镍锡合金纳米孔阵列及其制备方法与流程

文档序号:14686109发布日期:2018-06-14 23:16阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种镍锡合金纳米孔阵列,其特征在于所述的纳米孔的直径为200~400nm,长度为1~6μm。

2.一种制备根据权利要求1所述的镍锡合金纳米孔阵列的制备方法,其特征在于该方法的具体步骤为:

a.将铝箔进行清洗、电化学抛光后,通过纳米压印技术在铝箔表面留下凹坑,再进行扩孔处理;

b.将步骤a所得铝箔表面进行金膜沉积、聚合物的灌注、模板的去除、电化学沉积、聚合物的溶解,最后得到镍锡合金纳米孔阵列。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于所述的步骤a的具体步骤为:先将0.2mm厚99.999%的高纯铝片经过丙酮超声清洗、氮气退火后,放到乙醇和高氯酸的混合液中,750mA恒流条件下进行电化学抛光;通过纳米压印技术在铝箔表面留下凹坑,并将此放入0.3M磷酸溶液中,2~15℃的温度下氧化10~60min;最后放到5wt%H3PO4溶液中扩孔1~2.5h得到孔径为200~400nm、长度为1~6μm的高度有序的大孔氧化铝模板。

4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于所述的金膜的沉积的具体步骤为:将步骤a所得铝箔在真空度为8×10-4Pa,蒸发速率0.3~0.5nm/s条件下,蒸发金膜40~60s。

5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于所述的聚合物的灌注的具体步骤是:将沉积金膜的铝箔表面涂覆一层聚合物,所述的聚合物为PMMA或光刻胶,密封静置6~10h后再自然晾干。

6.根据权利要求2所述的方法,其特征在于所述的模板的去除的具体步骤是:在灌注了聚合物的铝箔的背面中间,用氧化剂混合液将未氧化的铝片去除后,放入5wt%的磷酸溶液中,去除氧化铝模板,得到聚合物纳米棒阵列;所述的氧化剂混合液为:CuCl2和HCl的混合液或SnCl2和HCl的混合液。

7.根据权利要求2所述的方法,其特征在于所述的电化学沉积的具体步骤为:将聚合物纳米棒阵列置于含17.82gL?1NiCl2·6H2O,39.4gL?1SnCl2·2H2O,165.15gL?1K4P2O7,9.38gL?1甘氨酸的电解液中,以Ag/AgCl作为参比电极,铂电极为辅助电极,带有金层的聚合物纳米棒阵列作为工作电极;采用恒电流模式,沉积电位为-1~-6mA,沉积1~5h,制备得到镍锡合金材料。

8.根据权利要求2所述的方法,其特征在于聚合物溶解的具体步骤为:将沉积所得含镍锡材料的铝箔依次放入DMSO、丙酮中至聚合物全部溶解之后,即得排列有序、结构形貌均一的镍锡合金纳米孔阵列。

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