清洗装置、清洗系统、清洗方法以及清洗系统中的控制方法与流程

文档序号:11142542阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种清洗装置,通过清洗气体对保存被保存物的保存容器的内部进行清洗处理,具备:

多个载放部,载放上述保存容器;

多个供给管,向载放于上述载放部的上述保存容器供给上述清洗气体;

主管,连接有上述多个供给管,并且向上述多个供给管供给上述清洗气体;以及

流量调节部,调节上述主管中的上述清洗气体的流量。

2.如权利要求1所述的清洗装置,其中,

在以目标的供给流量向上述保存容器供给上述清洗气体时,上述流量调节部使上述主管中的上述清洗气体的流量连续或者阶段地增加而成为上述目标的供给流量。

3.如权利要求1或2所述的清洗装置,其中,

在上述供给管上设置有调节部,该调节部进行调节,以使向上述保存容器供给的上述清洗气体的流量在上述多个供给管彼此之间变得相等,

在以目标的供给流量向上述保存容器供给上述清洗气体时,上述流量调节部进行调节,以使上述主管中的上述清洗气体的流量成为将上述目标的供给流量乘以上述载放部的个数而得到的流量。

4.如权利要求1或2所述的清洗装置,其中,

在上述供给管上设置有开闭阀,在上述载放部载放有上述保存容器的情况下,上述开闭阀使上述供给管中的上述清洗气体的流路成为打开状态,在上述载放部未载放有上述保存容器的情况下,上述开闭阀使上述清洗气体的流路成为关闭状态,

在以目标的供给流量向上述保存容器供给上述清洗气体时,上述流量调节部进行调节,以使上述主管中的上述清洗气体的流量成为将上述目标的供给流量乘以载放于上述载放部的上述保存容器的个数而得到的流量。

5.如权利要求4所述的清洗装置,其中,

还具备对上述载放部中有无载放上述保存容器进行检测的检测部。

6.一种清洗系统,具备:

多个清洗装置;

搬送装置,搬送上述保存容器;以及

控制部,控制上述搬送装置中的上述保存容器的搬送,

上述清洗装置是权利要求1~3中任一项所述的清洗装置,

上述控制部将上述搬送装置控制为,使上述保存容器优先向上述多个清洗装置中的特定清洗装置所包含的未载放上述保存容器的上述载放部入库,该特定清洗装置是存在载放有上述保存容器的载放部的清洗装置。

7.一种清洗方法,是通过清洗气体对保存被保存物的保存容器的内部进行清洗处理时的清洗方法,其中,

连接向载放上述保存容器的多个载放部分别供给上述清洗气体的供给管,并且连接向多个上述供给管供给上述清洗气体的主管,对上述主管中的上述清洗气体的流量进行调节。

8.一种清洗系统中的控制方法,该清洗系统具备通过权利要求7所述的清洗方法进行清洗处理的多个清洗装置、搬送上述保存容器的搬送装置、以及控制上述搬送装置中的上述保存容器的搬送的控制部,其中,

将上述搬送装置控制为,使上述保存容器优先向上述多个清洗装置中的特定清洗装置所包含的未载放上述保存容器的上述载放部入库,该特定清洗装置是存在载放有上述保存容器的载放部的清洗装置。

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