专利名称：一种esd粘尘胶棒的制作方法
技术领域：
:本实用新型涉及微电子元件超清洁装置技术领域，具体涉及一种ESD粘尘胶棒。
背景技术：
:微电子元件的性能受到灰尘、静电的影响较大，现有的清除超洁净以及洁净环境下的物体表面尘点产品不是体积大，就是操作复杂，比如清洁COB工艺裸露镀膜表面微尘粒时，传统的清洁装置容易刮伤膜体
实用新型内容
:本实用新型的目的是提供一种ESD粘尘胶棒，它结构简单，无污染，柔软且有韧性，能够安全消耗电荷，防静电性不受环境变化的影响，具有良好地吸附性。为了解决背景技术所存在的问题，本实用新型是采用以下技术方案:它包含粘尘胶棒本体1、球形粘尘头2，粘尘胶棒本体I的顶部设置有球形粘尘头2，其特征在于所述的粘尘胶棒本体I是一个中下身为圆柱、颈部为圆锥、顶端为球体的结构，圆柱直径为
1.52mm,圆锥尖端直径0.7mm,球体直径为1.2mm,全长为75mm。本实用新型具有以下有益效果:它结构简单，无污染，柔软且有韧性，能够安全消耗电荷，防静电性不受环境变化的影响，具有良好地吸附性。
:图1是本实用新型结构示意具体实施方式
:参看图1，本具体实施方式
采用以下技术方案:它包含粘尘胶棒本体1、球形粘尘头2，粘尘胶棒本体I的顶部设置有球形粘尘头2，其特征在于所述的粘尘胶棒本体I是一个中下身为圆柱、颈部为圆锥、顶端为球体的结构，圆柱直径为1.52mm,圆锥尖端直径
0.7mm,球体直径为1.2mm,全长为75mm。所述粘尘胶棒本体I采用无污染超洁净的PET/PP/ABS制成，能够全消耗电荷，防静电性不受环境变化的影响，具有良好地吸附性。本具体实施新型的使用方法:在作业前先做好5S清洁准备工作，台面、地面、设备、椅子、手套、工具、夹具、托盘等并用显微镜检查。用镊子从内托盘轻轻夹取，带胶端不可和另外胶棒内壁接触，以免污染，手拿住另一端准备清洁。清洁过程中对胶棒在显微镜/软件下对准尘粒位置，保持60-90角度，大约用10克力去粘尘，不可太用力以免刮伤/压伤产品。使用中拿稳拿紧，切记来回抖动。擦拭过程中绝对不可在产品上移动磨擦，以免擦伤产品。本实用新型具有以下有益效果:它结构简单，无污染，柔软且有韧性，能够安全消耗电荷，防静电性不受环境变化的影响，具有良好地吸附性。
权利要求1.一种ESD粘尘胶棒，它包含粘尘胶棒本体(I)、球形粘尘头(2)，粘尘胶棒本体(I)的顶部设置有球形粘尘头(2)，其特征在于所述的粘尘胶棒本体(I)是一个中下身为圆柱、颈部为圆锥、顶端为球体的结构，圆柱直径为1.52mm,圆锥尖端直径0.7mm,球体直径为1.2mm,全长为 75mm。
专利摘要一种ESD粘尘胶棒，具体涉及微电子元件超清洁装置技术领域。它包含粘尘胶棒本体(1)、球形粘尘头(2)，粘尘胶棒本体(1)的顶部设置有球形粘尘头(2)，其特征在于所述的粘尘胶棒本体(1)是一个中下身为圆柱、颈部为圆锥、顶端为球体的结构，圆柱直径为1.52mm，圆锥尖端直径0.7mm，球体直径为1.2mm，全长为75mm。它结构简单，无污染，柔软且有韧性，能够安全消耗电荷，防静电性不受环境变化的影响，具有良好地吸附性。
文档编号H01L21/67GK203071049SQ20132002088
公开日2013年7月17日 申请日期2013年1月14日 优先权日2013年1月14日
发明者廖进进 申请人:深圳双澜科技有限公司