一种GOA阵列基板的制作方法及GOA阵列基板与流程

本发明涉及液晶显示领域，特别涉及一种GOA阵列基板的制作方法及GOA阵列基板。

背景技术：

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板(TFT-LCD)及背光模组。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，两片玻璃基板中间有许多垂直和水平的细小电线，通过通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。

液晶显示面板具有完全平面化、轻、薄以及省电等特点，是图像显示器发展的必然趋势。液晶显示面板多采用矩阵驱动面板控制，所以又叫矩阵控制平板或矩阵显示。现有技术中，矩阵驱动面板上的结构主要由非晶硅、多晶硅和氧化物半导体三类材料制作而成。其中，非晶硅应用最为广泛，它的制程简单，均匀性好，迁移率低；多晶硅制程复杂，迁移率高，单均匀性不好；氧化物半导体均匀性好，制程简单，但是成本较高。一般来说，在制作矩阵驱动面板的时候，都是根据面板的显示需求，来选择其制作的材料。在制作矩阵驱动面板时，显示区域(act i ve area，AA区)电路和周边电路(Gate On Pane l，GOA)两种电路对薄膜晶体管器件特性的最求目的是不一样的，AA区要求薄膜晶体管具有稳定的特性和较低的关态(开态)电流；周边电路则要求薄膜晶体管具有较高的关态(开态)电流。

为了更好地实现GOA的级传功能，一般会在GOA的电路中增加一些下拉电路维持单元，以及防漏电和降低噪声的功能模块，这就导致现有的GOA边框大小要做到7mm左右。但是，随着技术的进步，对于窄边框或者无边框的需求越来越强烈。在实际的矩阵驱动面板中，整个面板的薄膜晶体管都是采用同种材料制作成的，不能满足不同区域对薄膜晶体管的特性需求，造成了一定程度上的特性缺失，也无法实现窄边框。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种GOA阵列基板的制作方法及GOA阵列基板，以有效降低GOA液晶显示面板的边框宽度，实现窄边框的设计。

本发明的技术方案如下：

一种GOA阵列基板，包括周边的GOA区域与中部的显示区域，其包括：

衬底基板；

第一半导体有源层，形成于所述衬底基板的所述GOA区域；

第一绝缘层，形成于所述第一半导体有源层上，并覆盖整个所述衬底基板；

第一栅极与第二栅极，形成于所述第一绝缘层上，所述第一栅极位于所述GOA区域的与所述第一半导体有源层对应处，所述第二栅极位于所述显示区域；

第二绝缘层，形成于所述第一栅极与所述第二栅极上，并覆盖整个所述第一绝缘层；

第二半导体有源层，形成于所述第二绝缘层上，其位于所述显示区域；

第一源极、第一漏极、第二源极与第二漏极，形成于所述第二绝缘层上，其中所述第一源极与所述第一漏极分别穿过所述第一绝缘的过孔与所述第二绝缘层与所述第一半导体有源层两端相接触，所述第二源极与所述第二漏极分别与所述第二半导体有源层两端相接触；

第三绝缘层，形成于所述第二半导体有源层、所述第一源极、所述第一漏极、所述第二源极与所述第二漏极上，并覆盖整个所述第二绝缘层；

驱动电极与像素电极，形成于所述第三绝缘层上，分别位于所述GOA区域与所述显示电路区域，并分别与所述第一漏极及所述第二漏极相接触；

其中，所述第一半导体有源层的电子迁移率高于所述第二半导体有源层的电子迁移率。

优选地，所述第一半导体有源层为多晶硅半导体有源层。

优选地，所述第二半导体有源层为非晶硅半导体有源层或氧化物半导体有源层。

优选地，所述GOA区域的薄膜晶体管为顶栅型结构。

优选地，所述显示区域的的薄膜晶体管为底栅型结构。

一种如上述的GOA阵列基板的制作方法，所述制作方法包括以下步骤：

在衬底基板上形成第一半导体有源层，所述衬底基板包括周边的GOA区域与中部的显示区域，所述第一半导体有源层位于所述GOA区域；

在所述第一半导体有源层上形成第一绝缘层，所述第一绝缘层覆盖所述GOA区域与所述显示区域；

在所述第一绝缘层上分别形成第一栅极与第二栅极，所述第一栅极位于所述第一半导体有源层的中部上方，所述第二栅极位于所述显示区域上方；

在所述第一栅极与所述第二栅极上形成第二绝缘层，所述第二绝缘层覆盖所述GOA区域与所述显示区域；

在所述第二绝缘层上形成第二半导体有源层，所述第二半导体有源层位于所述第二栅极上方；

在所述第一半导体有源层上形成与其对应的第一源极与第一漏极，在所述第二半导体有源层上形成与其对应的第二源极与第二漏极；

在所述第二半导体有源层、所述第一源极、所述第一漏极、所述第二源极与所述第二漏极上形成第三绝缘层，所述第三绝缘层覆盖所述GOA区域与所述显示区域；

在所述第三绝缘层上形成像素电极与驱动电极，所述像素电极位于所述显示区域，其与所述第二漏极相接触，所述驱动电极位于所述GOA区域，其与所述第一漏极相接触；

其中，所述第一半导体有源层的电子迁移率高于所述第二半导体有源层的电子迁移率。

优选地，所述第一半导体有源层为多晶硅半导体有源层，所述第二半导体有源层为非晶硅半导体有源层或氧化物半导体有源层。

优选地，在所述第一绝缘层上分别形成第一栅极与第二栅极，具体包括：

在所述第一绝缘层上沉积一层第一金属层；

对所述第一金属层进行图案化获得所述第一栅极与所述第二栅极。

优选地，在所述第一半导体有源层上形成与其对应的第一源极与第一漏极，在所述第二半导体有源层上形成与其对应的第二源极与第二漏极，具体包括：

在所述第一绝缘层与所述第二绝缘层上形成过孔，以暴露所述第一半导体有源层的两端，且所述第一栅极的两端与所述过孔不相通；

在所述第二绝缘层与所述过孔上沉积第二金属层，其覆盖所述过孔、所述第二绝缘层及所述第二半导体有源层；

对所述第二金属层进行图案化处理，以形成所述第一源极、所述第一漏极、所述第二源极与所述第二漏极。

优选地，所述第一绝缘层、所述第二绝缘层与所述第三绝缘层的制作材料为氧化硅或氧化硅与氮化硅组成的双层膜。

本发明的有益效果：

本发明的一种GOA阵列基板的制作方法及GOA阵列基板，通过在阵列基板的GOA区域使用高迁移率的材料设置半导体有源层，可以将对应的薄膜晶体管做得很小，可以将GOA区域做得很窄，实现了阵列基板超窄边框的设计。

【附图说明】

图1为本发明实施例的阵列基板的制作方法的实施步骤第一步形成的局部图形示意图；

图2为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第二步形成的局部图形示意图；

图3为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第三步形成的局部图形示意图；

图4为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第四步形成的局部图形示意图；

图5为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第五步形成的局部图形示意图；

图6为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第六步形成的局部图形示意图；

图7为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第七步形成的局部图形示意图；

图8为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第不步形成的局部图形示意图；

图9为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第九步形成的完整图形示意图或GOA阵列基板的整体结构示意图；

图10为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施流程总体示意图。

【具体实施方式】

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

实施例一

请参考图9，图9为本发明的一种GOA阵列基板的整体结构示意图，从图9可以看到，本发明的一种GOA阵列基板，包括周边的GOA区域16与中部的显示区域17，其特征在于，其包括：

衬底基板1，用于形成各层图案。

第一半导体有源层2，形成于所述衬底基板1的所述GOA区域16用于作为该GOA区域16的薄膜晶体管的有源层。

第一绝缘层3，形成于所述第一半导体有源层2上，并覆盖整个所述衬底基板1。

第一栅极4与第二栅极5，形成于所述第一绝缘层3上，所述第一栅极4位于所述GOA区域16的与所述第一半导体有源层2对应处，且所述第一栅极4的面积小于所述第一半导体有源层2的面积，用于作为GOA区域16的薄膜晶体管的栅极，所述第二栅极5位于所述显示区域17，用于作为显示区域17的薄膜晶体管的栅极。

第二绝缘层6，形成于所述第一栅极4与所述第二栅极5上，并覆盖整个所述第一绝缘层3。

第二半导体有源层7，形成于所述第二绝缘层6上，其位于所述显示区域17，用于作为显示区域17的薄膜晶体管的有源层。

第一源极8、第一漏极9、第二源极10与第二漏极11，形成于所述第二绝缘层6上，其中所述第一源极8与所述第一漏极9分别穿过所述第一绝缘的过孔15与所述第二绝缘层6的过孔15与所述第一半导体有源层2两端相接触，分别作为GOA区域16的薄膜晶体管的源极和漏极。所述第二源极10与所述第二漏极11分别与所述第二半导体有源层7两端相接触，分别作为显示区域17的薄膜晶体管的源极和漏极。

第三绝缘层12，形成于所述第二半导体有源层7、所述第一源极8、所述第一漏极9、所述第二源极10与所述第二漏极11上，并覆盖整个所述第二绝缘层6。

驱动电极13与像素电极14，形成于所述第三绝缘层12上，分别位于所述GOA区域16与所述显示电路区域，并分别与所述第一漏极9及所述第二漏极11相接触。其中，驱动电极13和像素电极14分别穿过第三绝缘层12与第一漏极9和第二漏极11相接触。

其中，所述第一半导体有源层2的电子迁移率高于所述第二半导体有源层7的电子迁移率。所述第一半导体有源层2为多晶硅半导体有源层，所述第二半导体有源层7为非晶硅半导体有源层或氧化物半导体有源层。

在本实施例中，所述GOA区域16的薄膜晶体管为顶栅型结构。

在本实施例中，所述显示区域17的的薄膜晶体管为底栅型结构。

本发明的一种GOA阵列基板，通过在阵列基板的GOA区域16使用高迁移率的高晶硅材料设置半导体有源层，可以将对应的薄膜晶体管做得很小，可以将GOA区域16做得很窄，实现了阵列基板超窄边框的设计。另外，将在GOA区域16的薄膜晶体管设为顶栅型结构，将显示区域17的薄膜晶体管设为底栅型结构，第一绝缘层3可以同时作为GOA区域16和显示区域17的绝缘层，第一栅极4和第二栅极5可以由同一光罩制作出来，第一源极8、第一漏极9、第二源极10和第二漏极11均可以由同一光罩制作出来，节省了制作步骤和成本。

实施例二

请参考图1～图10，图10为本发明实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施流程总体示意图。

如图10所示，本发明的一种GOA阵列基板的制作方法包括以下步骤：

步骤S 101：通过物理气相沉积工艺，在衬底基板1上形成第一半导体有源层2，所述衬底基板1包括周边的GOA区域16与中部的显示区域17，所述第一半导体有源层2位于所述GOA区域16。所述第一半导体有源层2为高电子迁移率的材料制作而成。优选地，所述第一半导体有源层2为多晶硅半导体有源层。如图1所示，图1为本实施例的阵列基板的制作方法的实施步骤第一步形成的局部图形示意图。

步骤S 102：在所述第一半导体有源层2上形成第一绝缘层3，所述第一绝缘层3覆盖所述GOA区域16与所述显示区域17。如图2所示，图2为本实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第二步形成的局部图形示意图。

步骤S 103：在所述第一绝缘层3上分别形成第一栅极4与第二栅极5，所述第一栅极4位于所述第一半导体有源层2的中部上方，所述第二栅极5位于所述显示区域17上方。如图3所示，图3为本实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第三步形成的局部图形示意图。

在本实施例中，在所述第一绝缘层3上分别形成第一栅极4与第二栅极5，具体包括：

在所述第一绝缘层3上沉积一层第一金属层；

对所述第一金属层进行图案化获得所述第一栅极4与所述第二栅极5。

步骤S 104：在所述第一栅极4与所述第二栅极5上形成第二绝缘层6，所述第二绝缘层6覆盖所述GOA区域16与所述显示区域17。如图4所示，图4为本实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第四步形成的局部图形示意图。

步骤S 105：在所述第二绝缘层6上形成第二半导体有源层7，所述第二半导体有源层7位于所述第二栅极5上方。所述第二半导体有源层7由低电子迁移率的材料制成。优选地，所述第二半导体有源层7为非晶硅半导体有源层或氧化物半导体有源层。如图5所示，图5为本实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第四步形成的局部图形示意图。

步骤S 106：在所述第一半导体有源层2上形成与其对应的第一源极8与第一漏极9，在所述第二半导体有源层7上形成与其对应的第二源极10与第二漏极11。

在本实施例中，在所述第一半导体有源层2上形成与其对应的第一源极8与第一漏极9，在所述第二半导体有源层7上形成与其对应的第二源极10与第二漏极11，具体包括：

在所述第一绝缘层3与所述第二绝缘层6上形成过孔15，以暴露所述第一半导体有源层2的两端，且所述第一栅极4的两端与所述过孔15不相通；

在所述第二绝缘层6与所述过孔15上沉积第二金属层，其覆盖所述过孔15、所述第二绝缘层6及所述第二半导体有源层7；

对所述第二金属层进行图案化处理，以形成所述第一源极8、所述第一漏极9、所述第二源极10与所述第二漏极11。

如图6和图7所示，图6为本实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第六步形成的局部图形示意图，图7为本实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第七步形成的局部图形示意图。

步骤S 107：在所述第二半导体有源层7、所述第一源极8、所述第一漏极9、所述第二源极10与所述第二漏极11上形成第三绝缘层12，所述第三绝缘层12覆盖所述GOA区域16与所述显示区域17。如图8所示，图8为本实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第不步形成的局部图形示意图。

步骤S 108：在所述第三绝缘层12上形成像素电极14与驱动电极13，所述像素电极14位于所述显示区域17，其与所述第二漏极11相接触，所述驱动电极13位于所述GOA区域16，其与所述第一漏极9相接触。如图9所示，图9为本实施例的GOA阵列基板的制作方法的实施步骤第九步形成的完整图形示意图。

在本实施例中，优选所述第一绝缘层3、所述第二绝缘层6与所述第三绝缘层12的制作材料为氧化硅或氧化硅与氮化硅组成的双层膜。

在本实施例中，优选所述第一金属层和所述第二金属层的制作材料为但不限于Al、Ti、Mo、Ag、Cr或其合金中的一种或多种的组合。

本发明的一种GOA阵列基板的制作方法，通过在阵列基板的GOA区域16使用高迁移率的高晶硅材料设置半导体有源层，可以将对应的薄膜晶体管做得很小，可以将GOA区域16做得很窄，实现了阵列基板超窄边框的设计。另外，将在GOA区域16的薄膜晶体管设为顶栅型结构，将显示区域17的薄膜晶体管设为底栅型结构，第一绝缘层3可以同时作为GOA区域16和显示区域17的绝缘层，第一栅极4和第二栅极5可以由同一光罩制作出来，第一源极8、第一漏极9、第二源极10和第二漏极11均可以由同一光罩制作出来，节省了制作步骤和成本。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。