一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置，包括激光刻线机、太阳能电池板和固定架，太阳能电池板水平放置，激光刻线机位于太阳能电池板的下方，激光刻线机的激光发射孔正对太阳能电池板，太阳能电池板的上方设置有吸尘器和图像传感器，吸尘器和图像传感器均固定在固定架上，吸尘器的吸尘口朝向太阳能电池板并正对于激光刻线机的激光发射孔，图像传感器的图像采集端正对太阳能电池板，吸尘器的吸尘口与固定架之间的最小距离大于图像传感器的图像采集端与固定架之间的最小距离。本实用新型可以监控到每个产品的激光刻蚀效果，能够简化或取消人为抽检过程，提高生产效率，降低人力成本，提高产品质量、良率。
【专利说明】一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激光刻线工序在线检测【技术领域】，尤其涉及一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置。
【背景技术】
[0002]薄膜太阳电池激光刻线工序，通过对不同膜层进行三道激光刻蚀，把大面积电池分割成若干独立单元电池，并形成集成结构把单元电池串联起来。在电池中，三道激光刻线区域叫死区，不能将太阳光转化为电能，减小刻线间距有利于提高电池的转化效率。通常三道激光刻线线宽、线间距只有几十微米，与设备机械精度在同一数量级，生产中需要对刻线宽度、线间距进行管控，保证产品良率，减少报废损失。
[0003]激光刻线工序是薄膜太阳能电池的制造环节，需要三次激光刻线实现。激光工艺效果通过抽检确认，具体方法:使用手持式显微镜观察线宽、线距、刻线是否有残渣等；也可以在刚刻蚀完第一道激光刻线和镀完背电极之后，测量每对相邻刻线之间的电阻或电压，根据电阻、电压值确认第一条、第三条刻线是否刻断。
[0004]使用手持式显微镜观察的缺点有:1、效率低，并且需要离线检查，需要将产品从生产线取出、放回，中间容易对产品造成污染；2、人为抽检不能覆盖所有产品，良品率较低且受抽检频率限制，抽检频率影响人力成本；3、通过电阻、电压测量检验只能判断出第一道、第三道激光是否刻断，无法得第二道激光刻蚀效果及第一道、第三道刻线宽度、线间距信息；4、测量过程中探针需要接触电池，会对电池造成一定损伤。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置。
[0006]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
[0007]一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置，包括激光刻线机、太阳能电池板和固定架，所述太阳能电池板水平放置，所述激光刻线机位于所述太阳能电池板的下方，所述激光刻线机的激光发射孔正对所述太阳能电池板，所述太阳能电池板的上方设置有吸尘器和图像传感器，所述吸尘器和所述图像传感器均固定在所述固定架上，所述吸尘器的吸尘口朝向所述太阳能电池板并正对于所述激光刻线机的激光发射孔，所述图像传感器的图像采集端正对所述太阳能电池板，所述吸尘器的吸尘口与所述固定架之间的最小距离大于所述图像传感器的图像采集端与所述固定架之间的最小距离。
[0008]进一步地，所述图像传感器和所述吸尘器均通过同一块固定板安装在所述固定架上。
[0009]更进一步地，所述图像传感器和所述吸尘器设置在所述固定板上，所述固定板通过沉头螺栓固定安装在所述固定架上。
[0010]本实用新型的有益效果在于:
[0011]本实用新型所述薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置，可以监控到每个产品的激光刻蚀效果，能够简化或取消人为抽检过程，提高生产效率，降低人力成本，减少或排除人为接触对产品的污染，不会对太阳能电池板造成损伤，提高产品质量、良率。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型所述薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置的侧视结构示意图；
[0013]图2是本实用新型所述薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置的正视结构示意图；
[0014]图3是本实用新型刻有三道激光刻线的所述太阳能电池板的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0016]如图1、图2和图3所示，本实用新型包括激光刻线机6、太阳能电池板6和固定架1，太阳能电池板6水平放置，激光刻线机6位于太阳能电池板5的下方，激光刻线机6的激光发射孔正对太阳能电池板5，太阳能电池板5的上方设置有吸尘器3和图像传感器4，吸尘器3和图像传感器4均固定在固定架I上，吸尘器3的吸尘口朝向太阳能电池板5并正对于激光刻线机6的激光发射孔，图像传感器4的图像采集端正对太阳能电池板5，吸尘器3的吸尘口与固定架I之间的最小距离大于图像传感器4的图像采集端与固定架I之间的最小距离。
[0017]在本实施例中，图像传感器4和吸尘器3均通过同一块固定板2安装在固定架I上，图像传感器4和吸尘器3设置在固定板2上，固定板2通过沉头螺栓7固定安装在固定架I上，这样的结构拆卸和安装各个部分都非常方便。
[0018]本实用新型所述薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置，在激光刻蚀工序中，激光刻线机6在被刻蚀太阳能电池板6下方，激光由下向上聚焦在太阳能电池板6需要刻蚀的膜层上，太阳能电池板6上方的吸尘器3将刻蚀产生的粉末、气体吸除，整个在线监控装置可以借助外部设备使得吸尘器3跟随激光做同步运动，图像传感器4与吸尘器3相隔一定距离，使图像传感器4视场正对刚刻蚀完的刻线，对刻线进行图形采集。
[0019]图3中所示的刻有三道激光刻线的太阳能电池板中，Pl第一道激光刻线；P2是第二道激光刻线；P3是第三道激光刻线。图像传感器4采集的刻线图像中，三道刻线和背景相比存在色差，可以借助外部控制器在刻线垂直方向取一条线，在刻线边缘色差陡变，获取色差陡变点的坐标，就获得了三道激光刻线边缘的坐标，最终便可知道三道激光刻线的线宽和线间距。
[0020]本实用新型所述薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置，可以监控到每个产品的激光刻蚀效果，可以简化或取消人为抽检过程，提高生产效率，降低人力成本，减少或排除人为接触对产品的污染，不会对太阳能电池板造成损伤，提高产品质量、良率。
[0021]以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置，包括激光刻线机和太阳能电池板，所述太阳能电池板水平放置，所述激光刻线机位于所述太阳能电池板的下方，所述激光刻线机的激光发射孔正对所述太阳能电池板，其特征在于:还包括固定架，所述太阳能电池板的上方设置有吸尘器和图像传感器，所述吸尘器和所述图像传感器均固定在所述固定架上，所述吸尘器的吸尘口朝向所述太阳能电池板并正对于所述激光刻线机的激光发射孔，所述图像传感器的图像采集端正对所述太阳能电池板，所述吸尘器的吸尘口与所述固定架之间的最小距离大于所述图像传感器的图像采集端与所述固定架之间的最小距离。
2.根据权利要求1所述的薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置，其特征在于:所述图像传感器和所述吸尘器均通过同一块固定板安装在所述固定架上。
3.根据权利要求2所述的薄膜太阳电池激光刻线工序在线监控装置，其特征在于:所述图像传感器和所述吸尘器设置在所述固定板上，所述固定板通过沉头螺栓固定安装在所述固定架上。
【文档编号】H01L31/18GK204144296SQ201420568335
【公开日】2015年2月4日 申请日期:2014年9月29日 优先权日:2014年9月29日
【发明者】罗洋, 苏菁, 杨明久, 陈年果, 李 远, 敬雪碧, 马海文, 汪涛 申请人:四川汉能光伏有限公司