晶圆匣的制作方法

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆匣。

背景技术：

随着半导体产业的飞速发展，对晶圆的需求越来越旺盛。一般来说，晶圆匣是在晶圆的制造工序中，于晶圆的切割、烘烤等工艺流程中用来盛放、运送晶圆的装置。图1是现有技术中的晶圆匣结构示意图。如图1所示，现有技术中的晶圆匣一般包括第一侧壁12、第二侧壁13和连接杆11，所述第一侧壁12和第二侧壁13分别连接于所述连接杆11相对的两侧，所述第一侧壁12与第二侧壁13上横向层叠设置有多条滑槽14，所述第一侧壁12与第二侧壁13的滑槽两两对应并用于承载晶圆，当一晶圆被放置于晶圆匣中时，所述晶圆被插入第一侧壁12与第二侧壁13上两两对应的滑槽中，所述两两对应的滑槽是指使得所述晶圆在同一平面内的滑槽。在所述晶圆匣的第一侧壁12和/或第二侧壁13上沿竖直方向还设置有钢条15，所述钢条15可以沿第一侧壁12或第二侧壁13转动，当将所述晶圆置于晶圆匣的滑槽之后，翻转钢条15至晶圆匣内部，由于每一滑槽14沿横向延伸，而钢条15沿竖直方向，因而翻转钢条15可以防止晶圆滑落。然而，由于钢条15易于转动，在运送或盛装晶圆的过程中，容易造成钢条15损坏或意外旋动，或是工作人员忘记翻转钢条至晶圆匣内部，或是提取晶圆匣时不注意方向性等，这些都容易导致晶圆在晶圆匣中错位滑动，甚至从晶圆匣中掉落出来，从而导致晶圆损坏，严重影响后续工序的进行，使得生产成本大幅度升高，生产效率大大降低。

技术实现要素：

本发明提供一种晶圆匣，用以防止晶圆从晶圆匣中滑落，提高生产效率，降低生产成本。

为了解决上述问题，本发明提供了一种晶圆匣，包括两相对设置的侧壁，两侧壁相对的内侧面分别对应设置有多条晶圆槽；其特征在于，至少一所述侧壁的边缘处沿竖直方向设置有一开口，所述开口内设置有沿竖直方向滑动的限位件，所述限位件上设置有多个凸块，所述凸块的数量与所述晶圆槽数量相等，且相邻凸块之间的距离与相邻晶圆槽之间的距离相等；当所述晶圆匣处于装卸晶圆的第一状态时，所述限位件上相邻凸块之间的间隙与晶圆槽对应；当所述晶圆匣处于运输晶圆的第二状态时，所述限位件上的凸块与所述晶圆槽对应。

优选的，所述限位件包括第一基板以及位于第一基板上的第二基板，所述凸块位于所述第二基板上，所述第一基板的两端各设置有一缺口，两固定件分别在两个缺口处与所述第二基板连接，所述固定件将所述限位件固定于一所述侧壁上。

优选的，所述固定件呈矩形，且两端各具有一通孔，所述固定件在两通孔之间的部位与所述第二基板连接，在所述通孔内设置螺丝连接所述固定件与一所述侧壁。

优选的，所述缺口的宽度大于所述固定件的宽度。

优选的，所述固定件与所述第二基板通过焊接的方式连接。

优选的，相邻所述凸块之间的间隙距离不小于所述晶圆的厚度。

优选的，所述限位件和所述固定件采用金属或有机高分子材料构成。

优选的，当所述晶圆匣处于所述第一状态时，所述限位件的一侧与所述开口的边缘卡合固定。

本发明在传统晶圆匣的基础上增加了限位件，限位件上设置有一侧壁上的晶圆槽数量相等的凸块，由于相邻凸块之间的距离与晶圆匣上相邻晶圆槽之间的距离相等，晶圆匣处于运输晶圆的状态时，所述限位件由于重力作用自然下滑，使得限位件上的每一凸块位置恰好与晶圆槽的位置对应，从而卡合晶圆，故不需要进行钢条的翻转，就能有效的防止晶圆从晶圆匣中滑落，提高了生产效率，降低了生产成本。

附图说明

图1是现有技术中的晶圆匣结构示意图；

图2是本发明具体实施方式的晶圆匣结构示意图；

图3是本发明具体实施方式的限位件结构示意图；

图4是本发明具体实施方式的固定件结构示意图；

图5A是本发明具体实施方式的限位件部位内侧结构示意图；

图5B是本发明具体实施方式的限位件部位外侧结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明的技术方案作详细说明。

本发明提供一种晶圆匣，图2是本发明具体实施方式的晶圆匣结构示意图。如图2所示，所述的晶圆匣包括相对设置的第一侧壁22和第二侧壁23，以及用于连接所述第一侧壁22和所述第二侧壁23的连接件21。为了便于工作人员移动晶圆匣，一般还在所述晶圆匣上所述连接件21的相对侧设置有把手。在所述第一侧壁22与所述第二侧壁23之间形成一容置空间，用于容纳晶圆。所述第一侧壁22与第二侧壁23的材料可以为金属材料，也可以为有机高分子材料，本领域技术人员可以根据实际需要进行选择。本发明对所述连接件21的形状并不作限定，可以为连接板或连接杆，只需要将第一侧壁22与第二侧壁23连接为一体即可。所述连接件的数量可以根据实际需要进行设定，可以仅在第一侧壁22和第二侧壁23的一侧设置，也可以在第一侧壁22和第二侧壁23的两侧同时设置。

所述第一侧壁22和所述第二侧壁23相对的内侧面分别设置有多条晶圆槽24，所述第一侧壁22与所述第二侧壁23上的晶圆槽24两两对应并用于承载晶圆。所述两两对应是指，将晶圆置于两侧壁上的晶圆槽24后，所述晶圆在同一平面内。晶圆槽24数量和深度的设置属于本领域技术人员所熟知的技术手段，在此不再赘述。

为了防止晶圆滑落，如图2所示，本发明在所述第一侧壁22和/或所述第二侧壁23的边缘处沿垂直于晶圆槽24的方向设置有一开口，用于防止晶圆滑落的限位件26安装于所述开口内。

图3是本发明限位件26的结构示意图。如图3所示，所述的限位件26呈矩形结构，其上表面设置有多个凸块37，相邻所述凸块37之间的距离与第一侧壁22或第二侧壁23上相邻晶圆槽24之间的距离相等。相邻所述凸块37之间的距离优选为0.4cm。为了便于承载晶圆，相邻所述凸块37之间的间隙距离不小于所述晶圆的厚度。所述凸块37的高度可以根据实际需要进行设定，优选为0.8cm。当所述晶圆匣处于装卸晶圆的第一状态时，所述限位件26上相邻凸块37之间的间隙与所述晶圆槽24的位置对应；当所述晶圆匣处于运输晶圆的第二状态时，所述限位件26上的凸块37与所述晶圆槽的位置对应。因而，在使用本发明提供的晶圆匣时，当将装载晶圆的晶圆匣立起从而运输晶圆的过程中，所述限位件26因重力作用自动下滑，所述限位件26上的凸块恰好对应于晶圆槽的位置，从而有效的卡合住晶圆，防止晶圆的滑落。

图4是本发明具体实施方式的固定件结构示意图，图5A是本发明具体实施方式的限位件部位内侧结构示意图，图5B是本发明具体实施方式的限位件部位外侧结构示意图。较佳的，为了便于将所述限位件26固定于所述第一侧壁22或第二侧壁23上，如图4所示，所述限位件26可以包括第一基板381以及位于所述第一基板381上的第二基板382，所述凸块37位于所述第二基板382上，在所述第一基板381上设置有缺口39，所述缺口39位于第一基板381的两端部，两个固定件40分别在两个缺口39处与第二基板382连接，所述连接方式优选为焊接。所述固定件40呈矩形结构，其两端分别设有一通孔，通过在所述通孔401内设置螺丝来连接所述固定件40与第一侧壁22或第二侧壁23。即所述固定件40在其中部与第二基板连接，在其两端分别与第一侧壁22或第二侧壁23螺接。其中，为了便于固定，所述固定件40的宽度小于所述缺口39的宽度。所述限位件26与所述固定件40的材料可以根据实际需要进行选择，可以为金属或有机高分子材料，优选为钢材。

优选的，还可以在限位件26的一侧设置卡合部件，当所述晶圆匣处于装卸晶圆的第一状态时，所述限位件26一侧的卡合部件与所述开口的边缘卡合固定，便于装载晶圆。

本发明在传统晶圆匣的基础上增加了限位件，限位件上设置有一侧壁上的晶圆槽数量相等的凸块，由于相邻凸块之间的距离与晶圆匣上相邻晶圆槽之间的距离相等，晶圆匣处于运输晶圆的状态时，所述限位件由于重力作用自然下滑，使得限位件上的每一凸块位置恰好与晶圆槽的位置对应，从而卡合晶圆，故不需要进行钢条的翻转，就能有效的防止晶圆从晶圆匣中滑落，提高了生产效率，降低了生产成本。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。