一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备的制作方法

本发明涉及一种晶圆清洗设备，尤其涉及一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备。

背景技术：

电子产品，是指供日常消费者生活使用之电子产品。它属于特定的家用电器，内有电子元件，通常会应用于娱乐、通讯以及文书用途，例如电话、音响器材、电视机、DVD播放机甚至电子钟等。消费电子产品于世界各地均有制造。从工业和信息化部运行监测协调局了解到，2012年1～11月，我国电子信息产品进出口总额10685亿美元，同比增长4.1%，增速比1～10月提高0.8个百分点。

芯片或称微电路、微芯片、集成电路，在电子学中是一种把电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式，并通常制造在半导体晶圆表面上。在电子学中是一种把电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式，并通常制造在半导体晶圆表面上。前述将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜集成电路。另有一种厚膜混成集成电路是由独立半导体设备和被动组件，集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。本文是关于单片集成电路，即薄膜集成电路。

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。晶圆是最常用的半导体材料，按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，近来发展出12英寸甚至研发更大规格（14英吋、15英吋、16英吋……20英吋以上等）。晶圆越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本；但对材料技术和生产技术的要求更高，例如均匀度等等的问题。一般认为硅晶圆的直径越大，代表着这座晶圆厂有更好的技术，在生产晶圆的过程当中，良品率是很重要的条件。

电子产品主要靠其内的芯片来实现对其的控制，芯片若质量差，会导致理疗仪在工作时不稳定，所以芯片是电子产品内极其重要的部分，芯片主要载体即为晶圆，所以晶圆的质量会影响到芯片的质量，晶圆在制作集成电路之前首先需要进行清洗，目前的晶圆清洗设备存在清洗效果差、清洗速度慢的缺点，因此亟需研发一种清洗效果好、清洗速度快的理疗仪内置芯片生产用晶圆清洗设备。

技术实现要素：

（1）要解决的技术问题

本发明为了克服目前的晶圆清洗设备存在清洗效果差、清洗速度慢的缺点，本发明要解决的技术问题是提供一种清洗效果好、清洗速度快的理疗仪内置芯片生产用晶圆清洗设备。

（2）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了这样一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备，包括有底板、左架、支撑杆、清洗池、出液管、阀门、网板、轴承座、转轴、绕线轮、旋转电机、搅拌叶片、第一定滑轮、第一拉线、支架、第二定滑轮、固定杆、固定板、凸起、滑轨、滑块、顶板、第一弹簧、L型连杆、支杆、弧形摆动杆、顶块、第二弹簧、固定环、第三定滑轮、第二拉线、铰接部件、清洗箱、箱盖和合页，底板顶部左端焊接有左架，底板顶部右侧右侧对称焊接有支撑杆，支撑杆顶端焊接有清洗池，清洗池右壁底部设有出液管，出液管上设有阀门，清洗池内下部通过螺钉连接的方式连接有网板，清洗池底部中心通过螺栓连接的方式连接有轴承座，轴承座内的轴承上过盈连接有转轴，转轴顶部左右对称设有搅拌叶片，搅拌叶片位于清洗池内，转轴下部通过键连接的方式连接有绕线轮，绕线轮上绕有第一拉线，底板顶部中间通过螺栓连接的方式连接有旋转电机，旋转电机的输出轴通过联轴器与转轴连接，左架右侧下部通过支架焊接有第一定滑轮和第二定滑轮，第二定滑轮位于第一定滑轮上方，左架右侧中部对称焊接有固定杆，固定杆右端焊接有固定板，固定板右侧均匀焊接有凸起，左架右侧上部通过螺栓连接的方式连接有滑轨，滑轨上滑动式连接有滑块，滑块与滑轨配合，第一拉线穿过左侧支撑杆，绕过第一定滑轮和第二定滑轮，再穿过固定杆，并通过挂钩连接的方式与滑块底部连接，滑块右侧焊接有L型连杆，左架顶端焊接有顶板，顶板底部与L型连杆之间通过挂钩连接的方式对称连接有第一弹簧，L型连杆中部左侧焊接有支杆，支杆左端通过铰接部件连接有弧形摆动杆，弧形摆动杆左端焊接有顶块，顶块与凸起配合，L型连杆下部右侧通过支架焊接有第三定滑轮，L型连杆底端通过铰接部件连接有清洗箱，清洗箱上均匀开有通孔，清洗箱右壁底部通过螺钉连接的方式连接有合页，合页上通过螺钉连接的方式连接有箱盖，固定环上固定有第二拉线，第二拉线绕过第三定滑轮，并且与清洗箱连接。

优选地，铰接部件包括有凹形板、连接轴和旋转板，连接轴固定安装在凹形板上，在旋转板上设置有通孔，连接轴穿过旋转板上的通孔，并且旋转板通过连接轴转动，支杆上的铰接部件的凹形板焊接在支杆的左端，支杆上的铰接部件的旋转板通过焊接的方式连接有弧形摆动杆，L型连杆上的铰接部件的凹形板焊接在L型连杆的底端，L型连杆上的铰接部件的旋转板通过焊接的方式连接有清洗箱。

优选地，还包括有密封圈，清洗池内底部中心设有密封圈，密封圈与轴承座紧密接触。

优选地，还包括有行程开关，滑轨右侧上下两端通过螺钉连接的方式连接有行程开关，行程开关均通过电路与旋转电机连接。

优选地，旋转电机为伺服电机。

优选地，清洗箱的材质为不锈钢。

优选地，第一拉线和第二拉线的材质为钢丝绳。

工作原理：当需要对晶圆进行清洗时，工人首先往清洗池内倒入五分之四的清洗剂，接着打开箱盖，将需要清洗的晶圆放入到清洗箱内，然后工人控制旋转电机顺时针或逆时针旋转，当旋转电机顺时针旋转时，旋转电机带动转轴顺时针旋转，转轴带动搅拌叶片和绕线轮顺时针旋转，搅拌叶片顺时针旋转搅动清洗剂，绕线轮顺时针旋转将第一拉线绕起，进而通过第一拉线带动滑块向下运动，从而带动L型支杆及其上装置向下运动，第一弹簧被拉伸，使得清洗箱浸入清洗剂内，并且因为顶块与凸起配合，所以顶块向下运动接触到凸起时，顶块会向右运动，带动弧形摆动杆下端向右运动，第二弹簧被压缩，进而带动弧形摆动杆上端向左运动，固定环通过第二拉线拉动清洗箱向右摆动，当顶块与凸起的最右端脱离时，弧形摆动杆下端在第二弹簧的弹力作用下向左运动，进而带动弧形摆动杆上端向右运动，第二拉线被放松，使得清洗箱在惯性作用下向左摆动，当旋转电机逆时针旋转时，旋转电机带动转轴逆时针旋转，转轴带动搅拌叶片和绕线轮逆时针旋转，搅拌叶片逆时针旋转搅动清洗剂，绕线轮逆时针旋转将第一拉线放开，L型支杆及其上装置在第一弹簧的弹力作用下向上运动，使得清洗箱逐步脱离清洗剂，并且清洗箱继续左右摆动，如此反复，搅拌叶片不断搅动清洗剂，并且清洗箱不断浸入到清洗剂内，使得清洗剂对清洗箱内的晶圆进行清洗，清洗箱不断左右摆动，使得其内的晶圆不断翻动，达到了均匀清洗的效果。当晶圆清洗完成，且清洗箱回到初始位置后，工人控制旋转电机停止工作，接着打开箱盖将其内的晶圆取出进行下一步工作，然后工人将阀门打开，清洗剂通过出液管流出，工人对其进行收集，因为有网板的作用，清洗过程中产生的垃圾被网板过滤，保证了清洗剂的循环利用，当清洗剂全部收集完毕后，工人将阀门关闭，并将网板上的垃圾清理干净。

因为铰接部件包括有凹形板、连接轴和旋转板，连接轴固定安装在凹形板上，在旋转板上设置有通孔，连接轴穿过旋转板上的通孔，并且旋转板通过连接轴转动，支杆上的铰接部件的凹形板焊接在支杆的左端，支杆上的铰接部件的旋转板通过焊接的方式连接有弧形摆动杆，L型连杆上的铰接部件的凹形板焊接在L型连杆的底端，L型连杆上的铰接部件的旋转板通过焊接的方式连接有清洗箱，该铰接部件摆动灵活，使装置的使用寿命更长。

因为还包括有密封圈，清洗池内底部中心设有密封圈，密封圈与轴承座紧密接触，防止清洗剂泄漏。

因为还包括有行程开关，滑轨右侧上下两端通过螺钉连接的方式连接有行程开关，行程开关均通过电路与旋转电机连接，当滑块向下运动触碰到下侧行程开关时，下侧行程开关控制旋转电机逆时针旋转，当滑块向上运动触碰到上侧行程开关时，上侧行程开关控制旋转电机顺时针旋转，如此，使得操作更加方便、准确，避免了误操作导致装置损坏。

因为旋转电机为伺服电机，伺服电机能更好的控制其转速，方便调节清洗使得频率。

因为清洗箱的材质为不锈钢，不锈钢耐腐蚀，有效延长了装置的使用寿命。

因为第一拉线和第二拉线的材质为钢丝绳，钢丝绳不易断裂，有效延长了装置的使用寿命。

（3）有益效果

本发明达到了清洗效果好、清洗速度快的效果，并且结构简单、操作方便，减小了工人的劳动强度，提高了工人的工作效率，晶圆表面清洗彻底，提高了芯片生产的质量，进而提升了企业的效益。

附图说明

图1为本发明的第一种主视结构示意图。

图2为本发明铰接部件的立体结构示意图。

图3为本发明的第二种主视结构示意图。

图4为本发明的第三种主视结构示意图。

附图中的标记为：1-底板，2-左架，3-支撑杆，4-清洗池，5-出液管，6-阀门，7-网板，8-轴承座，9-转轴，10-绕线轮，11-旋转电机，12-搅拌叶片，13-第一定滑轮，14-第一拉线，15-支架，16-第二定滑轮，17-固定杆，18-固定板，19-凸起，20-滑轨，21-滑块，22-顶板，23-第一弹簧，24-L型连杆，25-支杆，26-弧形摆动杆，27-顶块，28-第二弹簧，29-固定环，30-第三定滑轮，31-第二拉线，32-铰接部件，321-凹形板，322-连接轴，323-旋转板，33-清洗箱，34-通孔，35-箱盖，36-合页，37-密封圈，38-行程开关。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。

实施例1

一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备，如图1-4所示，包括有底板1、左架2、支撑杆3、清洗池4、出液管5、阀门6、网板7、轴承座8、转轴9、绕线轮10、旋转电机11、搅拌叶片12、第一定滑轮13、第一拉线14、支架15、第二定滑轮16、固定杆17、固定板18、凸起19、滑轨20、滑块21、顶板22、第一弹簧23、L型连杆24、支杆25、弧形摆动杆26、顶块27、第二弹簧28、固定环29、第三定滑轮30、第二拉线31、铰接部件32、清洗箱33、箱盖35和合页36，底板1顶部左端焊接有左架2，底板1顶部右侧右侧对称焊接有支撑杆3，支撑杆3顶端焊接有清洗池4，清洗池4右壁底部设有出液管5，出液管5上设有阀门6，清洗池4内下部通过螺钉连接的方式连接有网板7，清洗池4底部中心通过螺栓连接的方式连接有轴承座8，轴承座8内的轴承上过盈连接有转轴9，转轴9顶部左右对称设有搅拌叶片12，搅拌叶片12位于清洗池4内，转轴9下部通过键连接的方式连接有绕线轮10，绕线轮10上绕有第一拉线14，底板1顶部中间通过螺栓连接的方式连接有旋转电机11，旋转电机11的输出轴通过联轴器与转轴9连接，左架2右侧下部通过支架15焊接有第一定滑轮13和第二定滑轮16，第二定滑轮16位于第一定滑轮13上方，左架2右侧中部对称焊接有固定杆17，固定杆17右端焊接有固定板18，固定板18右侧均匀焊接有凸起19，左架2右侧上部通过螺栓连接的方式连接有滑轨20，滑轨20上滑动式连接有滑块21，滑块21与滑轨20配合，第一拉线14穿过左侧支撑杆3，绕过第一定滑轮13和第二定滑轮16，再穿过固定杆17，并通过挂钩连接的方式与滑块21底部连接，滑块21右侧焊接有L型连杆24，左架2顶端焊接有顶板22，顶板22底部与L型连杆24之间通过挂钩连接的方式对称连接有第一弹簧23，L型连杆24中部左侧焊接有支杆25，支杆25左端通过铰接部件32连接有弧形摆动杆26，弧形摆动杆26左端焊接有顶块27，顶块27与凸起19配合，L型连杆24下部右侧通过支架15焊接有第三定滑轮30，L型连杆24底端通过铰接部件32连接有清洗箱33，清洗箱33上均匀开有通孔34，清洗箱33右壁底部通过螺钉连接的方式连接有合页36，合页36上通过螺钉连接的方式连接有箱盖35，固定环29上固定有第二拉线31，第二拉线31绕过第三定滑轮30，并且与清洗箱33连接。

铰接部件32包括有凹形板321、连接轴322和旋转板323，连接轴322固定安装在凹形板321上，在旋转板323上设置有通孔34，连接轴322穿过旋转板323上的通孔34，并且旋转板323通过连接轴322转动，支杆25上的铰接部件32的凹形板321焊接在支杆25的左端，支杆25上的铰接部件32的旋转板323通过焊接的方式连接有弧形摆动杆26，L型连杆24上的铰接部件32的凹形板321焊接在L型连杆24的底端，L型连杆24上的铰接部件32的旋转板323通过焊接的方式连接有清洗箱33。

还包括有密封圈37，清洗池4内底部中心设有密封圈37，密封圈37与轴承座8紧密接触。

还包括有行程开关38，滑轨20右侧上下两端通过螺钉连接的方式连接有行程开关38，行程开关38均通过电路与旋转电机11连接。

旋转电机11为伺服电机。

清洗箱33的材质为不锈钢。

第一拉线14和第二拉线31的材质为钢丝绳。

工作原理：当需要对晶圆进行清洗时，工人首先往清洗池4内倒入五分之四的清洗剂，接着打开箱盖35，将需要清洗的晶圆放入到清洗箱33内，然后工人控制旋转电机11顺时针或逆时针旋转，当旋转电机11顺时针旋转时，旋转电机11带动转轴9顺时针旋转，转轴9带动搅拌叶片12和绕线轮10顺时针旋转，搅拌叶片12顺时针旋转搅动清洗剂，绕线轮10顺时针旋转将第一拉线14绕起，进而通过第一拉线14带动滑块21向下运动，从而带动L型支杆25及其上装置向下运动，第一弹簧23被拉伸，使得清洗箱33浸入清洗剂内，并且因为顶块27与凸起19配合，所以顶块27向下运动接触到凸起19时，顶块27会向右运动，带动弧形摆动杆26下端向右运动，第二弹簧28被压缩，进而带动弧形摆动杆26上端向左运动，固定环29通过第二拉线31拉动清洗箱33向右摆动，当顶块27与凸起19的最右端脱离时，弧形摆动杆26下端在第二弹簧28的弹力作用下向左运动，进而带动弧形摆动杆26上端向右运动，第二拉线31被放松，使得清洗箱33在惯性作用下向左摆动，当旋转电机11逆时针旋转时，旋转电机11带动转轴9逆时针旋转，转轴9带动搅拌叶片12和绕线轮10逆时针旋转，搅拌叶片12逆时针旋转搅动清洗剂，绕线轮10逆时针旋转将第一拉线14放开，L型支杆25及其上装置在第一弹簧23的弹力作用下向上运动，使得清洗箱33逐步脱离清洗剂，并且清洗箱33继续左右摆动，如此反复，搅拌叶片12不断搅动清洗剂，并且清洗箱33不断浸入到清洗剂内，使得清洗剂对清洗箱33内的晶圆进行清洗，清洗箱33不断左右摆动，使得其内的晶圆不断翻动，达到了均匀清洗的效果。当晶圆清洗完成，且清洗箱33回到初始位置后，工人控制旋转电机11停止工作，接着打开箱盖35将其内的晶圆取出进行下一步工作，然后工人将阀门6打开，清洗剂通过出液管5流出，工人对其进行收集，因为有网板7的作用，清洗过程中产生的垃圾被网板7过滤，保证了清洗剂的循环利用，当清洗剂全部收集完毕后，工人将阀门6关闭，并将网板7上的垃圾清理干净。

因为铰接部件32包括有凹形板321、连接轴322和旋转板323，连接轴322固定安装在凹形板321上，在旋转板323上设置有通孔34，连接轴322穿过旋转板323上的通孔34，并且旋转板323通过连接轴322转动，支杆25上的铰接部件32的凹形板321焊接在支杆25的左端，支杆25上的铰接部件32的旋转板323通过焊接的方式连接有弧形摆动杆26，L型连杆24上的铰接部件32的凹形板321焊接在L型连杆24的底端，L型连杆24上的铰接部件32的旋转板323通过焊接的方式连接有清洗箱33，该铰接部件32摆动灵活，使装置的使用寿命更长。

因为还包括有密封圈37，清洗池4内底部中心设有密封圈37，密封圈37与轴承座8紧密接触，防止清洗剂泄漏。

因为还包括有行程开关38，滑轨20右侧上下两端通过螺钉连接的方式连接有行程开关38，行程开关38均通过电路与旋转电机11连接，当滑块21向下运动触碰到下侧行程开关38时，下侧行程开关38控制旋转电机11逆时针旋转，当滑块21向上运动触碰到上侧行程开关38时，上侧行程开关38控制旋转电机11顺时针旋转，如此，使得操作更加方便、准确，避免了误操作导致装置损坏。

因为旋转电机11为伺服电机，伺服电机能更好的控制其转速，方便调节清洗使得频率。

因为清洗箱33的材质为不锈钢，不锈钢耐腐蚀，有效延长了装置的使用寿命。

因为第一拉线14和第二拉线31的材质为钢丝绳，钢丝绳不易断裂，有效延长了装置的使用寿命。

以上所述实施例仅表达了本发明的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。