及光伏硅片生产设备中的运行稳定的变节距夹具。
背景技术：
为了提高光伏硅片扩散工艺的产能，在不改变工艺主设备的情况下，将硅片载具石英舟节距变小(如从4. 76mm变为4. 05mm)是最为便捷和广泛采用的方法。扩散工艺进行之前，硅片需要从另一种载具花篮倒入石英舟；工艺完成之后，硅片需要从石英舟倒入花篮·以便将硅片传送到下一道工艺。因为工艺间的硅片传送都采用4. 76mm的花篮，所以当石英舟节距为4. 76mm时，人工倒片时，只需将两个载具对齐就可以将硅片从一个载具推至另一个载具。但是当石英舟节距不是4. 76_时，就不能采用这种方法。目前采用的人工倒片方法是用吸盘一片一片将硅片从一个载具吸起然后插入另外一个载具。这种方法效率低下，劳动强度大，且碎片率不可控。
实用新型内容为此，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种运行稳定的变节距夹具，该变节距夹具可以快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片，以克服现有技术存在的不足。为解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案一种运行稳定的变节距夹具，其特征在于包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板，所述多层硅片搁置板之间具有间隙，每层间隙两端均设有间距垫片；所述间距垫片首端为薄部，尾端为厚部，中间为渐变斜面，所述薄部插入所述间隙中，所有间距垫片总长度相等，渐变斜面的长度也相等并且最底层的间距垫片到最顶层的间距垫片按如下规律变化薄部的长度逐渐变长，厚部的长度逐渐缩短；另外还包括有驱动所有间距垫片进入或退出所述间隙的驱动机构。在本实用新型的具体实施方式
中，所述侧板内表面具有两道竖向的滑槽，所述硅片搁置板两端分别具有两个位于所述滑槽内的凸出滑块。这样，侧板能够约束硅片搁置板沿侧板内表面上下竖向滑动。为了减小与硅片的摩擦，以使得硅片能够容易的推入和推出硅片搁置板，所述搁置板具有掏空区域。所述间距垫片尾端还具有燕尾凸块，所述驱动机构包括安装在框架上的调节螺杆以及安装在调节螺杆上分设在多层搁置板两侧的两块调节板，所述调节板内表面具有竖向容置所述燕尾凸块的燕尾滑槽。采用上述技术方案，本实用新型的运行稳定的变节距夹具可以快速变换硅片之间的间距，从而能够实现快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。
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以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明[0011]图1为本实用新型的立体结构示意图。[0012]图2为本实用新型的正面结构示意图。[0013]图3为图2中A-A向剖视图。[0014]图4为本实用新型的间距垫片与硅片搁置板之间配合关系示意图[0015]图5为本实用新型的侧板结构示意图；[0016]图6为本实用新型的硅片搁置板的结构示意图；[0017]图7为本实用新型的间距垫片的结构示意图；[0018]图7A为最底层的间距垫片示意图；[0019]图7B为中间层的间距垫片示意图；[0020]图7C为最顶层的间距垫片示意图；图8为本实用新型的调节板的结构示意图；[0022]图9为本实用新型的动作示意图。
具体实施方式
如图1、2、3所示，本实用新型的运行稳定的变节距夹具，包括框架100、多层硅片搁置板200、间距垫片300以及驱动机构。其中，框架100由一个顶板110、一个底板120以及两块分立于左右两侧的侧板130合围而成，框架100的前后形成开口，可以让硅片进出。如图5所示，侧板130的内表面位于两侧具有竖向延伸的滑槽131，中间具有竖向延伸的条状缺口 132。如图6所示,每块娃片搁置板200的厚度为2mm,两端分别具有两个凸出滑块201。结合图3所示，该凸出滑块201装配时，位于侧板130的滑槽131内。这样，硅片搁置板200在侧板130的滑槽131的约束下，可沿着侧板130上下运动。为减小与硅片的摩擦，以使得硅片能够容易的推入和推出硅片搁置板，硅片搁置板200的前后侧均具有掏空区域202。如图7所示，间距垫片300为长条形垫片，首端为薄部301，厚度为2. 05mm,尾端为厚部302，厚度为2. 76mm，中间为渐变斜面303。在间距垫片300的尾部还具有燕尾凸块304。结合图4所示，装配时，每块间距垫片300的薄部是插入相邻硅片搁置板200形成的间隙中。再如图2所示，驱动机构包括螺杆401、旋钮402、两块条形的调节板403以及导向杆 405。如图8所示，调节板403表面具有竖向延伸的燕尾滑槽404。装配时，结合图2、图3，两个调节板403分别安装在硅片搁置板的两侧，对应着侧板的条状缺口 132位置，条状缺口 132可以让调节板403通过。间距垫片300的燕尾凸块304则位于燕尾滑槽404中。两个调节板403在上端的同一高度位置具有与螺杆401配合的螺纹孔，两个螺纹孔的方向相反。而螺杆401则穿过侧板，其端头上安装有旋钮402。基于人机工程学，旋钮位于夹具右侧上端以便人工调节。在底板120的两端具有分别具有一个支撑块406，支撑块406之间固定有一根导向杆405，该导向杆405从侧板的条状缺口 132中穿过，调节板403的下端具有导向孔，套在导向杆405上。从而使得在旋转402时，调节板403能够沿着导向杆405左右运动，从而驱动间距垫片300的厚部能够插进或拔出硅片搁置板200之间间隙。采用这样的结构，能够保证左右调节同步而不会有机构卡住的问题，除了采用上述螺杆外，还可以采用气缸推拉调节板。以上就是本实用新型的运行稳定的变节距夹具，其工作方式如下通过旋动旋钮402，螺杆401旋转，会驱动两侧的调节板403向两侧或者中心方向运动。在起始状态，间距垫片的薄部位于硅片搁置板之间的间隙中，这时，搁置在硅片搁置板上的上下硅片之间的距离为4. 05_。当调节板403向中心方向运动直到间距垫片的厚部位于硅片搁置板之间的间隙中，这时搁置在硅片搁置板上的上下硅片之间的距离就变为4. 76mm。当调节板403向两侧运动直到间距垫片的薄部位于硅片搁置板之间的间隙时，这时搁置在硅片搁置板上的上下硅片之间的距离又变回4. 05mm。上述夹具节距调节时，间距垫片在水平和上下方向同时运动，而且所有层的调节都同时完成，因此对50片的夹具最上层运行速度是最下层的50倍，这样整个夹具的平稳性不太好。为了提高距调节的平稳性，本实用新型对间距垫片300还做如下要求所有间距垫片总长度相等，渐变斜面303的长度也相等并且最底层的间距垫片到最顶层的间距垫片按如下规律变化薄部的长度逐渐变长，厚部的长度逐渐缩短(如图7A，图7B以及图7C所示)。采用这样的夹具垫片后，在节距调节时，间距垫片在水平和上下方向同时运动，但间距垫片的厚部是逐步插入或拔出硅片搁置架之间的间隙，也就是说节距的调节是从下层到上层的调节是逐步完成的。这样，整个夹具节距的节距的平稳性非常好。
权利要求1.一种运行稳定的变节距夹具，其特征在于包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板，所述多层硅片搁置板之间具有间隙，每层间隙两端均设有间距垫片；所述间距垫片首端为薄部，尾端为厚部，中间为渐变斜面，所述薄部插入所述间隙中，所有间距垫片总长度相等，渐变斜面的长度也相等并且最底层的间距垫片到最顶层的间距垫片按如下规律变化薄部的长度逐渐变长，厚部的长度逐渐缩短；另外还包括有驱动所有间距垫片进入或退出所述间隙的驱动机构。
2.根据权利要求1所述的运行稳定的变节距夹具，其特征在于所述侧板内表面具有两道竖向的滑槽，所述硅片搁置板两端分别具有两个位于所述滑槽内的凸出滑块。
3.根据权利要求1所述的运行稳定的变节距夹具，其特征在于所述搁置板具有掏空区域。
4.根据权利要求2所述的运行稳定的变节距夹具，其特征在于所述间距垫片尾端还具有燕尾凸块，所述驱动机构包括安装在所述框架上的调节螺杆以及安装在调节螺杆上分设在多层搁置板两侧的两块调节板，所述调节板内表面具有竖向的容置所述燕尾凸块的燕尾滑槽。
5.根据权利要求2所述的运行稳定的变节距夹具，其特征在于所述侧板中间对应所述调节板具有条状缺口。
专利摘要本实用新型公开了一种运行稳定的变节距夹具，包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板，所述多层硅片搁置板之间具有间隙，每层间隙两端均设有间距垫片；所述间距垫片首端为薄部，尾端为厚部，中间为渐变斜面，所述薄部插入所述间隙中，所有间距垫片总长度相等，渐变斜面的长度也相等并且最底层的间距垫片到最顶层的间距垫片按如下规律变化薄部的长度逐渐变长，厚部的长度逐渐缩短；另外还包括有驱动所有间距垫片使得厚部同时进入或退出所述间隙的驱动机构。本实用新型的运行稳定的变节距夹具可以快速变换硅片之间的间距，从而能够实现快速、平稳、方便地在两种不同节距载具间进行倒片。
文档编号H01L21/687GK202839581SQ20122051866
公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月11日 优先权日2012年10月11日
发明者朱绍明, 戴军 申请人:苏州罗博特科自动化设备有限公司