一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法与流程

文档序号:11102425阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法,其特征在于;包括:在n型硅衬底一面沉积本征非晶硅层及n型非晶硅层,另一面沉积本征非晶硅层及p型非晶硅层,并在n型非晶硅层和p型非晶硅层上沉积透明导电氧化物层,在所述透明导电氧化物层上沉积阻挡层;在所述阻挡层上沉积种子层;在种子层上覆光阻材料层,将光阻材料层经过曝光显影后形成金属栅线图案并暴露出种子层;所述锡层的保护方法还包括步骤:在暴露出的种子层表面制作导电栅线叠层和助焊层,然后在助焊层上制作一层保护层,最后将光阻材料层去除,再用化学腐蚀液去除其覆盖位置的种子层、阻挡层以及保护层暴露出电池表面和助焊层。

2.根据权利要求1所述一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法,其特征在于:所述导电氧化物层采用ITO层或掺杂的氧化铟层。

3.根据权利要求1所述一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法,其特征在于:所述阻挡层为Ti金属层或Ta金属层。

4.根据权利要求3所述一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法,其特征在于:所述Ti金属层为TiNx金属层或TiW金属层,所述Ta金属层为TaNx金属层,其厚度在1-50nm之间。

5.根据权利要求1所述一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法,其特征在于:所述种子层为铜种子层、镍种子层、银种子层、铝种子层中任意一种。

6.根据权利要求1所述一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法,其特征在于:所述导电栅线叠层为电镀铜叠层,其厚度在5-40um之间。

7.根据权利要求1所述一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法, 其特征在于:所述助焊层为电镀锡叠层,其厚度在1-20um之间。

8.根据权利要求1所述一种制备太阳能电池金属栅线中锡层的保护方法,其特征在于:所述保护层为电镀铜或电镀铜合金叠层,其厚度与阻挡层和种子层的总厚度相同,在1-1000nm之间。

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