技术特征：
技术总结
本发明提供一种一边使清洗头在基板的半径方向上移动一边清洗基板的表面的创新的基板清洗装置。清洗基板(S)的基板清洗装置(50)，具备：外周支承部件(51)，支承基板(S)并使基板(S)旋转；海绵(541)，具有清洗面，该清洗面用于接触因外周支承部件(51)而旋转的基板(S)的被清洗面并清洗被清洗面；臂(53)，在清洗面与被清洗面接触的状态下，使海绵(541)在基板(S)的半径方向上移动；以及控制部(60)，控制清洗面对被清洗面的接触压。与海绵(541)位于基板(S)的中心附近时相比，在海绵(541)位于基板(S)的边缘附近时，控制部(60)使接触压更小。
技术研发人员：石桥知淳
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
技术研发日：2015.10.20
技术公布日：2017.09.08