摆动系统和刻蚀装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及显示【技术领域】，公开了一种摆动系统和刻蚀装置，该摆动系统包括驱动装置、转动板和转轴，所述驱动装置的输出轴与转动板连接，所述转轴的一端通过一连接件与所述转动板的两侧铰接。本实用新型的转轴与转动板的两侧相铰接，受力均衡，不会出现受力向一个方向偏离的问题，使得转动板的受力方向与转轴的摆动方向在一个平面上，因此，有效地避免了转动板和转轴之间由于受力方向的问题造成脱扣的可能性，从而确保了湿法刻蚀工艺步骤的正常进行。
【专利说明】摆动系统和刻蚀装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及显示【技术领域】，特别是涉及一种适用于刻蚀工艺的摆动系统和刻蚀装置。
【背景技术】
[0002]Oscillation(摆动系统)是刻蚀设备重要的组成部分，现有的湿法刻蚀工艺用摆动系统如图1所示，驱动电机的输出轴I与转动板2连接,通过驱动电机带动转动板旋转360°，通过固定轴承，转动板2又带动转轴3进行360°摆动，转轴3带动喷淋管6以30°摆动，保证喷嘴将刻蚀液均匀地喷淋到玻璃表面，以保证刻蚀的均一性。
[0003]由于现有的摆动系统的转动板的一侧通过轴承与转轴的一端连接，转动板的受力方向与转轴的转动方向不一致，受力偏向于转轴的摆动方向，长此以往，固定转动板的螺丝会松动脱扣，造成摆动异常，甚至影响湿法刻蚀工艺。
实用新型内容
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]本实用新型要解决的技术问题是如何避免刻蚀工艺中的摆动系统的转动板和转轴脱扣。
[0006](二)技术方案
[0007]为了解决上述技术问题，本实用新型提供的一种摆动系统，其包括驱动装置、转动板和转轴，所述驱动装置的输出轴与转动板连接，所述转轴的一端通过一连接件与所述转动板的两侧铰接。
[0008]进一步地，所述连接件包括连杆和叉头，所述叉头内侧与所述转动板的两侧可转动连接，所述连杆的一端与叉头的外侧端部连接，其另一端与所述转轴连接。
[0009]进一步地，所述叉头内侧与所述转动板的两侧分别通过轴承连接。
[0010]进一步地，所述转轴包括第一螺杆以及通过螺帽与所述第一螺杆连接的第二螺杆，所述第一螺杆的另一端与所述连杆连接。
[0011]进一步地，所述摆动系统还包括外壳，所述转动板和转轴均位于所述外壳内部。
[0012]进一步地，所述驱动装置为驱动电机。
[0013]本实用新型还提供一种刻蚀装置，其包括上述的摆动系统，所述转轴的另一端通过连接板与喷淋管连接。
[0014](三)有益效果
[0015]上述技术方案所提供的一种摆动系统和刻蚀装置，转轴与转动板的两侧相铰接，受力均衡，不会出现受力向一个方向偏离的问题，使得转动板的受力方向与转轴的摆动方向在一个平面上，因此，有效地避免了转动板和转轴之间由于受力方向的问题造成脱扣的可能性，从而确保了湿法刻蚀工艺步骤的正常进行。【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1是现有技术摆动系统的结构示意图；
[0017]图2是本实用新型摆动系统的结构示意图。
[0018]其中，1、驱动装置的输出轴；2、转动板；3、转轴；31、第一螺杆；32、螺帽；33、第二螺杆；4、连接件；41、连杆；42、叉头；5、连接板；6、喷淋管；7、外壳。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0020]如图2所示，本实用新型的一种摆动系统，其包括驱动装置、转动板2和转轴3，驱动装置的输出轴I与转动板2连接，转轴3的一端通过一连接件4与转动板2的两侧铰接。本实用新型的转轴与转动板的两侧相铰接，受力均衡，不会出现受力向一个方向偏离的问题，使得转动板的受力方向与转轴的摆动方向在一个平面上，因此，有效地避免了转动板和转轴之间由于受力方向的问题造成脱扣的可能性，从而确保了湿法刻蚀的正常工艺。驱动装置可为驱动电机等动力装置。
[0021]本实施例中的连接件4包括连杆41和叉头42，叉头42内侧与转动板2的两侧可转动连接，优选地，可通过轴承连接，连杆41的一端与叉头的外侧端部连接，其另一端与转轴3连接。优选地，本实用新型优选实施例的转轴3包括第一螺杆31以及通过螺帽32与第一螺杆31连接的第二螺杆33，第一螺杆31的另一端与叉头42的外侧端部连接。采用多节螺杆连接，可在各螺杆上设置传感器，以监测螺帽、连接件是否脱落。
[0022]为了保护各部件不受外界环境影响以及为了方便搬运，本实用新型的摆动系统还包括外壳7，其中，转动板2和转轴3均位于外壳7的内部。
[0023]本实用新型的一种刻蚀装置，其包括上述技术方案的摆动系统，转轴3的另一端通过连接板5与喷淋管6连接。具体地，第二螺杆33的另一端通过连接板5与喷淋管6连接。
[0024]上述技术方案所提供的摆动系统和刻蚀装置，其具体工作过程为:在进行湿法刻蚀时，开启驱动装置，驱动装置驱动转动板2如图2所示的前后方向转动,转动2的转动过程中，带动与其铰接的转轴3前后方向摆动，在转轴3的摆动过程中带动与其通过连接板5连接的喷淋管6摆动，由此，保证喷嘴将刻蚀液均匀地喷淋到玻璃表面，可保证刻蚀的均一性，且转轴与转动板的两侧相铰接，受力均衡，不会出现受力向一个方向偏离的问题。
[0025]综上，本实用新型的摆动系统和刻蚀装置，其摆动方式使得转动板的受力方向与转轴的摆动方向在一个平面上，因此，有效地避免了转动板和转轴之间由于受力方向的问题造成脱扣的可能性，从而确保了湿法刻蚀工艺步骤的正常进行。
[0026]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种摆动系统，其特征在于，包括驱动装置、转动板和转轴，所述驱动装置的输出轴与转动板连接，所述转轴的一端通过一连接件与所述转动板的两侧铰接。
2.如权利要求1所述的摆动系统，其特征在于，所述连接件包括连杆和叉头，所述叉头内侧与所述转动板的两侧可转动连接，所述连杆的一端与叉头的外侧端部连接，其另一端与所述转轴连接。
3.如权利要求2所述的摆动系统，其特征在于，所述叉头内侧与所述转动板的两侧分别通过轴承连接。
4.如权利要求2所述的摆动系统，其特征在于，所述转轴包括第一螺杆以及通过螺帽与所述第一螺杆连接的第二螺杆，所述第一螺杆的另一端与所述连杆连接。
5.如权利要求1所述的摆动系统，其特征在于，所述摆动系统还包括外壳，所述转动板和转轴均位于所述外壳内部。
6.如权利要求1所述的摆动系统，其特征在于，所述驱动装置为驱动电机。
7.一种刻蚀装置，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的摆动系统，所述转轴的另一端通过连接板与喷淋管连接。
【文档编号】H01L21/00GK203715725SQ201420105996
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2014年3月10日 优先权日:2014年3月10日
【发明者】王其辉, 于凯, 李伟, 宋泳珍, 白忠飞, 董志学, 郑云亮, 寇克瑜, 孙鹏, 陈程 申请人:北京京东方显示技术有限公司, 京东方科技集团股份有限公司