一种读出电路铟球获取方法与流程

本发明涉及红外焦平面探测器技术领域，特别涉及一种读出电路铟球获取方法。

背景技术：

目前，红外焦平面探测器的倒装互连从原理上可以分为两种：一种是只在读出电路端生长铟柱的单铟柱互连；另一种是探测器端和读出电路端均生长铟柱的双面铟柱互连，这两种方法各有优缺点。

第一种方法可以不需要在红外焦平面探测器上面进行铟柱的生长，不会对探测器性能产生损伤，而且减少了工艺步骤，缩短工艺时长，有利于产能提升。

第二种双面铟柱的互连方式是红外焦平面探测器技术另外一种方式，即读出电路和探测器均生长铟柱后进行互连。这种方式可以提高铟柱高度，最终完成互连。

当采用第一种方法时，需要在读出电路端生长出足够高的铟柱，但目前由于受工艺以及设备所限制，并不能够获得足够高的铟柱进行互连。

技术实现要素：

为了在读出电路端生长出足够高的铟柱，本发明提供了一种读出电路铟球获取方法。

本发明提供的读出电路铟球获取方法，包括以下步骤：

在读出电路上生长铟柱；

配置成球液，并将所述成球液加热至预设温度，得到起球液；

将带有铟柱的读出电路浸入所述起球液中保持预设时间，得到铟球。

本发明有益效果如下：

本发明实施例通过将铟柱融化成球的方式大幅增加读出电路铟球高度，具有铟球的红外焦平面读出电路与探测器互联效果牢固，可靠性强，为共片技术提供了基础。

附图说明

图1是本发明实施例读出电路铟球获取方法的流程图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

为了在读出电路端生长出足够高的铟柱，本发明提供了一种读出电路铟球获取方法，以下结合附图以及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不限定本发明。

根据本发明的实施例，提供了一种读出电路铟球获取方法，图1是本发明实施例读出电路铟球获取方法的流程图，如图1所示，根据本发明实施例的读出电路铟球获取方法包括如下处理：

步骤101，在读出电路上生长铟柱。

具体的，步骤101在读出电路上生长铟柱包括以下步骤：

在读出电路上生长打底层；

在所述打底层上生长铟柱。

具体的，所述打底层为易与铟结合的材料，更加具体的，所述打底层材质为尺寸为Φ5的钛层、钯层、金层，所述钛层、钯层、金层厚度分别为0.3μm、0.2μm、0.3μm；通过热蒸发的方式将铟蒸发在打底层上。

具体的，在读出电路上生长铟柱之后还包括以下步骤：

去除带有铟柱的读出电路表面的铟渣。

虽然铟的性质柔软，可塑性强，并有延展性，但其粘度大，所以很难去除去其铟渣，顾将所需部分使用光刻胶保护起来，再使用酸将需要去除铟渣的地方进行去渣处理，通过此种方法将读出电路表面的铟渣尽可能的去除干净。

具体的，去除带有铟柱的读出电路表面的铟渣包括以下步骤：

在所述铟柱表面涂光刻胶后，将带有铟柱的读出电路在酸溶液中进行超声处理，以去除读出电路表面的铟渣，其中，所述酸溶液中按体积比，丙酮：水：乙醇＝2：1：1；

去除所述铟柱表面的光刻胶。具体的，可使用丙酮浸泡去除所述铟柱表面的光刻胶。

步骤102，配置成球液，并将所述成球液加热至预设温度，得到起球液。

具体的，起球液是以耐高温的有机溶剂为主要原料，配以氯化锌为辅助原料。所述耐高温的有机溶剂可以为乙二醇等，所述起球液中乙二醇与氯化锌体积质量比为400～600ml：25～50g。作为一种具体的实施方式，所述成球液可以为500ml乙二醇与30g的氯化锌组成的混合物。

所述起球液在制备方法为在有机溶剂中加入氯化锌粉末，并通过混胶去泡机进行混合，放置1～2周。

具体的，在定制的8-20mm厚的耐高温容器中，并将所述成球液加热至预设温度，得到起球液。所述预设温度为150～200℃，优选为150℃。温度过低会成球失败，温度过高会对成球后铟球表面产生化学反应，使得铟球边缘出现异物，影响互连效果。

步骤103，将带有铟柱的读出电路浸入所述起球液中保持预设时间，得到铟球。

具体的，所述预设时间为5～10分钟。

优选的，将带有铟柱的读出电路浸入所述起球液中保持预设时间，得到铟球之后还包括以下步骤：

去除带有铟球的读出电路表面的成球液。

具体的，去除带有铟球的读出电路表面的成球液包括以下步骤：

将除带有铟球的读出电路浸入到去球液中浸泡后吹干。所述去球液可以根据有机溶剂的易溶性来进行选择和配置，具体的，所述去球液中按体积比，水：乙醇＝1:(1.5～2)，优选为1:1.5。

为了更加详细的说明本发明的读出电路铟球获取方法，给出实例1。

本发明提供一种红外焦平面探测器所使用八寸读出电路铟球获取方法，包括下列步骤：

步骤A：将具备焊点的读出电路进行生长铟柱前的打底层生长，打底层需要一种易与铟结合的材料。

步骤B：进行铟柱的生长，根据所需铟柱的高度生长铟柱。

步骤C：将生长完铟柱后的八寸读出电路进行剥离的预处理，虽然铟的性质柔软，可塑性强，并有延展性，但其粘度大，所以很难去除去其铟渣，顾将所需部分使用光刻胶保护起来，再使用酸将需要去除铟渣的地方进行去渣处理，通过此种方法将读出电路表面的铟渣尽可能的去除干净。

步骤D：采用湿法对铟柱进行成球处理。起球液是以耐高温的有机溶剂为主要原料，配以氯化锌为辅助原料，在一瓶有机溶剂中加入25～50g氯化锌粉末，并通过混胶去泡机进行混合，放置1～2周。将起球液放置在定制的8～20mm厚的耐高温容器中，加热到高于铟所需要融化的温度，保持10min使起球液状态保持稳定；

步骤E：将生长完铟柱后的八寸读出电路放入配置的成球液中，成球液即为加热到所需温度的起球液；

步骤F：将八寸读出电路放入起球液中加热5min成球后取出；

步骤G：将成球后的八寸读出电路放入配置好的纯水与无水乙醇以1：(1.5～2)比例混合而成的去球液中浸泡1h，之后用喷枪对读出电路表面进行清理。

本发明实施例提供的读出电路铟球获取方法，是实现均匀铟球焊点均匀性好的方法，获得铟球后可以直接进行互连操作。

以上所述仅为本发明的实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的权利要求范围之内。