压力烘烤设备的制作方法
【专利摘要】一种压力烘烤设备，包含一烤箱、一承载箱、一连接装置、一气体循环装置、一气密件及一压力控制装置，烤箱形成一烘烤腔室，承载箱形成一承载腔室，连接装置形成有一连通于烘烤腔室与承载腔室之间的通孔，气体循环装置包括一设置于烘烤腔室内的风扇、一设置于承载腔室内的驱动马达及一穿设于通孔内的传动轴，气密件套设于传动轴上用以阻断通孔，以防止烘烤腔室经由通孔与承载腔室相连通，压力控制装置包括一操控模块、一用以控制烘烤腔室内的压力的第一压力控制模块，及一用以控制承载腔室内的压力的第二压力控制模块，以独立地控制烘烤腔室内及承载腔室内的压力让两者压力处于微压力差，进而提升气密件的使用寿命。
【专利说明】压力烘烤设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种烘烤设备，特别是涉及一种借由气体循环装置的风扇驱使烘烤腔室内的气体流动的压力烘烤设备。
【背景技术】
[0002]参阅图1，中国台湾专利第M332262号专利案公开了一种半导体封装加工之除泡烤箱装置，其包括一腔体11、一驱动马达承置腔室12，及一结合于腔体11与驱动马达承置腔室12之间的连通腔道13。腔体11形成一容置空间111用以供一风扇14设置。驱动马达承置腔室12形成一容置空间121用以供一驱动马达15设置，驱动马达15外部绕设有一铜管16，铜管16可连结一水供应源以冷却驱动马达15的温度。连通腔道13形成一容置空间131，容置空间131连通于腔体11的容置空间111与驱动马达承置腔室12的容置空间121之间，一传动轴17穿设于容置空间131内且两端分别连接于风扇14及驱动马达15，借此，驱动马达15可通过传动轴17带动风扇14旋转，使腔体11的容置空间111内的气体流动。
[0003]由于连通腔道13的容置空间131连通于容置空间111与容置空间121之间，因此，驱动马达15运转时所产生的粉尘易经由连通腔道13流通至容置空间111内，进而导致腔体11的容置空间111内的洁净度降低。再者，由于铜管16内所流动的水会持续地将驱动马达15所产生的热能带走，因此，腔体11的容置空间111内的热能会经由连通腔道13的容置空间131朝驱动马达承置腔室12的容置空间121方向流动及扩散，进而导致腔体11的容置空间111内的热能损失。
【发明内容】
[0004]本实用新型的一目的，在于提供一种压力烘烤设备，借由气密件阻断连接装置的通孔以防止烘烤腔室与承载腔室相连通，能防止承载腔室内的驱动马达运转时所产生的粉尘流通至烘烤腔室内，以保持烘烤腔室内的洁净度。
[0005]本实用新型的另一目的，在于提供一种压力烘烤设备，借由气密件阻断连接装置的通孔以防止烘烤腔室与承载腔室相连通，能防止烘烤腔室内的高热气体直接经由通孔流通至承载腔室内，以降低烘烤腔室内的热能损失。
[0006]本实用新型的又一目的，在于提供一种压力烘烤设备，借由压力控制装置可分别独立地控制烘烤腔室内的压力以及承载腔室内的压力，使得气密件能处在微压力差的工作环境下，借此，能提升气密件的使用寿命。
[0007]本实用新型的目的及解决【背景技术】问题是采用以下技术方案来实现的，依据本实用新型提出的压力烘烤设备，包含一烤箱、一承载箱、一连接装置、一气体循环装置，及一压力控制装置，该烤箱形成一烘烤腔室，该承载箱形成一承载腔室，该连接装置连接于该烤箱与该承载箱之间，该连接装置形成有一连通于该烘烤腔室与该承载腔室之间的通孔，该气体循环装置包括一设置于该烘烤腔室内的风扇、一设置于该承载腔室内的驱动马达，及一穿设于该通孔内的传动轴，该传动轴的两相反端分别连接于该风扇与该驱动马达，该驱动马达可通过该传动轴带动该风扇旋转，该压力控制装置包括一操控模块，及一设置于该操控模块与该烤箱之间用以控制该烘烤腔室内的压力的第一压力控制模块。
[0008]该压力烘烤设备还包含一气密件，该气密件套设于该传动轴上用以阻断该通孔，以防止该烘烤腔室经由该通孔与该承载腔室相连通，该压力控制装置还包括一设置于该操控模块与该承载箱之间用以控制该承载腔室内的压力的第二压力控制模块。
[0009]该连接装置的通孔包括一连通于该烘烤腔室的小孔径部，及一连通于该承载腔室的大孔径部，该大孔径部的孔径大于该小孔径部的孔径，该连接装置包括一位于该小孔径部与该大孔径部之间的肩部，该气密件为一设置于该大孔径部内并抵靠于该肩部与该驱动马达之间的轴封。
[0010]该驱动马达包含一与该传动轴连接的马达本体，及多片环设于该马达本体外表面且彼此相间隔的散热片。
[0011]该承载箱包括一端壁、一形成于该端壁外周缘的围绕壁，及一设置于该围绕壁外壁面的导流件，该端壁与该围绕壁共同界定出该承载腔室，该围绕壁与该导流件共同界定一用以供液体流通的流道。
[0012]该导流件具有一与该围绕壁外壁面相间隔的环形壁，及两个分别形成于该环形壁相反端并且连接于该围绕壁外壁面的连接端壁，该环形壁相反侧分别形成一与该流道相连通的入液口，及一与该流道相连通的排液口。
[0013]该烤箱包括一弧形端壁，该连接装置还包括一接合块，一连接板，及一接合管，该接合块具有一焊接于该弧形端壁并与该弧形端壁形状相配合的弧形连接面，及一相反于该弧形连接面的直立端面，该连接板焊接于该直立端面上，该接合管具有一锁固于该连接板的第一环部，及一锁固于该承载箱的第二环部，该接合块、该连接板及该接合管共同界定出该小孔径部，该接合管界定出该大孔径部与该肩部。
[0014]该第一压力控制模块包含一设置于该烤箱的第一进气组件、一设置于该第一进气组件的第一进气阀、一设置于该烤箱的第一排气组件、一设置于该第一排气组件的第一排气阀、一设置于该烘烤腔室内用以感测该烘烤腔室内压力的第一压力感测元件，及一连接于该操控模块与该第一压力感测元件之间的第一压力控制器，该第一压力控制器用以控制该第一进气阀的启闭以及该第一排气阀的启闭，该第二压力控制模块包含一设置于该承载箱的第二进气组件、一设置于该第二进气组件的第二进气阀、一设置于该承载箱的第二排气组件、一设置于该第二排气组件的第二排气阀、一设置于该承载腔室内用以感测该承载腔室内压力的第二压力感测元件，及一连接于该操控模块与该第二压力感测元件之间的第二压力控制器，该第二压力控制器用以控制该第二进气阀的启闭以及该第二排气阀的启闭。
[0015]本实用新型的有益效果在于:借由气密件阻断连接装置的通孔，以防止烘烤腔室与承载腔室相连通，借此，能防止承载腔室内之驱动马达运转时所产生的粉尘经由通孔流通至烘烤腔室内，以保持烘烤腔室内的洁净度，还能防止烘烤腔室内的高热气体直接经由通孔流通至承载腔室内，以降低烘烤腔室内的热能损失。此外，借由压力控制装置的第一压力控制模块及第二压力控制模块可分别独立地控制烘烤腔室内的压力以及承载腔室内的压力，使得气密件能处在微压力差的工作环境下，以提升气密件的使用寿命。【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1是中国台湾专利第M332262号专利案的剖视图；
[0017]图2是本实用新型压力烘烤设备的一较佳实施例的示意图，说明烤箱、承载箱、连接装置、气体循环装置、气密件及压力控制装置之间的连接关系；
[0018]图3是本实用新型压力烘烤设备的一较佳实施例的剖视局部放大图，说明气密件套设于传动轴并阻断通孔，以防止烘烤腔室经由通孔与承载腔室相连通 '及
[0019]图4是本实用新型压力烘烤设备的一较佳实施例的俯视局部放大分解图，说明烤箱、承载箱、连接装置及气体循环装置之间的连接关系。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。
[0021]在本实用新型被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表不。
[0022]参阅图2，是本实用新型压力烘烤设备的一较佳实施例，该压力烘烤设备200应用于半导体芯片的封装制程中，主要用以去除芯片(图未示)与载板(图未示)间的黏着材料所产生的气泡。
[0023]参阅图2及图3，压力烘烤设备200包含一烤箱2、一承载箱3、一连接装置4、一气体循环装置5、一气密件6，及一压力控制装置7。烤箱2包括一箱体21，及一设置于箱体21一侧的箱门22，箱体21与箱门22共同形成一烘烤腔室23，烘烤腔室23用以供芯片及载板容置。烘烤腔室23内设置有一加热器(图未示)，借由加热器的加热，使得烘烤腔室23内能保持一预设的温度。承载箱3包括一端壁31，及一形成于端壁31外周缘的围绕壁32，端壁31与围绕壁32共同形成一承载腔室33。连接装置4连接于烤箱2的箱体21与承载箱3的围绕壁32之间，连接装置4形成有一连通于烘烤腔室23与承载腔室33之间的通孔41。
[0024]气体循环装置5包括一设置于烘烤腔室23内的风扇51、一设置于承载腔室33内的驱动马达52，及一穿设于通孔41内的传动轴53。传动轴53的两相反端分别连接于风扇51与驱动马达52，驱动马达52可通过传动轴53带动风扇51旋转，使烘烤腔室23内的高热气体循环流动。气密件6套设于传动轴53上用以阻断连接装置4的通孔41，以防止烘烤腔室23经由通孔41与承载腔室33相连通，借此，能防止承载腔室33内的驱动马达52运转时所产生的粉尘经由通孔41流通至烘烤腔室23内，以保持烘烤腔室23内的洁净度。再者，还能防止烘烤腔室23内的高热气体直接经由通孔41流通至承载腔室33内，以降低烘烤腔室23内的热能损失。
[0025]压力控制装置7包括一操控模块71、一设置于操控模块71与烤箱2间用以控制烘烤腔室23内的压力的第一压力控制模块72，及一设置于操控模块71与承载箱3间用以控制承载腔室33内的压力的第二压力控制模块73。借由压力控制装置7的第一压力控制模块72及第二压力控制模块73可分别独立地控制烘烤腔室23内的压力以及承载腔室33内的压力，操作人员可将承载腔室33内的压力调整成略小于或略大于烘烤腔室23内的压力，使得气密件6能处在微压力差的工作环境下。借此，可避免气密件6处在高压力差的工作环境下而导致受损或损坏的情形，以提升气密件6的使用寿命。[0026]以下将针对压力烘烤设备200的具体构造与操作方式进行详细说明:
[0027]参阅图2、图3及图4，烤箱2的箱体21具有一相反于箱门22 —侧的弧形端壁211，弧形端壁211是呈外凸弧形状。连接装置4包括一接合块42、一连接板43，及一接合管44。接合块42具有一呈内凹弧形状并可与弧形端壁211相配合的弧形连接面421，及一相反于弧形连接面421的直立端面422，弧形连接面421通过例如为焊接的方式固定于弧形端壁211上。连接板43通过例如为焊接的方式固定于接合块42的直立端面422上，用以供接合管44组装。接合管44具有一管部441、一形成于管部441 一端的第一环部442，及一形成于管部441另一端的第二环部443，第一环部442通过例如螺丝螺锁的方式锁固于连接板43上，而第二环部443通过例如螺丝螺锁的方式锁固于承载箱3的围绕壁32上。
[0028]借由接合块42以弧形连接面421焊接于弧形端壁211的连接方式，能增加接合块
42与弧形端壁211间的接触面积，使得接合块42能稳固地定位于弧形端壁211上。此外，借由接合块42的直立端面422设计，使得连接板43能平整地贴附并且稳固地定位于直立端面422上，以防止连接板43及组装于连接板43上的接合管44相对于接合块42产生晃动的情形，借此，使得连接装置4能稳固地将承载箱3连接固定于烤箱2的箱体21上。
[0029]连接装置4的接合块42、连接板43及接合管44共同界定出通孔41的一连通于烘烤腔室23的小孔径部411，接合管44界定出通孔41的一连通于承载腔室33的大孔径部412，大孔径部412的孔径大于小孔径部411的孔径。接合管44还界定出一位于小孔径部411与大孔径部412间的肩部444，气密件6为一设置于大孔径部412内并且抵靠于肩部444与驱动马达52间的轴封。借由通孔41的大孔径部412的设计，提供了气密件6容置的空间，使得气密件6能阻断通孔41的小孔径部411与承载腔室33相连通，借此，除了能防止驱动马达52运转时所产生的粉尘经由通孔41流通至烘烤腔室23内以外，还能防止烘烤腔室23内的高热气体直接经由通孔41流通至承载腔室33内，以降低烘烤腔室23内的热能损失。
[0030]驱动马达52包含一与传动轴53连接的马达本体521，及多片环设于马达本体521外表面且彼此相间隔的散热片522，借此，驱动马达52的马达本体521运转时所产生的热能能借由散热片522进行散热，使热能传导至承载箱3上，借由承载箱3外部空气的冷却，使得承载箱3能达到降温的效果。
[0031 ] 较佳地，在本实施例中，承载箱3还包括一设置于围绕壁32外壁面的导流件34，导流件34具有一与围绕壁32外壁面相间隔的环形壁341，及两个分别形成于环形壁341相反端的连接端壁342，各连接端壁342通过例如焊接方式固定于围绕壁32外壁面。围绕壁32、环形壁341以及两连接端壁342共同界定出一用以供液体流通的流道343，环形壁341相反侧分别形成有一与流道343相连通的入液口 344，及一与流道343相连通的排液口 345。液体供应源(图未示)可将例如为水的液体经由入液口 341输送至流道343内，液体流经流道343时会吸收驱动马达52运转时借由散热片522所传导至围绕壁32上的热能，随后再经由排液口 345排放至外部，以对承载箱3进行散热，借此，能有效地提升承载箱3的散热效果。需说明的是，借由导流件34的环形壁341及两连接端壁342围绕在围绕壁32外壁面的设计方式，使得流道343内能供液体流动的空间较大，能增加液体与围绕壁32的接触区域，以提升散热的效能。
[0032]参阅图2，第一压力控制模块72包含一设置于烤箱2的第一进气组件720、一设置于第一进气组件720的第一进气阀721、一设置于烤箱2的第一排气组件722、一设置于第一排气组件722的第一排气阀723、一设置于烘烤腔室23内用以感测烘烤腔室23内压力的第一压力感测元件724，及一连接于操控模块71与第一压力感测元件724之间的第一压力控制器725，第一压力控制器725用以控制第一进气阀721的启闭以及第一排气阀723的启闭。
[0033]具体而言，本实施例的第一进气组件720具有一第一供气元件726，及一连接于烤箱2的箱体21与第一供气元件726间的第一进气管727，第一进气阀721设置于第一进气管727上。第一排气组件722具有一第一抽气元件728，及一连接于烤箱2的箱体21与第一抽气元件728之间的第一排气管729，第一排气阀723设置于第一排气管729上。操作人员可通过操控模块71设定第一压力控制器725的预设压力，第一压力感测元件724感测烘烤腔室23内的压力时会产生一对应的感测讯号，第一压力感测元件724会将感测讯号传输至第一压力控制器725，第一压力控制器725会依据感测讯号判断烘烤腔室23内的压力状况，并且依烘烤腔室23内的压力状况而分别控制第一进气阀721的启闭以及第一排气阀723的启闭，借此，使烘烤腔室23内的压力能维持在预设压力值。
[0034]第二压力控制模块73包含一设置于承载箱3的第二进气组件730、一设置于第二进气组件730的第二进气阀731、一设置于承载箱3的第二排气组件732、一设置于第二排气组件732的第二排气阀733、一设置于承载腔室33内用以感测承载腔室33内压力的第二压力感测元件734，及一连接于操控模块71与第二压力感测元件734之间的第二压力控制器735，第二压力控制器735用以控制第二进气阀731的启闭以及第二排气阀733的启闭。
[0035]具体而言，本实施例的第二进气组件730具有一第二供气元件736，及一连接于承载箱3与第二供气元件736之间的第二进气管737，第二进气阀731设置于第二进气管737上。第二排气组件732具有一第二抽气元件738，及一连接于承载箱3与第二抽气元件738之间的第二排气管739，第二排气阀733设置于第二排气管739上。操作人员可通过操控模块71设定第二压力控制器735的预设压力，第二压力感测元件734感测承载腔室33内的压力时会产生一对应的感测讯号，第二压力感测元件734会将感测讯号传输至第二压力控制器735，第二压力控制器735会依据感测讯号判断承载腔室33内的压力状况，并且依承载腔室33内的压力值而分别控制第二进气阀731的启闭以及第二排气阀733的启闭，借此，使承载腔室33内的压力能维持在预设压力值。
[0036]在本实施例中，承载腔室33内的预设压力值是设定成略小于或略大于烘烤腔室23内的预设压力值，借此，使得气密件6能处在微压力差的工作环境下，避免气密件6处在高压力差的工作环境下而导致受损或损坏的情形，能有效地提升气密件6的使用寿命。
[0037]归纳上述，本实施例的压力烘烤设备200，借由气密件6阻断连接装置4的通孔41，以防止烘烤腔室23经由通孔41与承载腔室33相连通，借此，能防止承载腔室33内之驱动马达52运转时所产生的粉尘经由通孔41流通至烘烤腔室23内，以保持烘烤腔室23内的洁净度，还能防止烘烤腔室23内的高热气体直接经由通孔41流通至承载腔室33内，以降低烘烤腔室23内的热能损失。此外，借由压力控制装置7的第一压力控制模块72及第二压力控制模块73可分别独立地控制烘烤腔室23内的压力以及承载腔室33内的压力，使得气密件6能处在微压力差的工作环境下，以提升气密件6的使用寿命，确实能达到本实用新型所诉求的目的。
【权利要求】
1.一种压力烘烤设备，包含一烤箱、一承载箱、一连接装置、一气体循环装置，及一压力控制装置，该烤箱形成一烘烤腔室，该承载箱形成一承载腔室，该连接装置连接于该烤箱与该承载箱之间，该连接装置形成有一连通于该烘烤腔室与该承载腔室之间的通孔，该气体循环装置包括一设置于该烘烤腔室内的风扇、一设置于该承载腔室内的驱动马达，及一穿设于该通孔内的传动轴，该传动轴的两相反端分别连接于该风扇与该驱动马达，该驱动马达可通过该传动轴带动该风扇旋转，该压力控制装置包括一操控模块，及一设置于该操控模块与该烤箱之间用以控制该烘烤腔室内的压力的第一压力控制模块；其特征在于: 该压力烘烤设备还包含一气密件，该气密件套设于该传动轴上用以阻断该通孔，以防止该烘烤腔室经由该通孔与该承载腔室相连通，该压力控制装置还包括一设置于该操控模块与该承载箱之间用以控制该承载腔室内的压力的第二压力控制模块。
2.根据权利要求1所述的压力烘烤设备，其特征在于:该连接装置的通孔包括一连通于该烘烤腔室的小孔径部，及一连通于该承载腔室的大孔径部，该大孔径部的孔径大于该小孔径部的孔径，该连接装置包括一位于该小孔径部与该大孔径部之间的肩部，该气密件为一设置于该大孔径部内并抵靠于该肩部与该驱动马达之间的轴封。
3.根据权利要求2所述的压力烘烤设备，其特征在于:该驱动马达包含一与该传动轴连接的马达本体，及多片环设于该马达本体外表面且彼此相间隔的散热片。
4.根据权利要求3所述的压力烘烤设备，其特征在于:该承载箱包括一端壁、一形成于该端壁外周缘的围绕壁，及一设置于该围绕壁外壁面的导流件，该端壁与该围绕壁共同界定出该承载腔室，该围绕壁与该导流件共同界定一用以供液体流通的流道。
5.根据权利要求4所述的压力烘烤设备，其特征在于:该导流件具有一与该围绕壁外壁面相间隔的环形壁，及两个分别形成于该环形壁相反端并且连接于该围绕壁外壁面的连接端壁，该环形壁相反侧分别形成一与该流道相连通的入液口，及一与该流道相连通的排液口。
6.根据权利要求2所述的压力烘烤设备，其特征在于:该承载箱包括一端壁、一形成于该端壁外周缘的围绕壁，及一设置于该围绕壁外壁面的导流件，该端壁与该围绕壁共同界定出该承载腔室，该围绕壁与该导流件共同界定一用以供液体流通的流道。
7.根据权利要求2所述的压力烘烤设备，其特征在于:该烤箱包括一弧形端壁，该连接装置还包括一接合块，一连接板，及一接合管，该接合块具有一焊接于该弧形端壁并与该弧形端壁形状相配合的弧形连接面，及一相反于该弧形连接面的直立端面，该连接板焊接于该直立端面上，该接合管具有一锁固于该连接板的第一环部，及一锁固于该承载箱的第二环部，该接合块、该连接板及该接合管共同界定出该小孔径部，该接合管界定出该大孔径部与该肩部。
8.根据权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的压力烘烤设备，其特征在于:该第一压力控制模块包含一设置于该烤箱的第一进气组件、一设置于该第一进气组件的第一进气阀、一设置于该烤箱的第一排气组件、一设置于该第一排气组件的第一排气阀、一设置于该烘烤腔室内用以感测该烘烤腔室内压力的第一压力感测元件，及一连接于该操控模块与该第一压力感测元件之间的第一压力控制器，该第一压力控制器用以控制该第一进气阀的启闭以及该第一排气阀的启闭，该第二压力控制模块包含一设置于该承载箱的第二进气组件、一设置于该第二进气组件的第二进气阀、一设置于该承载箱的第二排气组件、一设置于该第二排气组件的第二排气阀、一设置于该承载腔室内用以感测该承载腔室内压力的第二压力感测元件，及一连接于该操控模块与该第二压力感测元件之间的第二压力控制器，该第二压力控制器用以控制该第二进气阀的启闭以及该第二排气阀的启闭。
【文档编号】H01L21/67GK203787394SQ201420159700
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年4月3日 优先权日:2014年4月3日
【发明者】赖智忠 申请人:志圣工业股份有限公司