一种新型真空吸笔的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种新型真空吸笔。包括吸头（3），在该吸头（3）上设有吸孔（4），其特点是：在该吸头（3）上的吸孔（4）处覆盖有海绵双面胶（2），在该海绵双面胶（2）上覆盖有高温布（1），并且在该吸孔（4）处的海绵双面胶（2）和高温布（1）上均开有通孔，从而完全露出吸孔（4）。本实用新型的有益效果是：1、保护镀膜前硅片绒面完整，外观无损伤，无划痕和吸笔印；2、保护镀膜后硅片氮化硅膜完整致密，外观无损伤，无划痕和吸笔印；3、降低操作过程中的崩点、崩边、缺角及碎片率；4、无需更换真空吸笔，对石墨舟也有一定保护作用，节约生产成本；5、适用于各类尺寸的吸笔。
【专利说明】一种新型真空吸笔
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种新型真空吸笔。
【背景技术】
[0002] 太阳能光伏电池是一种将太阳能转换为电能的半导体器件，其原理为光生伏打原 理。在生产太阳能光伏电池的过程中，为了降低光线在硅片表面的反射，需要在晶硅表面利 用PECVD技术沉积一层氮化硅减反射膜，以提高晶硅太阳能电池对光线的吸收从而达到提 高太阳能电池的光电转换效率，同时沉积在硅片表面的氮化硅膜对晶硅太阳能电池也起到 表面钝化和保护作用。因此，PECVD镀膜是晶硅太阳能电池片生产过程中极为重要的一道 工序。
[0003] 在晶硅太阳能电池片PECVD镀膜过程中，硅片是放在石墨舟当中放入PECVD管中 进行镀膜。具体步骤为：1、用真空吸笔利用真空将硅片从花篮中抽出并插入石墨舟中；2、 将装满硅片的石墨舟送入400°C高温PECVD管进行镀膜工艺；3、用真空吸笔将做完镀膜工 艺的硅片从石墨舟中取出放入承载盒。
[0004] 目前市场上主要有陶瓷材质和PP材质两种材质制成的真空吸笔。陶瓷材质的真 空吸笔在真空吸取硅片过程中，极易由于真空压力形成的摩擦力过大造成硅片表面绒面结 构破坏、氮化硅膜被破坏甚至崩点、崩边、隐裂和裂片，造成电池片外观、质量问题；而PPM 质的真空吸笔存在不耐高温、不耐磨，容易在短时间内变形，造成吸取硅片过程中产生崩 边崩点等问题，吸笔损耗快等问题。 实用新型内容
[0005] 本实用新型的目的是提供一种新型真空吸笔，能够减少硅片上的吸笔印，保护硅 片表面，并且增加真空吸笔的使用寿命。
[0006] -种新型真空吸笔，包括吸头，在该吸头上设有吸孔，其特别之处在于：在该吸头 上的吸孔处覆盖有海绵双面胶，在该海绵双面胶上覆盖有高温布，并且在该吸孔处的海绵 双面胶和高温布上均开有通孔，从而完全露出吸孔。
[0007] 其中吸孔为圆形，而海绵双面胶和高温布上的通孔均为椭圆形。
[0008] 其中海绵双面胶的厚度为1mm。
[0009] 本实用新型的有益效果是：1、保护镀膜前硅片绒面完整，外观无损伤，无划痕和吸 笔印；2、保护镀膜后硅片氮化硅膜完整致密，外观无损伤，无划痕和吸笔印；3、降低操作过 程中的崩点、崩边、缺角及碎片率；4、无需更换真空吸笔，对石墨舟也有一定保护作用，节约 生产成本；5、适用于各类尺寸的吸笔。
【专利附图】
【附图说明】
[0010] 附图1为本实用新型的结构示意图；
[0011] 附图2为图1的俯视图。
【具体实施方式】
[0012] 如图1、2所示，本实用新型是一种新型真空吸笔，包括吸头3,在该吸头3上设有吸 孔4,在该吸头3上的吸孔4处覆盖有海绵双面胶2,在该海绵双面胶2上覆盖有高温布1， 并且在该吸孔4处的海绵双面胶2和高温布1上均开有通孔，从而完全露出吸孔4。
[0013] 其中吸孔4为圆形,而海绵双面胶2和高温布1上的通孔均为椭圆形，另外海绵双 面胶2的厚度为1mm。
[0014] 本实用新型是按照吸笔大小在吸笔表面粘贴一层1mm厚的海绵双面胶2 (海绵双 面胶2大小尺寸根据要使用的真空吸笔的吸头3和吸孔4面积确定），例如根据吸孔4面 积，然后在海绵双面胶2上开一 Φ4Χ 10mm腰型孔（椭圆形孔），腰型孔位于吸头3上吸孔 4的正上方，海绵双面胶2在吸取硅片过程中起缓冲作用，防止裂片。然后在海绵双面胶2 的另一面粘贴一张同样大小的高温布1，并在高温布1上开一 Φ3Χ 10mm腰型孔（高温布1 大小尺寸同样根据要使用的真空吸笔的吸头3和吸孔4面积确定），腰型孔位于吸笔吸孔4 正上方，高温布1在插入和吸取硅片过程中与海绵双面胶2同时起到保护硅片表面作用。
[0015] 采用该设计能有效解决硅片表面绒面损伤、氮化硅减反射膜表面损伤问题，保证 了太阳能电池片外观、电性能及寿命等核心参数正常，由于避免了吸笔与硅片、石墨舟直接 接触，在使用一段时间后直接更换海绵双面胶2和高温布1即可，无需更换吸笔，节约生产 升本。
【权利要求】
1. 一种新型真空吸笔，包括吸头（3)，在该吸头（3)上设有吸孔（4)，其特征在于：在该 吸头（3)上的吸孔（4)处覆盖有海绵双面胶（2)，在该海绵双面胶（2)上覆盖有高温布（1)， 并且在该吸孔（4)处的海绵双面胶（2)和高温布（1)上均开有通孔，从而完全露出吸孔（4)。
2. 如权利要求1所述的一种新型真空吸笔，其特征在于：其中吸孔（4)为圆形，而海绵 双面胶（2)和高温布（1)上的通孔均为椭圆形。
3. 如权利要求1或2所述的一种新型真空吸笔，其特征在于：其中海绵双面胶（2)的厚 度为1mm。
【文档编号】H01L31/18GK203910775SQ201420179655
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年4月15日 优先权日:2014年4月15日
【发明者】陈刚刚, 谢余才, 周卞宁, 许莉, 李昭 申请人:宁夏银星能源股份有限公司