技术总结
一种制造极紫外反射元件的设备和方法，极紫外反射元件包括：基板；在基板上的多层堆叠，多层堆叠包括多个反射层对，反射层对具有由硅形成的第一反射层和由铌或碳化铌形成的第二反射层，以用于形成布拉格反射器；及覆盖层，所述覆盖层在多层堆叠上和上面，以通过减少氧化及机械侵蚀而保护多层堆叠。
技术研发人员：拉尔夫·霍夫曼;维纳亚克·维什瓦纳特·哈桑;卡拉·比斯利;马耶德·A·福阿德
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201580036354
技术研发日：2015.07.03
技术公布日：2017.03.01