一种机械设备的制作方法

本发明涉及半导体领域，特别是涉及一种机械设备。

背景技术：

随着半导体集成电路的竞争不断加剧，半导体集成电路代工厂将向高产能、低成本的方向发展，这对半导体机械设备的稳定性提出了更高的要求。半导体集成电路代工厂扩大产能后，半导体机械设备的使用率上升，设备的运动模块磨损加大，导致设备的稳定性降低，进而导致设备装载精度降低。例如，利用半导体上载具设备将基板或者盖板装载到载具上。载具一般具有定位柱，而基板或者盖板在对应定位柱的位置具有定位孔。若在装载过程中，设备偏离预定行进方向，可能会导致基板或者盖板无法精确装载到载具上，严重时可能会损坏载具上的定位柱。

技术实现要素：

本发明主要解决的技术问题是提供一种机械设备，能够提高机械设备的稳定性。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种机械设备，包括：动力源；第一刚性件，由所述动力源驱动而运动；第二刚性件，与所述第一刚性件机械接触以相对所述第一刚性件运动或静止；第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件与所述第一刚性件具有相对关系，所述第二磁性件与所述第二刚性件具有相对关系，所述第一磁性件与所述第二磁性件通过磁力作用使得两者的相对位置趋于第一预定状态，进而使得所述第一刚性件与所述第二刚性件两者的相对位置趋于第二预定状态。

其中，所述第一磁性件是柱状件，所述第二磁性件是中空管状件，且所述柱状件位于所述中空管状件之内，所述柱状件直径小于所述中空管状件内径。

其中，所述第一预定状态是指所述柱状件外壁与所述中空管状件内壁不接触。

其中，所述第一磁性件是金属柱。

其中，所述第二磁性件包括导磁套管和强磁体，所述强磁体均匀设置于所述导磁套管外围，以在所述导磁套管内形成均匀朝向轴心或远离轴心的磁场。

其中，所述第一预定状态是指所述金属柱与所述导磁套管内壁距离预定距离，所述预定距离为0.5mm-2.0mm。

其中，所述第二刚性件包括第一钣金件；所述第二磁性件的所述强磁体的一面固定在所述第一钣金件上。

其中，所述第一刚性件包括丝杆，所述丝杆的一端与所述动力源固定连接，所述第二预定状态是指所述丝杆与所述第一钣金件机械接触以带动所述第一钣金件沿预定方向行进。

其中，所述设备进一步包括第二钣金件，所述金属柱两端包括固定部，所述固定部固定在所述第二钣金件上；所述金属柱轴心与处于第二预定状态下的所述丝杆轴心相互平行。

其中，当所述丝杆带动所述第二钣金件沿所述预定方向行进时，所述金属柱与固定在所述第二钣金件上的所述强磁体的相对位置处于所述第一预定状态，所述丝杆与所述第二钣金件的相对位置处于所述第二预定状态；当所述丝杆带动所述第二钣金件偏离所述预定方向行进时，所述金属柱的位置不变，固定在所述第二钣金件上的所述强磁体与所述金属柱的相对位置偏离所述第一预定状态，所述金属柱与所述强磁体之间产生使所述强磁体趋向回复到所述第一预定状态的第一磁作用力，所述第一磁作用力进而带动所述第二钣金件及所述丝杆的位置趋向回复到所述第二预定状态。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明所提供的机械设备包括第一磁性件和第二磁性件，利用第一磁性件和第二磁性件之间的磁力作用使得该两者的相对位置趋于第一预定状态，进而使得与第一磁性件具有相对关系的第一刚性件以及与第二磁性件具有相对关系的第二刚性件的相对位置趋于第二预定状态，从而提高设备稳定性，进而提高设备的装载精度。

附图说明

图1是本发明机械设备一实施方式的结构示意图；

图2是图1中第一磁性件与第二磁性件的剖面图；

图3是图1中第一磁性件与第二磁性件的又一剖面图；

图4是图1中第一磁性件与第二磁性件偏离第一预定状态时剖面图。

具体实施方式

请参阅图1，图1为本发明机械设备一实施方式的结构示意图，包括：

动力源10，具体地，动力源10可以是电动机或者其他能够提供驱动力的部件。

第一刚性件12，由动力源10驱动而运动；具体地，第一刚性件12包括丝杆120，丝杆120的一端与动力源10固定连接，在动力源10的驱动下，丝杆120将回转运动转化为直线运行，在其他实施例中，也可为其他类型的传动元件，本发明对此不作限定。

第二刚性件14，与第一刚性件12机械接触以相对第一刚性件12运动或静止；具体地，第二刚性件14包括第一钣金件140，丝杆120与第一钣金件140机械接触以带动第一钣金件140沿预定方向行进；在其他实施例中，请继续参阅图1，为了减小丝杆120与第一钣金件140的机械摩擦，第二刚性件14还包括与第一钣金件140固定连接的滑轨141、142，在丝杆120的传动作用下，使得第一钣金件140通过滑轨141、142沿预定轨道(图未示)行进。

第一磁性件16和第二磁性件18，第一磁性件16与第一刚性件12具有相对关系，第二磁性件18与第二刚性件14具有相对关系，第一磁性件16与第二磁性件18通过磁力作用使得两者的相对位置趋于第一预定状态，进而使得第一刚性件12与第二刚性件14两者的相对位置趋于第二预定状态；具体地，请结合图2，图2为图1中第一磁性件16与第二磁性件18的剖面图，第一磁性件16是柱状件20，第二磁性件18是中空管状件22，且柱状件20位于中空管状件22之内，柱状件20直径小于中空管状件22内径，柱状件20受到中空管状件22的磁作用力处于一个稳定平衡的第一预定状态，该第一预定状态是指柱状件20外壁与中空管状件22内壁不接触。

在一个应用场景中，请继续参阅图1，第一磁性件16是金属柱16，本发明所提供的机械设备进一步包括第二钣金件(图未示)，第二钣金件处于固定位置，即当该机械设备运作时，该第二钣金件的位置稳定不变,金属柱16两端包括固定部160、161，固定部160、161固定在第二钣金件上，金属柱16轴心与处于第二预定状态时丝杆140轴心相互平行。也就是说，当本发明中的机械设备运作时，金属柱16的位置固定，相对水平面静止不动。在本实施例中，金属柱16的固定方式可以是螺丝铆接的方式，在其他实施例中，也可为其他固定方式。

在一个应用场景中，请参阅图3，图3为图1中第一磁性件16与第二磁性件18的又一剖面图。第二磁性件18包括导磁套管30和强磁体32，强磁体32的一面固定在第一钣金件140上，固定方式可以是螺丝铆接或者其他固定方式；强磁体32均匀设置于导磁套管30外围，以在导磁套管30内形成均匀朝向轴心或远离轴心的磁场，如图3中的箭头所示。当强磁体32由至少两块磁铁组成时，导磁套管30还具有固定的作用，即可通过螺丝铆接或者其他方式将强磁铁32固定在导磁套管30上。另外在本实施例中，当金属柱34与强磁体32处于第一预定状态时，金属柱34与导磁套管30内壁距离预定距离，预定距离为0.5mm-2.0mm。

请结合图1、图3、图4，下面将详细解释第一磁性件16和第二磁性件18对机械设备的稳定作用。

当丝杆120带动第一钣金件140沿预定方向行进时，例如此时预定方向为垂直于水平面上下运动，固定在第一钣金件140上的强磁体32也同时垂直于水平面上下运动，固定在第二钣金件(图未示)上的金属柱16(34)静止不动，此时金属柱16(34)处于受力平衡状态，即与固定在第一钣金件140上的强磁体32的相对位置处于第一预定状态，例如，此时金属柱16(34)处于导磁套管30中心，且距离其内壁1.0mm，与此同时丝杆120与第一钣金件140的相对位置处于第二预定状态；

由于设备长期上下运转，不可避免的会出现丝杆120带动第一钣金件140偏离预定方向行进的情况，例如此时丝杆120的运动方向向左偏移一定角度，进而带动第一钣金件140也会相应向左偏移一定角度，此时若不及时使丝杆120和第一钣金件140的位置回复到第二预定状态，即丝杆120与第一钣金件140沿预定方向行进，丝杆120与第一钣金件140左面机械接触面磨损将加剧；金属柱16(34)是固定在静止不动的第二钣金件(图未示)上，金属柱16(34)的位置固定不变，而强磁体32是固定在第一钣金件140上，因此此时强磁体32与金属柱16(34)的相对位置偏离第一预定状态，例如，请参阅图4，此时金属柱16(34)向右偏离导磁套管30中心一定距离，金属柱16(34)与强磁体32之间产生使强磁体32趋向回复到第一预定状态的第一磁作用力，即使强磁体32向右偏移的第一磁作用力，第一磁作用力进而带动第一钣金件140及丝杆120的位置向右偏移，进而使其趋向回复到第二预定状态。

在其他实施例中，也可以把第一磁性件16和第二磁性件18分别设置于所述丝杆120和第一钣金件140，或直接将所述丝杆120和第一钣金件140制作为第一磁性件16和第二磁性件18。

综上所述，区别于现有技术的情况，本发明所提供的机械设备包括第一磁性件和第二磁性件，利用第一磁性件和第二磁性件之间的磁力作用使得该两者的相对位置趋于第一预定状态，进而使得与第一磁性件具有相对关系的第一刚性件以及与第二磁性件具有相对关系的第二刚性件的相对位置趋于第二预定状态，从而提高设备稳定性。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。