样品固定治具及其操作方法与流程

本发明涉及一种样品固定治具及其操作方法，尤其涉及一种可于真空环境下加载多个样品进入穿透式电子显微镜的腔体中进行观察的样品固定治具及其操作方法。

背景技术：

随着显微观察技术的发展，各种类型的显微镜，例如光学显微镜(opticalmicroscope)、原子力显微镜(atomicforcemicroscope,afm)、电子显微镜如扫描式电子显微镜(scanningelectronmicroscope,sem)、穿透式电子显微镜(transmissionelectronmicroscope,tem)等，因应而生。当利用例如是穿透式电子显微镜来进行样品观察时，穿透式电子显微镜的腔体内需形成中空环境，并且一个一个顺序地将样品加载腔体内进行观察，并于观察后将样品取出。

然而，在目前的穿透式电子显微镜中，当每一个样品结束观察后，穿透式电子显微镜皆须进行破真空的步骤，以将样品由腔体中取出。此外，当重载新的样品进入腔体内进行观察时，腔体必须再一次进行抽真空的步骤，以重新在腔体中形成真空环境。因此，穿透式电子显微镜在替换每一个样品时，皆须不断重复上述腔体抽真空及破真空的步骤。由于在腔体内形成真空环境所需的时间冗长，因此，当用户使用穿透式电子显微镜对大量的样品进行观察时，往往需耗费大量的时间于加载及更换样品的步骤，而造成人力、时间以及设备成本的耗费。

技术实现要素：

本发明提供一种样品固定治具，其可将多个观察样品先预置于其中，使得穿透式电子显微镜在操作过程中，当替换观察样品时，无需进行破真空的步骤来将观察样品取出。

本发明提供一种样品固定治具的操作方法，其可在无需将形成在穿透式 电子显微镜的腔体内的真空环境进行破真空的步骤的情形下，进行多个观察样品的观察、替换以及加载，以节省穿透式电子显微镜的操作时间。

本发明的样品固定治具适于载入第一样品至穿透式电子显微镜的腔体内。样品固定治具包括本体、样品预置装置以及样品传送装置。本体适于与腔体结合而形成密闭空间于腔体内。本体具有适于插入腔体的插入部以及保持于腔体外的外接部。样品预置装置配置于本体内，用以承载第一样品。样品传送装置配置于本体内，并且样品传送装置耦接于样品预置装置，用以将样品预置装置上的第一样品依序传送到密闭空间内的观察区，并将观察后的第一样品由观察区依序传送回样品预置装置

本发明的样品固定治具的操作方法适于加载第一样品进入穿透式电子显微镜的腔体中。样品固定治具的操作方法包括将第一样品预置装置配置于样品固定治具的本体中。本体具有适合插入腔体的插入部以及保持于腔体外的外接部。将第一样品预置于该样品预置装置中。将本体结合于腔体，而于腔体内形成密闭空间。藉由样品传送装置将样品预置装置上的第一样品依序传送到密闭空间内的观察区。样品传送装置将观察后的第一样品由观察区传送回样品预置装置。

在本发明的一实施例中，上述的样品传送装置包括传送机构以及致动组件。致动组件耦接于传送机构与样品预置装置。用以驱动传送机构在观察区与样品预置装置之间传送第一样品。

在本发明的一实施例中，上述的样品预置装置位于本体的插入部。

在本发明的一实施例中，上述的样品预置装置位于本体的外接部。

在本发明的一实施例中，上述的样品固定治具还包括样品加载装置。样品加载装置储存多个第二样品。样品加载装置可拆卸地组装于外接部并且耦接样品预置装置，以将第二样品加载样品预置装置中。

在本发明的一实施例中，上述的样品预置装置可拆卸地组装于外接部。

在本发明的一实施例中，上述的样品预置装置包括环状载具。环状载具具有中央轴，并且环状载具适于在相对于中央轴的圆周上承载第一样品。致动组件耦接于环状载具，以驱动环状载具沿中央轴旋转。

在本发明的一实施例中，上述的致动组件包括动力源以及传动件。传动件耦接于动力源与环状载具之间，以带动环状载具沿中央轴旋转。

在本发明的一实施例中，上述的传动件包括动力轮，而环状载具包括环状轮。环状轮耦接于动力轮。

在本发明的一实施例中，上述的环状轮与动力轮为螺旋齿轮组、蜗杆蜗轮组或斜齿轮组。

在本发明的一实施例中，上述的环状载具还包括托架。托架设置于环状载具的圆周上，用以分别承载第一样品。

在本发明的一实施例中，托架可移动地沿圆周的法线方向插置于环状载具上。传送机构包括上推件以及传送件。上推件设置于圆周内。上推件适于沿法线方向推动相应的托架远离环状载具。传送件适于在托架远离环状载具之后，将托架传送至观察区。

在本发明的一实施例中，上述的样品预置装置配置于本体的插入部。

在本发明的一实施例中，上述的样品预置装置配置于本体的外接部。

在本发明的一实施例中，上述的操作方法还包括将样品加载装置可拆卸地组装于外接部并且耦接样品预置装置，以将预置于样品加载装置中的多个第二样品加载样品预置装置中。

本发明的上述实施例中的样品固定治具可具有本体、样品预置装置以及样品传送装置。样品预置装置以及样品传送装置配置于本体中，并且穿透式电子显微镜的观察样品可预载于样品预置装置中。在本体与穿透式电子显微镜于腔体内所形成的密闭空间中，样品传送装置可将预载于样品预置装置中的样品传送至穿透式电子显微镜的腔体内的观察区进行观察。因此，当样品置于穿透式电子显微镜的腔体内的密闭空间进行观察时，在观察样品替换的过程中，使用者可在无需破坏密闭空间内的真空环境的情形下，直接将观察完的样品由观察区中取出，且替换并重载下一个观察样品，以节省穿透式电子显微镜所需的操作时间以及成本。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明的一实施例的样品固定治具的示意图；

图2是图1的样品固定治具配置于穿透式电子显微镜中的腔体内的示意 图；

图3a是本发明一实施例的样品固定治具的样品预置装置的示意图；

图3b是图3a的样品预置装置的侧面示意图；

图4a至图4d是依照本发明一实施例的样品固定治具的样品传送装置的作动方式的示意图；

图5a及图5b是依照本发明一实施例的样品传送装置的作动方式的示意图；

图6a及图6b是依照本发明另一实施例的样品固定治具的示意图；

图7a及图7b是图6a及图6b的样品固定治具的作动方式的示意图；

图8是依照本发明一实施例的样品固定治具的操作方法的流程示意图；

图9是依照本发明另一实施例的样品固定治具的操作方法的流程示意图。

附图标记：

10：第一样品

20：铜网

30：第二样品

50：穿透式电子显微镜

51：真空泵

52：腔体

53：密闭空间

54：插入口

55：观察区

56：电源线

57：电子源

58：磁透镜

59：投影磁透镜

100、200：样品固定治具

110、210：本体

112、212：插入部

114、214：外接部

120、220：样品预置装置

122：壳体

123：开口

124：环状载具

124a：环状轮

125：托架

125a：u形凹口

130：样品传送装置

132：传送机构

132a：传送件

132a1：凸块

132b：上推件

134：致动组件

134a：动力源

134b：传动件

134b1：动力轮

136：控制线路

150、250：样品加载装置

152、252：装载腔体

214a：载入口

a1：中央轴

l：电子束

s301～s304、s401～405：步骤

具体实施方式

下文的多个实施例以相同的符号代表具有相同或类似的功能的构件或装置，其中图式中所示组件的形状、尺寸、比例等仅为示意，非对本发明的实施范围加以限制。另外，以下说明内容所述之任一实施例虽同时揭示多个技术特征，也不意味必需同时实施该任一实施例中的所有技术特征。

图1是依照本发明的一实施例的样品固定治具的示意图。图2是图1的 样品固定治具配置于穿透式电子显微镜的腔体内的示意图。请参考图1及图2，在本实施例中，穿透式电子显微镜50可包括真空泵51、腔体52、插入口54、观察区55、电源线56、电子源57、磁透镜58以及投影磁透镜59。在本实施例中，真空泵51配置于腔体52外，且真空泵51可将腔体52抽真空，以于腔体52内的密闭空间53内形成真空环境。此外，插入口54位于腔体52的壁面上，样品固定治具100可经由插入口54插置于腔体52中。再者，样品的电源线56、电子源57、磁透镜58、观察区55以及投影磁透镜59皆位于腔体52内，并且于在腔体52的垂直方向上由上至下依序配置。电子源57可经由电源线56耦接电源(未显示)，以形成电子束l，且电子束l可通过磁透镜58来聚焦于样品的观察区55。当电子束l穿通过放置于观察区55内的样品后，可再经由投影磁透镜59聚焦并放大，且最后投影于位在腔体52底部的成像屏(未显示)上，以形成影像或绕射图形(diffractionpattern)。

在本实施例中，样品固定治具100可将第一样品10加载穿透式电子显微镜50的腔体52中。样品固定治具100包括本体110、样品预置装置120以及样品传送装置130。此外，本体110可与腔体52结合，而于腔体52内形成密闭空间53，并且穿透式电子显微镜50的真空泵51可对密闭空间53进行抽真空，以形成真空环境。在本实施例中，本体110具有可插入腔体52内的插入部112，以及保持于腔体52外的外接部114。详细而言，如图2所示，本体110的插入部112可经由穿透式电子显微镜50的插入口54插入并且配置于腔体52中。此外，当插入部112插入腔体52内时，连接于插入部112的外接部114仍保持于穿透式电子显微镜50的腔体52之外。

在本实施例中，样品预置装置120及样品传送装置130皆配置于本体110内，并且样品预置装置120耦接样品传送装置130。样品预置装置120可用来承载第一样品10，并且第一样品10可依序藉由样品传送装置130传送至腔体52内的观察区55。此外，当穿透式电子显微镜50每完成一个第一样品10的观察后。样品传送装置130可将第一样品10由密闭空间53中的观察区55传送回样品预置装置120中。同时，样品传送装置130可于密闭空间53内更换并传送下一个欲进行观察的第一样品10。

本实施例的样品传送装置130包括传送机构132以及致动组件134。致动组件134耦接传送机构132以及样品预置装置120。此外，本实施例的致 动组件134可用来驱动传送机构132将第一样品10传送至腔体52内的观察区55。或者，当穿透式电子显微镜50完成第一样品10的观察之后，致动组件134可再驱动传送机构132将第一样品10由观察区55传送回样品预置装置120中。因此，致动组件134可带动传送机构132在样品预置装置120与腔体52内的观察区55之间来回传送第一样品10。再者，本实施例的致动组件134可经由控制线路136电性连接配置于远程的操控主机或系统，以对致动组件134进行操控。

请再参考图1及图2，在本实施例中，样品预置装置120与致动组件134皆是位于本体110的插入部112中。在本体110的插入部112经由插入口54插入腔体52之前，使用者可将多个第一样品10先预置于样品预置装置120中。如图1所示，本实施例的样品固定治具100可另外包括样品加载装置150。在第一样品10被加载样品预置装置120之前，第一样品10可预先储存于样品加载装置150中。在本实施例中，样品加载装置150具有装载腔体152。第一样品10可预置于装载腔体152内，并且第一样品10可分别被贴附并承载于例如是圆盘状的铜网20上。

在本实施例中，多个第一样品10可依观察的先后顺序分批次地预载于样品加载装置150的装载腔体152内，以避免使用者欲同时对多个批次的第一样品10进行观察时，不同批次的第一样品10之间的观察顺序会产生混淆的情形，同时也使得第一样品10在被加载穿透式电子显微镜50进行观察之前，可预先保存于样品加载装置150中，以避免第一样品10的污染。

图3a是本发明一实施例的样品固定治具的样品预置装置的示意图。图3b是图3a的样品预置装置的侧面示意图。请参考图3a及图3b，在本实施例中，样品预置装置120例如是环形的样品预置装置。此外，样品预置装置120可包括壳体122、环状载具124。在本实施例中，环状载具124具有中央轴a1，并且环状载具124可在其相对于中央轴a1的圆周上承载多个第一样品10。再者，上述的样品传送装置130的致动组件134可耦接于环状载具124，并且致动组件134可驱动环状载具124沿中央轴a1旋转。

详细而言，请参考图1、图3a及图3b，本实施例的致动组件134包括动力源134a以及传动件134b，其中动力源134a可为马达或电磁阀。传动件134b耦接于动力源134a与环状载具124之间，以带动环状载具124沿中央轴 a1旋转。此外，传动件134b可包括动力轮134b1，并且动力轮134b1配置于传动件134b与环状载具124相互耦接的位置。同时，环状载具124可包括环状轮124a，其配置于环状载具124的内壁，且环状轮124a耦接于传动件134b的动力轮134b1。详细而言，传动件134b的动力轮134b1可经由动力源134a的驱动而旋转，并且动力轮134b1进一步带动与其互相耦接的环状轮124a沿中央轴a1的轴向旋转。本实施例的环状轮124a与动力轮134b1可为螺旋齿轮组、蜗杆蜗轮组或是斜齿轮组等可实现相同功能的构件组合。

在本实施例中，环状载具124还包括多个沿其圆周配置的托架125。托架125可用来分别承载铜网20以及其上所负载的第一样品10。在本实施例中，托架125例如是u形托架，且托架125具有u形凹口125a。本实施例的托架125可分别沿环状载具124的圆周的法线方向，也就是朝中心轴a1的方向可移动地插置于环状载具124上。

上述的传送机构132还包括传送件132a以及上推件132b。在本实施例中，传送件132a例如是传送杆构件，其用来传送托架125，以将第一样品10传送进入腔体52内的观察区55进行观察。此外，上推件132b设置于环状载具124的圆周内，并且适于沿环状载具124的圆周的法线方向(也就是图3a中的向上箭头方向)推动托架125远离环状载具124。详细而言，样品预置装置120的壳体122具有开口123，其对应上推件132b的推升方向配置。环状轮124a经由动力轮134b1的驱动，将承载第一样品10的托架125依序旋转至对应开口123的位置，并利用上推件132b沿环状载具124的法线方向朝开口123推升插置于环状轮124a上的托架125，进而将托架125推出环状载具124外。

图4a至图4d是依照本发明一实施例的样品固定治具的样品传送装置的作动方式的示意图。如图4a及图4b所示，当上推件132b将插置于环状载具124中的其中一个托架125及其承载的第一样品10朝开口123的方向推升时，传送件132a可经由致动组件134的驱动沿水平方向朝托架125的位置移动。如图4b所示，当上推件132b沿箭头方向推升托架125后，传送件132a可由托架125的u形开口125a与环状载具124之间的间隙穿过，并且停留于u形开口125a中。

接着，请参考图4c及图4d，当传送件132a进入u形开口125a之后， 传送件132a可经由u形开口125a将托架125撑起，并沿图4c中的箭头方向推升，使得托架125离开其原本插置的环状载具124。同时，如图4d所示，当托架125被传送件132a推升后，上推件132b可沿箭头方向下降至原本位于环状载具124的圆周内的初始位置。接着，传送件132a可朝腔体52内的观察区55传送托架125以及其所负载的第一样品10，以将第一样品10加载观察区55内进行观察。在本实施例中，传送件132a接触并负载托架125的位置前后可分别配置凸块132a1，以将托架125固定于传送件132a上，并防止托架125及第一样品10在传送件132a传送的过程中产生前后滑动的现象。

在本实施例中，传送件132a是以传送杆构件为例子做说明。在本发明另一个未显示的实施例中，传送件132a也可为滑轨、皮带与凸轮或者是齿轮与齿条等构件组成的组合结构，用以传送第一样品10。本发明对于传送件132a的组成方式并未加以限制。样品固定治具100可依实际的需求选择适当的构件组成传送件132a来传送托架125及第一样品10进入观察区55中。此外，传送件132a的驱动力的来源除了上述的致动组件134之外，也可以手动施力或是其他的电动或机械的方式来驱动，例如藉由机械力、摩擦力、静电力、压电振动等原理所产生的作用力来驱动传送件132a。

图5a及图5b是依照本发明一实施例的样品传送装置的作动方式的示意图。请参考图4d、图5a以及图5b，承上述的内容，样品传送装置130的传送件132a可将托架125及其所承载的第一样品10沿图5a所示的箭头方向朝观察区55传送。此外，当穿透式电子显微镜50完成第一样品10的观察之后，致动组件134可驱动传送件132a带动托架125水平位移并退至环状载具124的上方。当传送件132a将托架125退至环状载具124的上方后，传送件132a可降低托架125的高度，同时上推件132b上升至托架125的底部的位置，以承载托架125。当托架125的底部被承载于上推件132b上之后，传送件132a可由托架125的u形开口125a与环状载具124之间的间隙离开托架125。同时，上推件132b可下降并带动托架125插置回环状载具124中。

当托架125插置回环状载具124后，动力轮134b1可再次带动环状轮124a及环状载具124旋转，以将下一个欲观察的第一样品10以及承载该第一样品10的托架125传送至对应上推件132b的上推方向以及开口123的位置，以进行下一个第一样品10的传送及观察的步骤。

在本实施例中，由于预置于样品预置装置120内的多个第一样品10可经由样品传送装置130的传送与替换，顺序地传送至穿透式电子显微镜50的腔体52内的观察区55进行观察，而无需在每一个第一样品10完成观察后，为了取出观察完的第一样品10并重载下一个欲观察的第一样品10，即对腔体52内的密闭空间53进行破真空的步骤。因此，穿透式电子显微镜50藉由样品固定治具100来载入第一样品10，可使腔体52在无需将形成于其内的真空环境进行破真空的情形下，顺序地替换并加载预载于样品预置装置120中的第一样品10进入观察区55内进行观察。也因此，在本实施例中，穿透式电子显微镜50的样品加载、退出以及替换的时间可有效地减少，并且进一步减少穿透式电子显微镜50所需的操作时间。

图6a及图6b是依照本发明另一实施例的样品固定治具的示意图。本实施与图1及图2的样品固定治具的结构类似。因此，相同或相似的构件以相同或相似的符号表示，并且不再重复说明。请参考图6a及图6b，本实施例与图1及图2的实施例差异在于，本实施例的样品固定治具200的样品预置装置220及致动组件134是配置于本体210的外接部214中。此外，样品固定治具200具有样品加载装置250，其可将第二样品30预载于其装载腔体252中。本实施例的外接部214具有加载口214a，当插入部212加载至穿透式电子显微镜50的腔体52内时，样品加载装置250可经由加载口214a且沿图6b中的箭头方向可拆卸地组装于外接部214，并耦接于样品预置装置220。样品加载装置250可将第二样品30由其装载腔体252内加载样品预置装置220中。

在本实施例中，当穿透式电子显微镜50完成样品加载装置250所装载的全部第二样品30的观察后，需更换下一批的第二样品30来进行观察时，使用者可无需将整个样品固定治具200由穿透式电子显微镜50的腔体52内退出。使用者可直接经由加载口214a将装载下一批第二样品30的另一个样品加载装置250耦接于样品预置装置220，以将装载腔体252内所装载的第二样品30载入本体210中。因此，本实施例的穿透式电子显微镜50可在其腔体52内的密闭空间53无需进行破真空的情形下，直接经由样品加载装置250的拆卸与更换，来替换欲进行观察的第二样品30。

在另一个未显示的实施例中，样品预置装置220本身亦可如样品加载装置250经由加载口214a可拆卸地组装于外接部214中。换言之，在本实施例 中，样品预置装置220可兼具由外部加载样品以及于本体210内预置样品的功能。因此，待观察的样品可预载于样品预置装置220中，并于样品预置装置220组装入本体210的外接部214的过程中，直接被加载本体210内，以进行后续样品传送的步骤。

图7a及图7b是图6a及图6b的样品固定治具的作动方式的示意图。请参考图6a、图6b、图7a以及图7b，在本实施例中，样品加载装置250可拆卸地插置于外接部214的加载口214a，并且样品加载装置250中的第二样品30依序加载样品预置装置220中。当第二样品30加载样品预置装置220后，样品传送装置130可传送第二样品30进入穿透式电子显微镜50的观察区55中进行观察。接着，如图7b所示，当穿透式电子显微镜50完成对于第二样品30的观察后，传送件132可经由致动组件134的带动，而将第二样品30退回至样品预置装置220内的初始位置。

图8是依照本发明一实施例的样品固定治具的操作方法的流程示意图。请参考图8及图2。在本实施例中，样品固定治具100的操作方法步骤可包括：将第一样品10加载样品预置装置120中(步骤s301)。在本实施例中，样品预置装置120及致动组件134皆配置于本体110的插入部114中。接着，将本体110的插入部112插入腔体52中，以使本体110与腔体52结合而形成密闭空间53(步骤s302)，并且穿透式电子显微镜50可对密闭空间53抽真空，以于密闭空间内形成真空环境。然后，样品传送装置130依序将预置于样品预置装置120中的第一样品10传送至密闭空间53内的观察区55中进行观察(步骤s303)。当穿透式电子显微镜50每次完成第一样品10的观察时，样品传送装置130将观察后的第一样品10由观察区55中传送回样品预置装置120(步骤s304)，并且样品传送装置130再将下一个欲观察的第一样品10传送至观察区55中。

在本实施例中，穿透式电子显微镜50的用户可将欲进行观察的同一批次的第一样品10，于本体110的插入部112插入腔体52之前，预先加载样品预置装置120中。因此，当使用者每次完成其中一个第一样品10的观察而欲更换并进行同批次的下一个第一样品10的观察时，无需对形成于密闭空间53内的真空环境进行破真空的步骤，并且无需将样品固定治具100的本体110由腔体52中取出。本实施例的穿透式电子显微镜50可直接经由样品固定治 具100的样品传送装置130在样品预置装置120与观察区55之间传送第一样品10。由于本实施例的穿透式电子显微镜50在每次更换进行观察的第一样品10时，腔体52无需重复地进行破真空以及抽真空的步骤，因此，穿透式电子显微镜50的操作时间可相对大幅地减少。

图9是依照本发明另一实施例的样品固定治具的操作方法的流程示意图。请参考图9及图7a及图7b，在本实施例中，样品固定治具200的操作方法包括：将第二样品30先预载于样品加载装置250中(步骤s401)。接着，将本体210的插入部212结合至腔体52以于腔体52中形成密闭空间53，并将样品加载装置250可拆卸地组装于保持于腔体52外的外接部214，且样品加载装置250耦接样品预置装置220(步骤s402)。当完成上述的步骤后，穿透式电子显微镜50的真空泵51可对密闭空间53进行抽真空的步骤，以于密闭空间53内形成真空环境。在本实施例中，样品预置装置220及致动组件134皆配置于本体210的外接部214中。然后，第二样品30可依序由样品加载装置250的装载腔体252加载样品预置装置220(步骤s403)。接着，样品传送装置130的传送件132a将样品预置装置上的第二样品30依序传送至腔体52内的密闭空间53中的观察区55进行观察(步骤s404)。当穿透式电子显微镜50每次完成第二样品30的观察时，样品传送装置将观察后的第一样品10由观察区55传送回样品预置装置220中(步骤s405)，并且样品传送装置130再将下一个欲观察的第二样品30传送至观察区55。

在本实施例中，穿透式电子显微镜50的用户可将同一批次的多个第二样品30同时载入本体210与腔体52所形成的密闭空间53内的观察区55进行观察。当穿透式电子显微镜每完成一个第二样品30的观察后，而欲加载下一个第二样品30进行观察时，穿透式电子显微镜100无需对形成于密闭空间53内的真空环境进行破真空的步骤，而可直接藉由样品固定治具200的样品传送装置130将下一个欲进行观察的第二样品30传送至观察区55中。

相较于图8的流程图所述的实施例，在本实施例中，当穿透式电子显微镜50完成样品加载装置250内所载的同一批的第二样品30的观察后，穿透式电子显微镜200可藉由外接部214的载入口214a的开关来更换另一个样品加载装置250。因此，在本实施例中，当样品加载装置250所载的同一批的第二样品30完成观察后，而欲更换预载于另一个样品加载装置250中的下一 批次的第二样品30来进行观察时，穿透式电子显微镜50可在无需对密闭空间53进行破真空步骤的情形下，直接藉由更换组装于外接部214上的样品加载装置250来达成上述目的。

综上所述，本发明的上述多个实施例中的样品固定治具，其包括样品预置装置以及样品传送装置配置其本体中。此外，本体可与穿透式电子显微镜的腔体结合，而形成密闭空间。穿透式电子显微镜的观察样品经由样品传送装置载进密闭空间内的观察区。当穿透式电子显微镜使用样品固定治具来预置及传送观察样品时，穿透式电子显微镜可在不需对上述密闭空间进行破真空的步骤的情形下，连续进行多个样品的观察、替换以及加载的步骤。因此，当穿透式电子显微镜进行多个样品的观察时，无需重复地进行腔体抽真空及破真空的步骤。也因此，穿透式电子显微镜的操作时间可大幅的缩短，以进一步提升穿透式电子显微镜的使用效率。

虽然本发明已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的改动与润饰，故本发明的保护范围当视所附权利要求界定范围为准。