一种壁板和反应腔室的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种壁板和反应腔室，所述壁板包括多个侧板和多个连接装置，所述侧板之间通过所述连接装置连接以围合形成容纳空间，部分所述侧板上设置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔以所述侧板的中心线为中心对称设置。本实用新型提供的壁板和反应腔室中，所述第一通孔在所述侧板的正面处于使用状态时开启，所述第二通孔在所述侧板的正面处于使用状态时关闭，所述第二通孔在所述侧板的背面处于使用状态时开启，所述第一通孔在所述侧板的背面处于使用状态时关闭，使得所述壁板的两面都能得到有效利用，从而延长所述壁板的使用寿命，降低所述壁板的成本。
【专利说明】一种壁板和反应腔室
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体加工【技术领域】，尤其涉及一种壁板和反应腔室。
【背景技术】
[0002]目前反应腔室中使用的壁板的结构如图1-4所示，图1为现有技术中壁板的一个侧板的结构示意图，图2为现有技术中壁板的一个侧板的结构示意图，图3为现有技术中壁板的一个侧板的结构示意图，图4为现有技术中壁板的一个侧板的结构示意图。如图1-4所示，图1所示的侧板上设置有进出口 101，图2和图4所示的侧板上设置有第一通孔102，图2-4所不的侧板上设置有观察窗103。
[0003]上述侧板具有正面和背面，所述壁板在日常的维修维护过程中是对所述侧板的正面和背面均进行完全相同的阳极氧化。然而，现有的壁板在使用过程中只能使用所述侧板的正面，当所述侧板的正面已过使用周期时，整个侧板就报废，从而导致所述壁板使用寿命短、成本高。
实用新型内容
[0004]为解决上述问题，本实用新型提供一种壁板和反应腔室，用于解决现有技术中壁板只能单面使用而导致所述壁板使用寿命短、成本高的问题。
[0005]为此，本实用新型提供一种壁板，包括多个侧板和多个连接装置，所述侧板之间通过所述连接装置连接以围合形成容纳空间，部分所述侧板上设置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔以所述侧板的中心线为中心对称设置；所述第一通孔在所述侧板的正面处于使用状态时开启，所述第二通孔在所述侧板的正面处于使用状态时关闭；所述第二通孔在所述侧板的背面处于使用状态时开启，所述第一通孔在所述侧板的背面处于使用状态时关闭。
[0006]可选的，所述第二通孔上设置有封堵装置以使所述第二通孔在所述侧板的正面处于使用状态时关闭；所述第一通孔上设置有封堵装置以使所述第一通孔在所述侧板的背面处于使用状态时关闭。
[0007]可选的，所述封堵装置包括封堵片和第一连接件，所述第一连接件用于将所述封堵片与所述侧板固定连接；在所述侧板的正面处于使用状态时，所述封堵片通过所述连接件将所述第二通孔封堵；在所述侧板的背面处于使用状态时，所述封堵片通过所述连接件将所述第一通孔封堵。
[0008]可选的，所述侧板的背面边缘设置有第一凹进部位，所述侧板的正面边缘设置有与所述第一凹进部位相对的第一凸出部位；在所述侧板的正面处于使用状态时，所述连接装置为第一连接装置，所述第一连接装置包括连接主体，所述连接主体的两个侧边均设置有第二凸出部位以及与所述第二凸出部位相对的第二凹进部位，所述第二凸出部位位于所述第二凹进部位的外侧，所述第一凸出部位设置于对应的所述第二凹进部位中以及所述第二凸出部位设置于对应的第一凹进部位中以使所述侧板与所述连接装置连接。
[0009]可选的，所述侧板的背面边缘设置有第一凹进部位，所述侧板的正面边缘设置有与所述第一凹进部位相对的第一凸出部位；在所述侧板的背面处于使用状态时，所述连接装置为第二连接装置，所述第二连接装置包括连接主体，所述连接主体的两个侧边设置有第三凹进部位以及与所述第三凹进部位相对的第三凸出部位，所述第三凹进部位位于所述第三凸出部位的外侧，所述第一凸出部位设置于对应的所述第三凹进部位中以及所述第三凸出部位设置于对应的第一凹进部位中以使所述侧板与所述连接装置连接。
[0010]可选的，还包括第二连接件，所述第二连接件贯穿所述第三凸出部位和所述第一凸出部位以将所述第二连接装置与所述侧板固定连接。
[0011]可选的，在所述侧板的正面处于使用状态时，所述侧板的正面朝向所述容纳空间；在所述侧板的背面处于使用状态时，所述侧板的背面朝向所述容纳空间。
[0012]可选的，所述连接结构的数量为四个，所述侧板的数量为四个，其中两个所述侧板上设置有第一通孔和第二通孔。
[0013]可选的，部分所述侧板上设置有观察窗，所述观察窗以所述侧板的中心线为中心对称设置。
[0014]本实用新型还提供一种反应腔室，包括上述任一所述的壁板。
[0015]本实用新型具有下述有益效果:
[0016]本实用新型提供的壁板和反应腔室中，所述第一通孔在所述侧板的正面处于使用状态时开启，所述第二通孔在所述侧板的正面处于使用状态时关闭，所述第二通孔在所述侧板的背面处于使用状态时开启，所述第一通孔在所述侧板的背面处于使用状态时关闭，使得所述壁板的两面都能得到有效利用，从而延长所述壁板的使用寿命，降低所述壁板的成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为现有技术中壁板的一个侧板的结构示意图；
[0018]图2为现有技术中壁板的一个侧板的结构示意图；
[0019]图3为现有技术中壁板的一个侧板的结构示意图；
[0020]图4为现有技术中壁板的一个侧板的结构示意图；
[0021]图5为本实用新型实施例一提供的使用侧板正面的壁板的立体图；
[0022]图6为图5所示壁板的一个侧板的结构示意图；
[0023]图7为图5所示壁板的一个侧板的结构示意图；
[0024]图8为图5所示壁板的第一连接装置的结构示意图；
[0025]图9为图5所示壁板的一个侧板的立体图；
[0026]图10为图5所示壁板的第一连接装置与侧板的连接示意图；
[0027]图11为本实用新型实施例一提供的使用侧板背面的壁板的立体图；
[0028]图12为图10所示壁板的第二连接装置的结构示意图；
[0029]图13为图10所示壁板的一个侧板的立体图；
[0030]图14为图10所示壁板的第二连接装置与侧板的连接示意图。
【具体实施方式】
[0031]为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型提供的壁板和反应腔室进行详细描述。
[0032]实施例一
[0033]本实施例提供一种壁板，包括多个侧板和多个连接装置，所述侧板之间通过所述连接装置连接以围合形成容纳空间，部分所述侧板上设置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔以所述侧板的中心线为中心对称设置；所述第一通孔在所述侧板的正面处于使用状态时开启，所述第二通孔在所述侧板的正面处于使用状态时关闭；所述第二通孔在所述侧板的背面处于使用状态时开启，所述第一通孔在所述侧板的背面处于使用状态时关闭。
[0034]图5为本实用新型实施例一提供的使用侧板正面的壁板的立体图。如图5所示，所述壁板包括四个侧板和四个连接装置，四个侧板包括第一侧板106、第二侧板107、第三侧板108和第四侧板109。本实施例中，所述侧板的正面处于使用状态,所述连接装置为第一连接装置104。所述侧板之间通过所述第一连接装置104连接以围合形成容纳空间105，所述侧板的正面朝向所述容纳空间105。所述第一侧板106上设置有进出口 101，所述进出口 101用于基板进出所述容纳空间105。整个第一侧板106是一个以所述第一侧板的中心线为对称中心的对称结构。所述第三侧板108上设置有三个观察窗103，所述观察窗103用于观察所述容纳空间105的反应状态。所述三个观察窗103以所述第三侧板108的中心线为中心对称设置。当然，整个第三侧板108是一个以所述第三侧板的中心线为对称中心的对称结构。所述第一侧板和第三侧板为对称结构使得所述第一侧板和第二侧板的正面和背面都能被充分有效的利用，这样就能大大增加壁板的使用周期，降低壁板的成本。
[0035]图6为图5所示壁板的一个侧板的结构示意图。如图6所示，所述侧板为第二侧板107，所述第二侧板上设置有第一通孔102、第二通孔201以及两个观察窗103，所述观察窗103用于观察所述容纳空间105的反应状态，所述第一通孔102和所述第二通孔201以所述第二侧板107的中心线为中心对称设置。当然，整个第二侧板107是一个以所述第二侧板的中心线为对称中心的对称结构。所述第一通孔102在所述第二侧板107的正面处于使用状态时开启，所述第二通孔201在所述第二侧板107的正面处于使用状态时关闭，从而使得所述第二侧板107的正面和背面都能被充分有效的利用，这样就能大大增加壁板的使用周期，降低壁板的成本。
[0036]本实施例中，所述第二侧板107的正面处于使用状态，所述第二通孔201上设置有封堵装置以使所述第二通孔201关闭，所述第一通孔102处于开启状态，所述第一通孔102用于连接压力测试装置。优选的，所述压力测试装置包括压力测试计。可选的，所述封堵装置包括封堵片和第一连接件，所述第一连接件用于将所述封堵片与所述第二侧板固定连接，所述封堵片通过所述第一连接件将所述第二通孔201封堵。
[0037]图7为图5所示壁板的一个侧板的结构示意图。如图7所示，所述侧板为第四侧板109，所述第四侧板上设置有第一通孔102、第二通孔201以及两个观察窗103，所述观察窗103用于观察所述容纳空间105的反应状态，所述第一通孔102和所述第二通孔201以所述第四侧板109的中心线为中心对称设置。当然，整个第四侧板109是一个以所述第四侧板的中心线为对称中心的对称结构。所述第一通孔102在所述第四侧板109的正面处于使用状态时开启，所述第二通孔201在所述第四侧板109的正面处于使用状态时关闭，从而使得所述第四侧板109的正面和背面都能被充分有效的利用，这样就能大大增加壁板的使用周期，降低壁板的成本。
[0038]本实施例中，所述第四侧板109的正面处于使用状态,所述第二通孔201上设置有封堵装置以使所述第二通孔201关闭，所述第一通孔102处于开启状态，所述第一通孔102用于排出气体。可选的，所述封堵装置包括封堵片和第一连接件，所述第一连接件用于将所述封堵片与所述第四侧板固定连接，所述封堵片通过所述第一连接件将所述第二通孔201封堵。
[0039]图8为图5所示壁板的第一连接装置的结构示意图，图9为图5所示壁板的一个侧板的立体图，图10为图5所示壁板的第一连接装置与侧板的连接示意图。如图8-10所示，所述第一连接装置104包括连接主体，所述连接主体的两个侧边均设置有第二凸出部位204和与所述第二凸出部位204相对的第二凹进部位205，所述第二凸出部位204位于所述第二凹进部位205的外侧。所述侧板的背面边缘设置有第一凹进部位202，所述侧板的正面边缘设置有与所述第一凹进部位202相对的第一凸出部位203。本实施例中，所述侧板的正面处于使用状态，所述第一凸出部位203设置于对应的所述第二凹进部位205中以及所述第二凸出部位204设置于对应的第一凹进部位202中以使所述侧板与所述第一连接装置104连接。
[0040]图11为本实用新型实施例一提供的使用侧板背面的壁板的立体图。如图11所示，所述壁板包括四个侧板和四个连接装置，四个侧板包括第一侧板106、第二侧板107、第三侧板108和第四侧板109。本实施例中，所述侧板的背面处于使用状态，所述连接装置为第二连接装置206。所述侧板之间通过所述第二连接装置206连接以围合形成容纳空间105，所述侧板的背面朝向所述容纳空间105。所述第一侧板106上设置有进出口 101，所述进出口 101用于基板进出所述容纳空间105。整个第一侧板106是一个以所述第一侧板的中心线为对称中心的对称结构。所述第三侧板108上设置有三个观察窗103，所述观察窗103用于观察所述容纳空间105的反应状态。所述三个观察窗103以所述第三侧板108的中心线为中心对称设置。当然，整个第三侧板108是一个以所述第三侧板的中心线为对称中心的对称结构。所述第一侧板和第三侧板为对称结构使得所述第一侧板和第二侧板的正面和背面都能被充分有效的利用，这样就能大大增加壁板的使用周期，降低壁板的成本。
[0041]参见图6，所述侧板为第二侧板107，所述第二侧板上设置有第一通孔102、第二通孔201以及两个观察窗103，所述观察窗103用于观察所述容纳空间105的反应状态，所述第一通孔102和所述第二通孔201以所述第二侧板107的中心线为中心对称设置。当然，整个第二侧板107是一个以所述第二侧板的中心线为对称中心的对称结构。所述第二通孔201在所述第二侧板107的背面处于使用状态时开启，所述第一通孔102在所述第二侧板107的背面处于使用状态时关闭，从而使得所述第二侧板107的正面和背面都能被充分有效的利用，这样就能大大增加壁板的使用周期，降低壁板的成本。
[0042]本实施例中，所述第二侧板107的背面处于使用状态，所述第一通孔102上设置有封堵装置以使所述第一通孔102关闭，所述第二通孔201处于开启状态，所述第二通孔201用于连接压力测试装置。优选的，所述压力测试装置包括压力测试计。可选的，所述封堵装置包括封堵片和第一连接件，所述第一连接件用于将所述封堵片与所述第二侧板固定连接，所述封堵片通过所述第一连接件将所述第一通孔102封堵。
[0043]参见图7，所述侧板为第四侧板109，所述第四侧板上设置有第一通孔102、第二通孔201以及两个观察窗103，所述观察窗103用于观察所述容纳空间105的反应状态，所述第一通孔102和所述第二通孔201以所述第四侧板109的中心线为中心对称设置。当然，整个第四侧板109是一个以所述第四侧板的中心线为对称中心的对称结构。所述第二通孔201在所述第四侧板109的背面处于使用状态时开启，所述第一通孔102在所述第四侧板109的背面处于使用状态时关闭，从而使得所述第四侧板109的正面和背面都能被充分有效的利用，这样就能大大增加壁板的使用周期，降低壁板的成本。
[0044]本实施例中，所述第四侧板109的背面处于使用状态，所述第一通孔102上设置有封堵装置以使所述第一通孔102关闭，所述第二通孔201处于开启状态，所述第二通孔201用于排出气体。可选的，所述封堵装置包括封堵片和第一连接件，所述第一连接件用于将所述封堵片与所述第四侧板109固定连接，所述封堵片通过所述第一连接件将所述第一通孔102封堵。
[0045]图12为图10所示壁板的第二连接装置的结构示意图，图13为图10所示壁板的一个侧板的立体图，图14为图10所示壁板的第二连接装置与侧板的连接示意图。如图12-14所示，所述第二连接装置206包括连接主体，所述连接主体的两个侧边设置有第三凹进部位208和与所述第三凹进部位208相对的第三凸出部位207，所述第三凹进部位208位于所述第三凸出部位207的外侧。所述侧板的背面边缘设置有第一凹进部位202，所述侧板的正面边缘设置有与所述第一凹进部位202相对的第一凸出部位203。本实施例中，所述侧板的背面处于使用状态，所述第一凸出部位203设置于对应的所述第三凹进部位208中以及所述第三凸出部位207设置于对应的第一凹进部位202中以使所述侧板与所述第二连接装置206连接。
[0046]本实施例中，所述壁板还包括第二连接件，所述第二连接件贯穿所述第三凸出部位207和所述第一凸出部位203以将所述第二连接装置206与所述侧板固定连接。
[0047]本实用新型提供的壁板中，所述第一通孔在所述侧板的正面处于使用状态时开启，所述第二通孔在所述侧板的正面处于使用状态时关闭，所述第二通孔在所述侧板的背面处于使用状态时开启，所述第一通孔在所述侧板的背面处于使用状态时关闭，使得所述壁板的两面都能得到有效利用，从而提高所述壁板的使用寿命，降低所述壁板的成本。
[0048]实施例二
[0049]本实施例提供一种反应腔室，包括实施例一提供的壁板，具体内容可参照上述实施例一中的描述，此处不再赘述。
[0050]本实用新型提供的反应腔室中，所述第一通孔在所述侧板的正面处于使用状态时开启，所述第二通孔在所述侧板的正面处于使用状态时关闭，所述第二通孔在所述侧板的背面处于使用状态时开启，所述第一通孔在所述侧板的背面处于使用状态时关闭，使得所述壁板的两面都能得到有效利用，从而提高所述壁板的使用寿命，降低所述壁板的成本。
[0051]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种壁板，其特征在于，包括多个侧板和多个连接装置，所述侧板之间通过所述连接装置连接以围合形成容纳空间，部分所述侧板上设置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔以所述侧板的中心线为中心对称设置； 所述第一通孔在所述侧板的正面处于使用状态时开启，所述第二通孔在所述侧板的正面处于使用状态时关闭； 所述第二通孔在所述侧板的背面处于使用状态时开启，所述第一通孔在所述侧板的背面处于使用状态时关闭。
2.根据权利要求1所述的壁板，其特征在于，所述第二通孔上设置有封堵装置以使所述第二通孔在所述侧板的正面处于使用状态时关闭； 所述第一通孔上设置有封堵装置以使所述第一通孔在所述侧板的背面处于使用状态时关闭。
3.根据权利要求2所述的壁板，其特征在于，所述封堵装置包括封堵片和第一连接件，所述第一连接件用于将所述封堵片与所述侧板固定连接； 在所述侧板的正面处于使用状态时，所述封堵片通过所述第一连接件将所述第二通孔封堵； 在所述侧板的背面处于使用状态时，所述封堵片通过所述第一连接件将所述第一通孔封堵。
4.根据权利要求1所述的壁板，其特征在于，所述侧板的背面边缘设置有第一凹进部位，所述侧板的正面边缘设置有与所述第一凹进部位相对的第一凸出部位； 在所述侧板的正面处于使用状态时，所述连接装置为第一连接装置，所述第一连接装置包括连接主体，所述连接主体的两个侧边均设置有第二凸出部位以及与所述第二凸出部位相对的第二凹进部位，所述第二凸出部位位于所述第二凹进部位的外侧，所述第一凸出部位设置于对应的所述第二凹进部位中以及所述第二凸出部位设置于对应的第一凹进部位中以使所述侧板与所述连接装置连接。
5.根据权利要求1所述的壁板，其特征在于，所述侧板的背面边缘设置有第一凹进部位，所述侧板的正面边缘设置有与所述第一凹进部位相对的第一凸出部位； 在所述侧板的背面处于使用状态时，所述连接装置为第二连接装置，所述第二连接装置包括连接主体，所述连接主体的两个侧边设置有第三凹进部位以及与所述第三凹进部位相对的第三凸出部位，所述第三凹进部位位于所述第三凸出部位的外侧，所述第一凸出部位设置于对应的所述第三凹进部位中以及所述第三凸出部位设置于对应的第一凹进部位中以使所述侧板与所述连接装置连接。
6.根据权利要求5所述的壁板，其特征在于，还包括第二连接件，所述第二连接件贯穿所述第三凸出部位和所述第一凸出部位以将所述第二连接装置与所述侧板固定连接。
7.根据权利要求1所述的壁板，其特征在于，在所述侧板的正面处于使用状态时，所述侧板的正面朝向所述容纳空间； 在所述侧板的背面处于使用状态时，所述侧板的背面朝向所述容纳空间。
8.根据权利要求1所述的壁板，其特征在于，所述连接装置的数量为四个，所述侧板的数量为四个，其中两个所述侧板上设置有第一通孔和第二通孔。
9.根据权利要求1所述的壁板，其特征在于，部分所述侧板上设置有观察窗，所述观察窗以所述侧板的中心线为中心对称设置。
10.一种反应腔室，其特征在于，包括权利要求1-9任一所述的壁板。
【文档编号】H01L21/02GK204029780SQ201420464505
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年8月18日 优先权日:2014年7月21日
【发明者】谢海征, 朱孝会, 蒋会刚, 王志强, 董宜萍, 吴平, 陈皓 申请人:北京京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司