一种金刚线切片的制绒方法与流程

本发明属于光伏设备制造技术领域，特别是涉及一种金刚线切片的制绒方法。

背景技术：

目前金刚线切割硅片逐渐替换了砂浆线切割方式，是因为金刚线成本低，速度快，收益高，清洁污染小。

但是，金刚线切割硅片表面的损伤层少，硅片表面光滑，因此金刚线切割片无法利用常规酸制绒工艺获得优质均匀的绒面结构，而是需要利用RIE或者MCT工艺进行制绒。其中，RIE为干法刻蚀技术的一种，即反应离子刻蚀技术，需要利用射频装置和SF₆气体，设备成本高，并且气体对环境造成污染，MCT为湿法刻蚀的一种，即金属诱导催化技术，需要利用重金属离子(例如Ag离子)，从而对制程引入杂质，对环境造成污染。

技术实现要素：

为解决上述问题，本发明提供了一种金刚线切片的制绒方法，能够避免对制程引入杂质和对环境引入污染，且降低制绒成本。

本发明提供的一种金刚线切片的制绒方法，包括：

向金刚线切片的表面喷射微型颗粒，形成粗糙的表面，为制绒提供反应活化点；

在所述金刚线切片的表面利用酸制绒工艺制备绒面结构。

优选的，在上述金刚线切片的制绒方法中，

所述向金刚线切片的表面喷射微型颗粒为：

将喷射部件固定，移动所述金刚线切片，直到所述金刚线切片的全部表面喷射完毕。

优选的，在上述金刚线切片的制绒方法中，

所述向金刚线切片的表面喷射微型颗粒为：

以1.8kg至2.2kg的压缩空气喷射压力向所述金刚线切片的表面喷射微型颗粒。

优选的，在上述金刚线切片的制绒方法中，

所述向金刚线切片的表面喷射微型颗粒为：

向所述金刚线切片的表面喷射直径范围为5μm至20μm的微型颗粒。

优选的，在上述金刚线切片的制绒方法中，

所述向金刚线切片的表面喷射微型颗粒为：

向金刚线切片的表面喷射氧化铝微型颗粒、碳化硅微型颗粒、氧化硅微型颗粒或碳酸钠微型颗粒。

优选的，在上述金刚线切片的制绒方法中，

所述在所述金刚线切片的表面利用酸制绒工艺制备绒面结构包括：

利用氢氟酸硝酸体系对所述金刚线切片的表面腐蚀，形成腐蚀坑；

利用去离子水清洗残留的酸液；

碱洗去除多孔硅，水洗清除残留的碱液；

利用氢氟酸盐酸体系去除金属杂质和形成表面憎水层；

利用水去除表面残留酸液，并干燥所述金刚线切片。

优选的，在上述金刚线切片的制绒方法中，

所述移动金刚线切片为以3.0mm/s至5.0mm/s的速度范围移动所述金刚线切片。

通过上述描述可知，本发明提供的上述金刚线切片的制绒方法，由于包括：向金刚线切片的表面喷射微型颗粒，形成粗糙的表面，为制绒提供反应活化点；在所述金刚线切片的表面利用酸制绒工艺制备绒面结构，因此能够避免对制程引入杂质和对环境引入污染，且降低制绒成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的第一种金刚线切片的制绒方法的示意图。

具体实施方式

本发明的核心思想在于提供一种金刚线切片的制绒方法，能够避免对制程引入杂质和对环境引入污染，且降低制绒成本。

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本申请实施例提供的第一种金刚线切片的制绒方法如图1所示，图1为本申请实施例提供的第一种金刚线切片的制绒方法的示意图，该方法包括如下步骤：

S1：向金刚线切片的表面喷射微型颗粒，形成粗糙的表面，为制绒提供反应活化点；

需要说明的是，金刚线切割具有半抛光作用，得到的切片表面的损伤层少，硅片表面光滑，因此无法得到均匀有效的绒面结构，而只能采用RIE和MCT技术进行制绒，但是成本较高，且污染环境，而本申请实施例采用喷射微型颗粒的方式来形成粗糙的表面，不会带来任何环境污染，也不会给硅片引入杂质，而且通过微型颗粒不断击打金刚线切片的表面，使表面变得粗糙，就利于制绒。

S2：在所述金刚线切片的表面利用酸制绒工艺制备绒面结构。

需要说明的是，正是由于上一步骤形成了反应活化点，因此无需采用RIE和MCT技术，而是采用常规的酸制绒工艺，就能够在金刚线切片的表面制备绒面结构，这种技术比较成熟，而且成本低。

通过上述描述可知，本申请实施例提供的上述第一种金刚线切片的制绒方法，由于包括向金刚线切片的表面喷射微型颗粒，形成粗糙的表面，为制绒提供反应活化点；在所述金刚线切片的表面利用酸制绒工艺制备绒面结构，因此能够避免对制程引入杂质和对环境引入污染，且降低制绒成本。

本申请实施例提供的第二种金刚线切片的制绒方法，是在上述第一种金刚线切片的制绒方法的基础上，还包括如下技术特征：

所述向金刚线切片的表面喷射微型颗粒为：

将喷射部件固定，移动所述金刚线切片，直到所述金刚线切片的全部表面喷射完毕。

也就是说，喷射部件固定不动，硅片横向移动，移动速度与制绒设备保持一致，直到将整个金刚线切片的全部表面形成粗糙面，便于利用常规工艺进行制绒。

本申请实施例提供的第三种金刚线切片的制绒方法，是在上述第二种金刚线切片的制绒方法的基础上，还包括如下技术特征：

所述向金刚线切片的表面喷射微型颗粒为：

以1.8kg至2.2kg的压缩空气喷射压力向所述金刚线切片的表面喷射微型颗粒。

需要说明的是，利用这种优选的压力范围进行喷射，既不会对金刚线切片造成损伤，又能够保证表面具有足够的粗糙度，方便制绒。

本申请实施例提供的第四种金刚线切片的制绒方法，是在上述第三种金刚线切片的制绒方法的基础上，还包括如下技术特征：

所述向金刚线切片的表面喷射微型颗粒为：

向所述金刚线切片的表面喷射直径范围为5μm至20μm的微型颗粒。

这种尺寸范围的微型颗粒能够在金刚线切片的表面击打出足够深的坑，且历经一段时间之后，可以保证坑的分布均匀性，从整体上来看，成为一个粗糙的表面，就能够提供制绒的活化点，便于利用传统工艺进行制绒。

本申请实施例提供的第五种金刚线切片的制绒方法，是在上述第四种金刚线切片的制绒方法的基础上，还包括如下技术特征：

所述向金刚线切片的表面喷射微型颗粒为：

向金刚线切片的表面喷射氧化铝微型颗粒、碳化硅微型颗粒、氧化硅微型颗粒或碳酸钠微型颗粒。

需要说明的是，这些种类的颗粒均具有足够高的强度和刚性，保证喷射后在金刚线切片表面出坑的高效性，且获得成本较低。

本申请实施例提供的第六种金刚线切片的制绒方法，是在上述第一种至第五种金刚线切片的制绒方法中任一种的基础上，还包括如下技术特征：

所述在所述金刚线切片的表面利用酸制绒工艺制备绒面结构包括：

利用氢氟酸硝酸体系对所述金刚线切片的表面腐蚀，形成腐蚀坑，这些腐蚀坑对光具有反射效果，增加了光二次吸收的几率，降低了反射率；

利用去离子水清洗残留的酸液；

碱洗去除多孔硅，方便后续工艺生长镀膜，水洗清除残留的碱液；

利用氢氟酸盐酸体系去除金属杂质和形成表面憎水层，保护硅片表面，隔绝水汽影响；

利用水去除表面残留酸液，并干燥所述金刚线切片。

上述这些步骤均是传统的工艺步骤，利用成本较低的试剂，实现高效制绒。

本申请实施例提供的第七种金刚线切片的制绒方法，是在上述第二种金刚线切片的制绒方法的基础上，还包括如下技术特征：

所述移动金刚线切片为以3.0mm/s至5.0mm/s的速度范围移动所述金刚线切片。

需要说明的是，该速度范围是与产线滚动式制绒工艺匹配的数据，便于产线量产化处理。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。