导电通孔结构的制作方法与工艺

文档序号:13109078阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及半导体器件的凸块结构。半导体器件的示例性结构包括衬底;位于该衬底上方的接触焊盘;在该衬底上方延伸并在该接触焊盘上方具有开口的钝化层,该开口具有第一宽度;在该开口内的导电通孔;和具有完全覆盖导电通孔的第二宽度的导电柱,其中第一宽度与第二宽度的比值是约0.15至0.55。本发明还提供了一种导电通孔结构。

技术研发人员:张国钦;谢玉宸;
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司;
文档号码:201610405842
技术研发日:2011.10.19
技术公布日:2016.09.21

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