技术总结
本发明公开一种晶圆转向装置，用以将晶圆的摆放方式由平放改变为直放。晶圆转向装置包括一壳体、一转向件和一晶圆载具。壳体包括一开口。转向件连接壳体，用以使壳体旋转，使得开口旋转至朝向一第一方向或一第二方向。晶圆载具位于壳体内，用以承载晶圆。在晶圆从外部以平放的方式放入壳体内部之前，转向件使壳体旋转，使得开口朝向第二方向。当晶圆以平放的方式放入壳体内部之后，转向件使壳体旋转，使得开口朝向第一方向，并且使晶圆承载于晶圆载具，且晶圆的摆放方式由平放改变为直放。
技术研发人员：林生海;高自强
受保护的技术使用者：辛耘企业股份有限公司
文档号码：201610283301
技术研发日：2016.04.29
技术公布日：2017.10.10