一种中央抽真空含浸系统及其控制方法
【专利摘要】本发明涉及电解液含浸设备领域，尤其涉及一种中央抽真空含浸系统及其控制方法，包括中央控制系统以及若干个含浸机，中央控制系统包括真空储气缸、真空机、电控制箱、真空监测器，真空监测器设置在所述真空储气缸上并能监测真空储气缸的气压，所述若干个含浸机通过管道分别单独接通所述真空储气缸，所述若干个含浸机与真空储气缸之间的管道分别设有阀门，真空机的抽气端通过管道连接所述真空储气缸，真空储气缸与真空机抽气端之间的管道设有第一控制阀，电控制箱分别电性连接第一控制阀、阀门以及真空监测器。本发明一种中央抽真空含浸系统能避免含浸机的抽真空工序过于依赖人手操作，有效提高生产效率和批量生产的电容芯包的质量一致性。
【专利说明】一种中央抽真空含浸系统及其控制方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及电解液含浸设备领域，尤其涉及一种中央抽真空含浸系统及其控制方 法。
【背景技术】
[0002] 现有技术中，电容芯包的含浸工序通常在台含浸机上进行，含浸机上一般还连接 有电解液储液罐，含浸机一般会额外连接一台真空机，真空机内设有空压泵，在生产时，工 人一般需要先把电容芯包放置在含浸机的缸体内，然后启动真空机，待空压泵对含浸机的 缸体进行抽真空处理后，储液罐的电解液就会由于气压差而自动进入含浸机的缸体，从而 对缸体内的电容芯包进行含浸处理。但是，在生产过程中，当工人处理一批电容芯包时不但 要控制含浸机处理电容芯包，还要控制真空机对含浸机进行抽真空处理，工序繁琐，整个含 浸工序更多地依赖人手操作，因而生产效率低；另外，含浸机缸体的真空程度会直接影响电 容芯包的含浸质量，当电容芯包大批量地生产时，由于抽真空工序主要依赖人手处理，会导 致电容芯包的含浸质量参差不齐。
【发明内容】
[0003] 有鉴于此，本发明公开一种中央抽真空含浸系统及其控制方法，避免了含浸机的 抽真空工序过于依赖人手操作，有效提高生产效率和批量生产的电容芯包的质量一致性。
[0004] 为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是： 一种中央抽真空含浸系统，包括中央控制系统以及若干个含浸机，所述中央控制系统 包括真空储气缸、至少一个真空机、电控制箱、真空监测器，所述真空监测器设置在所述真 空储气缸上并能监测真空储气缸的气压，所述若干个含浸机通过管道分别单独接通所述真 空储气缸，所述若干个含浸机与真空储气缸之间的管道分别设有阀门，所述真空机的抽气 端通过管道连接所述真空储气缸，所述真空储气缸与真空机抽气端之间的管道设有第一控 制阀，所述电控制箱分别电性连接所述第一控制阀、阀门以及真空监测器。
[0005] 由于各个含浸机通过管道接通所述真空储气缸，真空储气缸通过管道接通所述真 空机，所述若干个含浸机与真空储气缸之间的管道分别设有阀门，因此在真空机的抽真空 作用下并且阀门关闭时，真空储气缸和接通各个含浸机的管道均能进入负压状态，再由于 所述真空储气缸与真空机抽气端之间的管道设有第一控制阀，当真空储气缸和接通各个含 浸机的管道达到一定的真空程度时，只要关闭所述第一控制阀，就能够使得真空储气缸和 接通各个含浸机的管道均保持负压状态，在生产过程中，生产人员只要打开阀门，真空储气 缸和管道接通含浸机内的缸体，电解液就能够在压力差的作用下自动进入含浸机的缸体， 对预放在缸体内的电容芯包进行含浸处理，实现含浸工序的自动化。所述真空监测器设置 在所述真空储气缸上并能监测真空储气缸的气压，因此真空监测器能够在真空储气缸上监 测整个中央抽真空含浸系统的真空值，即气压高低，同时现有技术中，真空监测器一般还配 置有数字显示屏，能让现场人员实时了解中央抽真空含浸系统内的气压情况。另外，所述电 控制箱分别电性连接所述第一控制阀、阀门以及真空监测器，在需要让真空机对真空储气 缸进行抽真空处理时，操作人员可以通过电控制箱控制第一控制阀打开，保证抽真空工作 顺利进行，当真空监测器监测到真空储气缸的真空值高达一定程度时，操作人员可以通过 电控制箱关闭所述第一控制阀并停止真空机的工作，使得真空储气缸和连接于含浸机的管 道均能保持负压状态，直到设置在管道上的阀门被打开，含浸机进入含浸工序，所述负压状 态才会逐渐下降，即真空程度逐渐下降，此时真空监测器能一直监测到真空储存缸内的真 空程度，当真空储存缸内真空值下降到一定程度时，操作人员便可以通过电控制箱重新开 启所述真空机和打开所述第一控制阀，以使所述真空储气缸和管道重新被抽真空处理，并 重新恢复到一定的真空程度，然后再关闭第一控制阀和停止真空机，完成一个工作循环。由 于各个含浸机均通过一个中央控制系统进行抽真空处理，因此能更好地保证含浸机内的气 压一致，以提高电容芯包质量的一致性。在实际应用中，技术人员还可以在电控制箱上安装 电气控制元件或PLC控制模块，使电控制箱能以真空监测器的监测值作为触发信号，让电 控制箱自动控制所述第一阀门和真空机的运作，即当真空监测器监测到真空储气缸的真空 值上升或下降至一定程度时，电控制箱能自动控制第一阀门和真空机作出相应的运作，进 一步地实现中央抽真空含浸系统的自动化运作。另外，所述若干个含浸机通过管道分别单 独接通所述真空储气缸，能够有效地降低含浸机之间的电解液互串的风险。
[0006] 因此，本发明一种中央抽真空含浸系统，避免了含浸机的抽真空工序过于依赖人 手操作，有效提高生产效率和批量生产的电容芯包的质量一致性。
[0007] 进一步地，所述真空储气缸与真空机抽气端之间的管道上连接有接通外界的通气 口，所述通气口上设有能受所述电控制箱控制的第二控制阀。当真空储存缸内真空值高达 一定程度时，第一控制阀被关闭并且真空机停止进行抽真空工作，此时可以通过所述电控 制箱打开所述第二控制阀，让第一控制阀到真空机之间的管道不再为负压状态并且恢复常 压，能够防止管道在真空状态下真空机的机油被反抽到管道内。同时在下一次真空机启动 时，真空机能够在常压下启动，对真空机起到保护的作用，若第二控制阀不打开，真空机则 会在真空状态下启动，会有启动困难，严重时有烧坏马达的风险。
[0008] 进一步地，所述真空储气缸与真空机抽气端之间的管道上设有液气分离器，能够 防止电解液废液沿管道串入真空机，避免废液对生产场地的污染。
[0009] 进一步地，所述真空机上设有接通所述真空储气缸的助力泵，能够辅助真空机的 抽真空工作，即使所有的含浸机需要同时工作，也能够保证系统内有足够的抽真空能力。
[0010] 进一步地，所述真空机的数量为至少两个，各个真空机的抽气端分别通过管道连 接所述真空储气缸，各个真空机的抽气端还连接有手动阀。当需要抽真空时，打开其中一个 手动阀，使对应的真空机进行抽真空工作，其余真空机通过关闭对应的手动阀与整个系统 隔断，因此，不但能够避免因一台真空机的损坏而使得整个中央抽真空含系统失去运作能 力，而且能够各台让真空机交替工作，延长真空机的使用寿命。又或者可以让所有的真空机 同时启动，能在短时间内使真空储气缸和各条管道达到需要的真空程度，满足生产需要。
[0011] 进一步地，真空储气缸的底部设有废液排放阀。当真空储气缸内的电解液废液达 到一定量时，可以通过打开所述废液排放阀排除电解液废液。
[0012] 进一步地，所述真空储气缸还通过管道连接有研发用的含浸机，所述研发用的含 浸机与真空储气缸之间的管道设有阀门，所述研发用的含浸机用于生产现场的试验工作。
[0013] 进一步地，所述真空储气缸还连接有备用管道，所述备用管道上设有阀门。备用管 道能够连接额外加装在中央抽真空含浸系统的含浸机，加强生产能力，满足生产需要。
[0014] 进一步地，所述含浸机为双缸含浸机，所述双缸含浸机的两个缸体通过管道分别 独立连接所述真空储气缸，所述各个缸体与真空储气缸之间的管道分别设有阀门，扩充了 电容芯包的含浸数量，因此能够进一步提高中央抽真空含浸系统的生产能力。
[0015] 一种基于本发明中央抽真空含浸系统的控制方法，包括以下步骤： 51 :在所述真空监测器中预先设置真空值的上限值和下限值，以使所述真空储气缸的 真空值上升到所述上限值或下降到所述下限值时真空检测器能给予所述电控制箱触发信 号； 52 :关闭连接于各个含浸机的阀门，打开所述第一控制阀并启动真空机工作；因此真 空储气缸以及连接于含浸机与真空储气缸的各条管道内部的真空值能够逐渐上升。
[0016] S3 :当使所述真空储气缸的真空值上升到预设的上限值时，电控制箱控制第一控 制阀关闭并停止所述真空机工作；此时真空储气缸以及连接于含浸机与真空储气缸的各条 管道内部已经达到一定程度的负压状态，当含浸机需要对电容芯包进行含浸工作时，生产 人员只要打开连接在管道上并封闭含浸机的阀门，电解液就能够在压力差的作用下自动进 入含浸机的缸体，对预放在缸体内的电容芯包进行含浸处理，实现含浸工序的自动化。
[0017] S4 :当使所述真空储气缸的真空值下降到预设的下限值时，电控制箱控制第一控 制阀打开并启动所述真空机工作，直至真空储气缸的真空值恢复到预设的上限值，然后回 到S3步骤。因此，当含浸工序结束后，真空储气缸和各条管道的气压回升，真空值下降，当 真空储气缸内的真空值下降到一定程度时，电控制箱以真空检测器的监测值作为触发信号 并控制第一控制阀重新打开，并启动真空机进行抽真空工作，使得真空储气缸和各条连接 于各个含浸机的管道的真空值回升，然后再关闭第一控制阀和停止真空机，完成一个工作 循环。
[0018] 其中，当所述真空储气缸与真空机抽气端之间的管道上连接有接通外界的通气口 并且通气口上设有所述第二控制阀时，在步骤S2中，所述第二控制阀关闭；在步骤S3中， 电控制箱控制第一控制阀关闭并停止所述真空机工作后，所述电控制箱控制第二控制阀打 开，在步骤S4中，在电控制箱控制第一控制阀打开并启动所述真空机工作之前，所述电控 制箱先关闭所述第二控制阀。
[0019] 本发明的有益效果是： 由于各个含浸机通过管道接通所述真空储气缸，真空储气缸通过管道接通所述真空 机，所述若干个含浸机与真空储气缸之间的管道分别设有阀门，因此在真空机的抽真空作 用下并且阀门关闭时，真空储气缸和接通各个含浸机的管道均能进入负压状态，再由于所 述真空储气缸与真空机抽气端之间的管道设有第一控制阀，当真空储气缸和接通各个含浸 机的管道达到一定的真空程度时，只要关闭所述第一控制阀，就能够使得真空储气缸和接 通各个含浸机的管道均保持负压状态，在生产过程中，生产人员只要打开阀门，真空储气缸 和管道接通含浸机内的缸体，电解液就能够在压力差的作用下自动进入含浸机的缸体，对 预放在缸体内的电容芯包进行含浸处理，实现含浸工序的自动化；并且由于所述真空监测 器设置在所述真空储气缸上并能监测所述真空储气缸内的真空值大小，电控制箱能根据真 空监测器所监测到的真空储气缸内的真空值大小控制所述第一控制阀的开闭和真空机的 启停，使得中央抽真空含浸系统的自动化运作；由于各个含浸机均通过一个中央控制系统 进行抽真空处理，因此能更好地保证含浸机内的气压一致，以提高电容芯包质量的一致性。 因此，本发明一种中央抽真空含浸系统能避免了含浸机的抽真空工序过于依赖人手操作， 有效提高生产效率和批量生产的电容芯包的质量一致性。
【专利附图】
【附图说明】
[0020] 图1为本发明一种中央抽真空含浸系统实施例一的整体结构示意图。
[0021] 图2为本发明一种中央抽真空含浸系统实施例一的结构简图。
[0022] 图3为本发明一种中央抽真空含浸系统实施例二的整体结构示意图。
【具体实施方式】
[0023] 下面结合【具体实施方式】对本发明作进一步的说明。其中，附图仅用于示例性说明， 表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实 施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员 来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
[0024] 实施例一 如图1所示，一种中央抽真空含浸系统，包括中央控制系统1〇〇以及若干个含浸机200， 中央控制系统100包括真空储气缸101、真空机102、电控制箱120以及真空监测器103,电 控制箱120内设置有PLC控制模块（图中未画出），真空监测器103安装在真空储气缸101 上并能监测真空储气缸101的内部真空程度，具体监测的是真空值或气压值。各个含浸机 200分别通过管道独立连接真空储气缸101，并且各个含浸机200与真空储气缸101之间的 管道分别设有阀门201。真空储气缸101通过管道连接真空机102的抽气端，真空储气缸 101与真空机102抽气端之间的管道设有第一控制阀104。另外，电控制箱120分别通过导 线电性连接第一控制阀104、阀门201以及真空监测器103。
[0025] 当真空监测器103监测到真空储气缸101内的真空值低于一定程度时，电控制箱 120控制第一阀门104打开，并启动真空机102进行抽真空工作，使得真空储气缸101和各 条连接于各个含浸机200的管道进入负压状态。当真空储气缸101内的真空值高达一定程 度时，电控制箱120控制第一控制阀104关闭并让真空机102停止工作，使得真空储气缸 101至各个阀门201之间的内部空间能保持负压状态。在生产过程中，当含浸机200需要对 电容芯包进行含浸工作时，生产人员只要打开阀门201，电解液就能够在压力差的作用下自 动进入含浸机200的缸体（图中未画出)，对预放在缸体内的电容芯包进行含浸处理，实现含 浸工序的自动化。含浸工序结束后，真空储气缸101和各条管道的气压回升，真空值下降， 当真空储气缸101内的真空值下降到一定程度时，电控制箱120以真空检测器103的监测 值作为触发信号并控制第一阀门104重新打开，并启动真空机102进行抽真空工作，使得真 空储气缸101和各条连接于各个含浸机200的管道的真空值回升，然后再关闭第一控制阀 104和停止真空机102,完成一个工作循环。由于各个含浸机200均统一通过中央控制系统 100进行抽真空处理，因此能更好地保证含浸机200内的气压一致，以提高电容芯包质量的 一致性。因此，本发明一种中央抽真空含浸系统,避免了含浸机的抽真空工序过于依赖人手 操作，有效提高生产效率和批量生产的电容芯包的质量一致性。
[0026] 作为对本实施例的进一步补充和完善，真空储气缸101与真空机102抽气端之间 的管道上连接有接通外界的通气口 105,通气口 105上设有受电控制箱120控制的第二控 制阀106。当真空储存缸101内真空值高达一定程度时，第一控制阀104被关闭并且真空 机102停止进行抽真空工作，此时可以通过电控制箱120打开第二控制阀106,让第一控制 阀104到真空机102之间的管道不再为负压状态并且恢复常压，能够防止管道在真空状态 下真空机102的机油被反抽到管道内。同时在下一次真空机102启动时，真空机102能够 在常压下启动，对真空机起到保护的作用，若第二控制阀106不打开，真空机102则会在真 空状态下启动，会有启动困难，严重时有烧坏马达的风险。
[0027] 作为对本实施例的进一步补充和完善，真空储气缸101与真空机102抽气端之间 的管道上设有液气分离器107,能够防止电解液废液在真空机102抽真空的过程中沿管道 串入真空机102,避免废液对生产场地的污染。
[0028] 作为对本实施例的进一步补充和完善，如图2所示，真空机102上设有接通真空储 气缸101的助力泵108,能够辅助真空机102的抽真空工作，即使所有的含浸机200需要同 时工作，也能够保证中央抽真空含浸系统有足够的抽真空能力。
[0029] 作为对本实施例的进一步补充和完善，真空机102的数量为至少两个，各个真空 机102的抽气端分别通过管道连接真空储气缸101，各个真空机102的抽气端还连接有手 动阀109。当需要抽真空时，打开其中一个手动阀109,使对应的真空机102进行抽真空工 作，其余真空机通过关闭对应的手动阀109与整个系统隔断，因此，不但能够避免因一台真 空机的损坏而使得整个中央抽真空含系统失去运作能力，而且能够各台让真空机102交替 工作，延长真空机的使用寿命。又或者可以让所有的真空机102同时启动，能在短时间内使 真空储气缸103和各条管道达到需要的真空程度，满足生产需要。
[0030] 作为对本实施例的进一步补充和完善，真空储气缸101的底部连接有废液排放阀 110。当真空储气缸101内的电解液废液达到一定量时，可以通过打开废液排放阀110排除 电解液废液。
[0031] 作为对本实施例的进一步补充和完善，真空储气缸101还通过管道连接有研发用 的含浸机202,所述研发用的含浸机与真空储气缸之间的管道同样设有阀门201，所述研发 用的含浸机202用于生产现场的试验工作。
[0032] 作为对本实施例的进一步补充和完善，真空储气缸101还连接有备用管道300,备 用管道300上同样设有阀门。备用管道300能够连接额外加装在中央抽真空含浸系统的含 浸机，加强生产能力，满足生产需要。
[0033] 作为对本实施例的进一步补充和完善，含浸机200为双缸含浸机，双缸含浸机的 两个缸体（图中未画出）通过管道分别独立连接真空储气缸101，各个缸体与真空储气缸之 间的管道同样需要分别设置阀门201，扩充了含浸机对电容芯包的含浸数量，因此能够进一 步提高中央抽真空含浸系统的生产能力。
[0034] 实施例二 本实施例与实施例一类似，其不同之处在于，如图3所示，所述真空储气缸101外接一 条直径较大的中央管道400,各个含浸机200再分别通过直径较小的管道401分别连接中 央管道400,各个阀门201分别设置在各条管道401上。另外，通气口 105设置在液气分离 器107的排气口上，第二控制阀106安装在液气分离器107的排气口。本实施例未提及的 部分与实施例一相同，此处不再赘述。
[0035] -种基于本发明中央抽真空含浸系统的控制方法，包括以下步骤： 51 :在真空监测器103中预先设置真空值的上限值和下限值，以使真空储气缸101的真 空值上升到所述上限值或下降到所述下限值时真空检测器103能给予电控制箱120触发信 号； 52 :关闭连接于各个含浸机的阀门201，打开第一控制阀104并启动真空机102工作； 因此真空储气缸101以及连接于含浸机200与真空储气缸101的各条管道内部的真空值能 够逐渐上升； 53 :当使真空储气缸101的真空值上升到预设的上限值时，电控制箱120控制第一控制 阀104关闭并停止所述真空机工作；此时真空储气缸101以及连接于含浸机200与真空储 气缸101的各条管道内部已经达到一定程度的负压状态，当含浸机200需要对电容芯包进 行含浸工作时，生产人员只要打开连接在管道上并封闭含浸机200的阀门201，电解液就能 够在压力差的作用下自动进入含浸机200的缸体（图中未画出），对预放在缸体内的电容芯 包进行含浸处理，实现含浸工序的自动化； 54 :当使真空储气缸101的真空值下降到预设的下限值时，电控制箱120控制第一控制 阀104打开并启动真空机102工作，直至真空储气缸101的真空值恢复到预设的上限值，然 后回到S3步骤。因此，当含浸工序结束后，真空储气缸101和各条管道的气压回升，真空值 下降，当真空储气缸101内的真空值下降到一定程度时，电控制箱120以真空检测器103的 监测值作为触发信号并控制第一控制阀104重新打开，并启动真空机进行抽真空工作，使 得真空储气缸101和各条连接于各个含浸机200的管道的真空值回升，然后再关闭第一控 制阀104和停止真空机102,完成一个工作循环。
[0036] 其中，当真空储气缸101与真空机102抽气端之间的管道上连接有接通外界的通 气口并且通气口上设有第二控制阀106时，在步骤S2中，第二控制阀106处于关闭状态； 在步骤S3中，电控制箱120控制第一控制阀104关闭并停止真空机102工作，电控制 箱120延时1S后再打开第二控制阀106,目的是避免外界气体瞬间从第二控制阀106冲入 至真空储气缸101而对管道和各部件造成的损坏，因此在第二控制阀106打开前，应确保先 把第一控制阀104关闭，让处于负压状态的真空储气缸101与外界隔绝；在步骤S4中，电控 制箱120关闭第二控制阀106,电控制箱120延时1S后再打开第一控制阀104并启动真空 机102工作，目的是避免外界气体瞬间从第二控制阀106冲入至真空储气缸101而对管道 和各部件造成的损坏，因此在第一控制阀104打开前，应确保先把第二控制阀106关闭，让 仍然处于一定负压状态的真空储气缸101与外界隔绝。
[〇〇37] 显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对 本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可 以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本 发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求 的保护范围之内。
【权利要求】
1. 一种中央抽真空含浸系统，其特征在于，包括中央控制系统以及若干个含浸机，所述 中央控制系统包括真空储气缸、至少一个真空机、电控制箱、真空监测器，所述真空监测器 设置在所述真空储气缸上并能监测真空储气缸的气压，所述若干个含浸机通过管道分别单 独接通所述真空储气缸，所述若干个含浸机与真空储气缸之间的管道分别设有阀门，所述 真空机的抽气端通过管道连接所述真空储气缸，所述真空储气缸与真空机抽气端之间的管 道设有第一控制阀，所述电控制箱分别电性连接所述第一控制阀、阀门以及真空监测器。
2. 根据权利要求1所述的中央抽真空含浸系统，其特征在于，所述真空储气缸与真空 机抽气端之间的管道上连接有接通外界的通气口，所述通气口上设有能受所述电控制箱控 制的第二控制阀。
3. 根据权利要求1所述的中央抽真空含浸系统，其特征在于，所述真空储气缸与真空 机抽气端之间的管道上设有液气分离器。
4. 根据权利要求1所述的中央抽真空含浸系统，其特征在于，所述真空机上设有接通 所述真空储气缸的助力泵。
5. 根据权利要求1所述的中央抽真空含浸系统，其特征在于，所述真空机的数量为至 少两个，各个真空机的抽气端分别通过管道连接所述真空储气缸，各个真空机的抽气端还 连接有手动阀。
6. 根据权利要求1所述的中央抽真空含浸系统，其特征在于，真空储气缸的底部设有 废液排放阀。
7. 根据权利要求1所述的中央抽真空含浸系统，其特征在于，所述真空储气缸还通过 管道连接有研发用的含浸机，所述研发用的含浸机与真空储气缸之间的管道设有阀门。
8. 根据权利要求1所述的中央抽真空含浸系统，其特征在于，所述真空储气缸还连接 有备用管道，所述备用管道上设有阀门。
9. 根据权利要求1所述的中央抽真空含浸系统，其特征在于，所述含浸机为双缸含浸 机，所述双缸含浸机的两个缸体通过管道分别独立连接所述真空储气缸，所述各个缸体与 真空储气缸之间的管道分别设有阀门。
10. -种基于权利要求]Λ9的中央抽真空含浸系统的控制方法，其特征在于，包括以下 步骤： 51 :在所述真空监测器中预先设置真空值的上限值和下限值，以使所述真空储气缸的 真空值上升到所述上限值或下降到所述下限值时真空检测器能给予所述电控制箱触发信 号； 52 :关闭连接于各个含浸机的阀门，打开所述第一控制阀并启动真空机工作； 53 :当使所述真空储气缸的真空值上升到预设的上限值时，电控制箱控制第一控制阀 关闭并停止所述真空机工作； 54 :当使所述真空储气缸的真空值下降到预设的下限值时，电控制箱控制第一控制阀 打开并启动所述真空机工作，直至真空储气缸的真空值恢复到预设的上限值，然后回到S3 步骤； 其中，当所述真空储气缸与真空机抽气端之间的管道上连接有所述接通外界的通气口 并且通气口上设有所述第二控制阀时，在步骤S2中，所述第二控制阀关闭，在步骤S3中， 电控制箱控制第一控制阀关闭并停止所述真空机工作后，所述电控制箱控制第二控制阀打 开，在步骤S4中，在电控制箱控制第一控制阀打开并启动所述真空机工作之前，所述电控 制箱先关闭所述第二控制阀。
【文档编号】H01G9/00GK104091696SQ201410328661
【公开日】2014年10月8日 申请日期:2014年7月10日 优先权日:2014年7月10日
【发明者】罗伟, 刘泳澎, 伍松, 廖琼 申请人:肇庆绿宝石电子有限公司