一种SiC桨的装载装置的制作方法

文档序号:6786298阅读:400来源:国知局
专利名称:一种SiC桨的装载装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片的扩散设备,特别涉及一种SiC桨的装载装置。
背景技术
太阳能电池生产线扩散工艺是在太阳能电池片或称硅片表面产生p-n极,是太阳能电池生产的关键工艺,主要通过扩散设备来实现。硅片的扩散工艺正常为温度860°C,时间2小时,需要密闭、高温环境。一般采用石英舟承载硅片,将石英舟承载于SiC桨上,再通过装载框架将SiC桨固定运输,用于将硅片运输至石英炉管内实施扩散工艺。目前一般采用不锈钢块组成装载框架或底座夹紧SiC桨后,通过螺丝将SiC桨固定在装载框架或底座上。这种装载结构虽然紧固、牢靠,但在在日常运行使用过程中,扩散设备的运输机构是采用丝杠或皮带带动装载有SiC桨的装载结构运动,由于SiC桨的装载结构采用硬性连接,在振动大的运动过程中,会产生较严重的机械共振。这种振动容易导致SiC桨发生偏移,或者使硅片脱离石英舟,甚至发生撞舟、撞桨等严重故障,给正常生产带有严重损失。

实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种运行振动小的SiC桨的装载装置。本实用新型的目的可通过以下技术方案实现:一种SiC桨的装载装置,包括用于固定SiC桨的框架,该框架由上板、下板和两侧板围合组成,其中一个侧板开有供SiC桨穿过的通槽,所述框架内的两侧分别设置有一个用于夹持SiC桨的夹持件,所述夹持件上竖直方向伸出有支撑柱,所述的两个夹持件相对设置,使其中一个夹持件的支撑柱向上伸出,另一个夹持件的支撑柱向下伸出,对应在支撑柱伸出位置的上板和下板上分别开有凹槽,所述支撑柱间隙配合于对应凹槽内,通过上板和下板的凹槽与支撑柱的配合来将夹持件固定在框架内,支撑柱与凹槽之间的间隙用来缓冲振动。在上述基础上,本实用新型可做如下改进:本实用新型所述支撑柱具有两个或两个以上,支撑柱之间为相间设置,支撑柱对应的上板或下板上开设相应个数的凹槽,以利于SiC桨通过夹持件保持平衡。本实用新型所述夹持件包括第一外夹、第二外夹、螺栓和内夹,所述第一外夹、第二外夹上均设有螺纹孔,所述螺栓安装于第一外夹、第二外夹的螺纹孔上并伸出,使第一外夹和第二外夹围合组成用于夹紧内夹的外夹口 ;所述螺栓在第二外夹上的伸出端即为所述支撑柱;所述内夹垫设于外夹口内壁,该内夹由两个拱形块组成,两拱形块对接形成用于夹紧SiC桨的内夹口,以便通过各外夹、内夹的层叠,增加夹持SiC桨的柔性。本实用新型所述上板或下板的凹槽位置设有垫块,所述凹槽位于垫块上,以减小凹槽与夹持件的距离,缩短支撑柱的长度,进而增强支撑柱的长度。与现有技术相比,本实用新型技术具有如下有益效果:(I)本实用新型设计采用夹持件与框架柔性连接,通过支撑柱与凹槽间的间隙来缓冲振动,还可通过外夹、内夹的连接来进一步使SiC桨柔性固定在夹持件上,使安装于SiC桨上石英舟的硅片运行过程平稳、无明显振动,避免硅片破损;当SiC桨左右如遇外力发生偏移时,SiC桨会通过支撑柱在凹槽内的导向作用而自适应到平衡位置,减少故障发生。(2)本实用新型结构简单,便于通过螺栓来安装与调节。

图1为本实用新型的主视结构示意图;图2为图1的A向视图;图3为图1的B向视图;图4为图1的C向剖视图;图5为图1的D向 剖视图。图中:1、框架;11、上板;12、下板;13、侧板;131、通槽;2、夹持件;21、第一外夹;22、第二外夹;23、螺栓;25、内夹;251、拱形块;252、内夹口 ;26、螺纹孔;27、外夹口 ;3、支
撑柱;4、凹槽;5、垫块。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。如图1所示的一种SiC桨的装载装置,包括用于固定SiC桨的框架1,该框架I由上板11、下板12和两侧板13围合组成,各板采用不锈钢材质,并采用螺纹配合固接。其中一个侧板13开有供SiC桨穿过的通槽131。框架I内配有两个用于夹持SiC桨的夹持件2,夹持件2设于框架I内的两侧。如图2、图3所示,夹持件2竖直方向伸出有相间的两个支撑柱3,两个夹持件2相背设置,使其中一个夹持件2的两个支撑柱3向上伸出,另一个夹持件2的两个支撑柱3向下伸出,对应在支撑柱3伸出位置的上板11和下板12上开有相应个数的凹槽4,支撑柱3间隙配合于对应凹槽4内,通过上板11和下板12的凹槽4与支撑柱3的配合来将夹持件2固定在框架I内。其中,也可设置支撑柱3为相间设置两个以上,对应分别在上板11和下板12上开设相应个数的凹槽4,以进一步利于SiC桨通过夹持件2固定在框架I上保持平衡。如图4、图5所示,夹持件2包括第一外夹21、第二外夹22、螺栓23和内夹25,第一外夹21、第二外夹22上设有两个¢6的螺纹孔26,螺栓23与螺纹孔26螺纹配合,螺栓23穿过第一外夹21和第二外夹22的螺纹孔26后伸出,使第一外夹21和第二外夹22紧夹围合组成用于夹紧内夹25的外夹口 27。也可采用螺栓螺母的锁定方式来锁定第一外夹21、第二外夹22。螺栓23在第二外夹22上的伸出端即为支撑柱3,该伸出端的端部设置成半圆球形。螺栓23位于外夹口 27的两侧。内夹25垫设于外夹口 27内壁,该内夹25由两个规格相同的拱形块251组成,两拱形块251对接形成用于夹紧SiC桨的内夹口 252。上板11或下板12的凹槽4位置设有垫块5,凹槽4位于垫块5上,夹持件2上伸出的支撑柱3装配在垫块5上的凹槽4内,从而缩短了支撑柱3即螺栓23的长度。本实用新型的实施方式不限于此,按照本实用新型的上述内容,利用本领域的普通技术知识和惯用手段,在不脱离本实用新型上述基本技术思想前提下,本实用新型还可以做出其它多种形式的修改、替换或变更,均落在本实用新型权利保护范围之内。
权利要求1.一种SiC桨的装载装置,包括用于固定SiC桨的框架(1),该框架(I)由上板(11)、下板(12)和两侧板(13)围合组成,其中一个侧板(13)开有供SiC桨穿过的通槽(131),其特征在于:所述框架(I)内的两侧分别设有一个用于夹持SiC桨的夹持件(2),所述夹持件(2)上竖直方向伸出有支撑柱(3),所述的两个夹持件(2)相对设置,使其中一个夹持件(2)的支撑柱(3 )向上伸出,另一个夹持件(2 )的支撑柱(3 )向下伸出,对应在支撑柱(3 )伸出位置的上板(11)和下板(12)上分别开有凹槽(4),所述支撑柱(3)间隙配合于对应凹槽(4)内。
2.根据权利要求1所述的SiC桨的装载装置,其特征在于:所述支撑柱(3)具有两个或两个以上,支撑柱(3)之间为相间设置,支撑柱(3)对应的上板(11)或下板(12)上开设相应个数的凹槽(4)。
3.根据权利要求2所述的SiC桨的装载装置,其特征在于:所述夹持件(2)包括第一外夹(21)、第二外夹(22)、螺栓(23)和内夹(25),所述第一外夹(21)、第二外夹(22)上均设有螺纹孔(26 ),所述螺栓(23 )安装于第一外夹(21)和第二外夹(22 )的螺纹孔(26 )上并伸出,使第一外夹(21)和第二外夹(22)围合组成用于夹紧内夹(25)的外夹口(27);所述螺栓(23)在第二外夹(22)上的伸出端即为所述支撑柱(3)。
4.根据权利要求3所述的SiC桨的装载装置,其特征在于:所述内夹(25)垫设于外夹口(27)内壁,该内夹(25)由两个拱形块(251)组成,两拱形块(251)对接形成用于夹紧SiC桨的内夹口(252)。
5.根据权利要求1-4任一项所述的SiC桨的装载装置,其特征在于:所述上板(11)或下板(12)的凹槽位置设有垫块(5),所述凹槽(4)位于垫块(5)上。
专利摘要本实用新型公开了一种SiC桨的装载装置,包括框架(1),该框架(1)由上板(11)、下板(12)和两侧板(13)围合组成,其中一个侧板(13)开有通槽(131),所述框架(1)内的两侧分别设有一个夹持件(2),所述夹持件(2)上竖直方向伸出有支撑柱(3),所述的两个夹持件(2)相对设置,使其中一个夹持件(2)的支撑柱(3)向上伸出,另一个夹持件(2)的支撑柱(3)向下伸出,对应在支撑柱(3)伸出位置的上板(11)和下板(12)上分别开有凹槽(4),所述支撑柱(3)间隙配合于对应凹槽(4)内。本实用新型可使SiC桨柔性固定在夹持件上,使安装于SiC桨上石英舟的硅片运行过程平稳、无明显振动。
文档编号H01L31/18GK203071114SQ201220745839
公开日2013年7月17日 申请日期2012年12月29日 优先权日2012年12月29日
发明者唐亮, 王利国, 刘屹, 戴德鵬, 周洋, 冷皓, 郭辉, 张伟 申请人:晶澳(扬州)太阳能科技有限公司
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