技术总结
一种薄膜电池可以包含：包含基板表面的基板；形成在所述基板表面上的第一集电器(FCC)层，所述FCC层具有第一FCC表面和第二FCC表面，并且其中所述第一FCC表面与所述基板接触，而且所述第二FCC表面为第一三维表面；沉积在所述第一集电器上的第一电极层，以及沉积在所述第一电极层上的电解质层；其中所述第一电极层与所述电解质层之间的界面为第二三维表面，所述第二三维表面大致与所述第一三维表面一致。在实施方式中，所述基板表面为第三三维表面，而且所述第一三维表面大致与所述第三三维表面一致。所述第一三维表面或所述第三三维表面的其中之一可以经由激光剥蚀图案化工艺形成。
技术研发人员：宋道英;秉圣·利奥·郭
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201580044474
技术研发日：2015.08.27
技术公布日：2017.05.10