一种以氟化氮掺杂石墨烯为吸收层的紫外雪崩光电探测器的制作方法

文档序号:11235711阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种以氟化氮掺杂石墨烯为吸收层的紫外雪崩光电探测器,包括衬底、金属电极、氮掺杂石墨烯叉指电极和氟化氮掺杂石墨烯;其中,所述衬底的上表面两侧分别覆盖一金属电极;在两个金属电极之间的衬底的上表面、两个金属电极的上表面和内侧壁上覆盖氮掺杂石墨烯叉指电极,金属电极上表面的氮掺杂石墨烯叉指电极的两翼的覆盖范围小于金属电极的边界;在两个金属电极之间的衬底和氮掺杂石墨烯叉指电极的上表面覆盖氟化氮掺杂石墨烯。本发明提供的以氟化氮掺杂石墨烯为吸收层的紫外雪崩光电探测器所用材料以氮掺杂石墨烯为基本材料,制备过程简单,成本低,易于实现柔性光电探测器。

技术研发人员:姜京勤
受保护的技术使用者:苏州升奥新能源有限公司
技术研发日:2016.03.03
技术公布日:2017.09.12
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