技术总结
本发明涉及一种用于通过连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)的脆化来将第一衬底（2）与第二衬底（4）分离的方法，其中所述第一衬底通过所述连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)与所述第二衬底（4）连接。此外，本发明涉及相应的装置。此外，本发明涉及一种方法，所述方法用于利用尤其通过冷却能够脆化的连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)来将第一衬底(2)与第二衬底(4)接合。此外，本发明涉及一种能够脆化的材料的用途，将所述材料用于制造第一衬底(2)与第二衬底(4)之间的连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)，来构造由所述第一衬底(2)、所述第二衬底(4)和被布置在其之间的连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)构成的衬底堆叠(1、1'、1"、1"'、1IV、1V)。此外，本发明涉及一种衬底堆叠，其由第一衬底(2)、第二衬底(4)和被布置在其之间的连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)构成，其中所述连接层(3、3'、3"、3"'、3IV)由能够脆化的材料构成。此外，本发明涉及一种试样固持器，其用于在将第一衬底(2)与第二衬底(4)分离时利用能够通过温度降低激活的固定装置来固持所述第一衬底(2)。
技术研发人员：埃里希·塔尔纳
受保护的技术使用者：埃里希·塔尔纳
文档号码：201480079964
技术研发日：2014.06.27
技术公布日：2017.05.24