一种金属掩膜板夹持装置和框架模组的制作方法

文档序号:11021792阅读:563来源:国知局
一种金属掩膜板夹持装置和框架模组的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种金属掩膜板夹持装置和框架模组,属于显示基板制备技术领域,其可解决现有的金属掩膜板夹持装置只能向金属掩膜板提供长程方向拉伸力导致的金属掩膜板平坦度低的问题。本实用新型的金属掩膜板夹持装置,包括:主夹具、至少一个调节件和与每个所述调节件对应的次夹具,每个所述次夹具与所述主夹具连接,每个所述调节件位于对应的所述次夹具和所述主夹具之间且所述调节件的两端分别与对应的所述次夹具和所述主夹具连接。
【专利说明】
一种金属掩膜板夹持装置和框架模组
技术领域
[0001]本实用新型属于显示基板制备技术领域,具体涉及一种金属掩膜板夹持装置和框架模组。
【背景技术】
[0002]目前,在OLED制备过程中,有机材料的蒸镀是至关重要的一环,蒸镀过程中多要采用超精细金属掩膜板来实现高分辨率的像素设计,随着像素密度越来越高,蒸镀过程中混色等不良产生的概率越来越大。金属掩膜板从来料检查到张网焊接,再从张网到清洗,整个过程中对金属掩膜板的平坦度均有很高的要求,这也是对后续蒸镀工艺的必要保证。
[0003]请参照图1,在现有技术中,通过四个金属掩膜板夹持装置对金属掩膜板的平坦度进行调节,每个金属掩膜板夹持装置即为主夹具1,四个金属掩膜板夹持装置分别夹持在金属掩膜板的四个顶角,在对金属掩膜板的平坦度进行调解时,通过拉伸互为对角的两个金属掩膜板夹持装置以向金属掩膜板提供长度方向(图1中左右方向)上的拉伸力(如图1中箭头所示)。
[0004]但利用这种金属掩膜板夹持装置,只能向金属掩膜板提供长程方向(图1中水平方向)上的拉伸力,对金属掩膜板的短程方向(图1中竖直方向)无法提供拉伸力,使得金属掩膜板在短程方向上存在平坦度差的问题。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种能够提高金属掩膜板平坦度的金属掩膜板夹持装置和框架模组。
[0006]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种金属掩膜板夹持装置,包括:主夹具、至少一个调节件和与每个所述调节件对应的次夹具,每个所述次夹具与所述主夹具连接,每个所述调节件位于对应的所述次夹具和所述主夹具之间且所述调节件的两端分别与对应的所述次夹具和所述主夹具连接。
[0007]其中,所述调节件的数量为两个,每个所述主夹具包括两个子部件,两个所述子部件连接,每个所述调节件与一个对应的所述子部件连接,每个所述次夹具与一个对应的所述子部件连接。
[0008]其中,所述次夹具与对应的所述子部件通过转动轴连接。
[0009]其中,所述次夹具设置有第一固定夹,所述子部件设置有第二固定夹,所述调节件通过所述第一固定夹与所述次夹具连接,所述调节件通过所述第二固定夹与所述子部件连接。
[0010]其中,所述第一固定夹和所述第二固定夹均包括卡槽、固定件和位于卡槽两侧的固定片,所述固定片与所述卡槽连接,所述固定件设置于所述固定片上;所述次夹具设置有与所述第一固定件匹配的第一固定槽,所述主夹具设置有与所述第二固定夹匹配的第二固定槽,所述第一固定夹的固定件设置于所述第一固定槽内以使所述第一固定夹与所述次夹具固定,所述第二固定夹的固定件设置于所述第二固定槽内以使所述第二固定夹与所述主夹具固定;
[0011]所述调节件的一端设置于所述第一固定夹的卡槽内,所述调节件的另一端设置于所述第二固定夹的卡槽内。
[0012]其中,所述卡槽与所述固定片为一体结构,所述固定片设置有固定孔,所述固定件设置于所述固定孔内。
[0013]其中,所述调节件为弹簧。
[0014]作为另一技术方案,本实用新型还提供一种框架模组,包括金属掩膜板和框架,所述框架模组还包括:上述任意一项所述的金属掩膜板夹持装置;
[0015]所述金属掩膜板夹持装置夹持在所述金属掩膜板上,所述金属掩膜板与所述框架固定连接。
[0016]其中,所述金属掩膜板夹持装置的数量为四个,四个所述金属掩膜板夹持装置分别夹持在所述金属掩膜板的四个顶角。
[0017]其中,对于上述的金属掩膜板夹持装置,两个所述子部件分别夹在金属掩膜板的上表面和下表面,夹在所述金属掩膜板的上表面的所述子部件通过对应的一个调节件与对应的一个次夹具连接,夹在所述金属掩膜板的下表面的所述子部件通过对应的另一个调节件与对应的另一个次夹具连接。
[0018]本实用新型的金属掩膜板夹持装置和框架模组中,该金属掩膜板夹持装置包括:主夹具、至少一个调节件和与每个调节件对应的次夹具,每个次夹具与主夹具连接,每个调节件位于对应的次夹具和主夹具之间且调节件的两端分别与对应的次夹具和主夹具连接,主夹具用于向金属掩膜板提供长程方向上的拉伸力,次夹具通过调节件的回复力给金属掩膜板提供短程方向上的拉伸力,通过控制调节件来控制金属掩膜板短程方向上的受力,从而通过主夹具和次夹具分别对金属掩膜板的长程方向和短程方向的平坦度进行调节,以提高金属掩膜板的平坦度。
【附图说明】

[0019]图1为现有的金属掩膜板夹持装置的俯视图;
[0020]图2为本实用新型的实施例1的金属掩膜板夹持装置的俯视图;
[0021]图3为本实用新型的实施例1的金属掩膜板夹持装置的正视图;
[0022]图4为本实用新型的实施例1的金属掩膜板夹持装置中次夹具的结构示意图;
[0023]图5为本实用新型的实施例1的金属掩膜板夹持装置中子部件的结构示意图;
[0024]图6为本实用新型的实施例1的金属掩膜板夹持装置中第一固定夹/第二固定夹的俯视图;
[0025]图7为本实用新型的实施例1的金属掩膜板夹持装置中第一固定夹/第二固定夹的正视图;
[0026]图8为本实用新型的实施例2的框架模组的俯视图;
[0027]图9为金属掩膜板夹持装置30将金属掩膜板10的短程方向拉伸的示意图;
[0028]图10为金属掩膜板夹持装置30将金属掩膜板10的短程方向收缩的示意图
[0029]其中,附图标记为:1、主夹具;11、子部件;12、第二固定夹;121、第二固定槽;2、调节件;3、次夹具;31、第一固定槽;32、第一固定夹;4、转动轴;5、卡槽;6、固定件;7、固定片;71、固定孔;1、金属掩膜板;20、框架;30、金属掩膜板夹持装置。
【具体实施方式】
[0030]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案,下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0031]实施例1:
[0032]请参照图2至图5,本实施例提供一种金属掩膜板夹持装置,包括:主夹具1、至少一个调节件2和与每个调节件2对应的次夹具3,每个次夹具3与主夹具I连接,每个调节件2位于对应的次夹具3和主夹具I之间且调节件2的两端分别与对应的次夹具3和主夹具I连接。
[0033]从图2中可以看出,次夹具3的一端与主夹具I连接,主夹具I和次夹具3之间具有一定夹角,在该夹角内设置有一个调节件2,调节件2的一端与主夹具I连接,调节件2的另一端与次夹具3连接,从而调节主夹具I与次夹具3之间的夹角,以达到调节金属掩膜板10的平坦度的目的。
[0034]主夹具I用于向金属掩膜板10提供长程方向(图中水平方向)上的拉伸力(图中实线箭头所示),次夹具3通过调节件2的回复力给金属掩膜板10提供短程方向(图中竖直方向)上的拉伸力(图中虚线箭头所示),通过控制调节件2来控制金属掩膜板10短程方向上的受力,从而通过主夹具I和次夹具3对金属掩膜板10的长程方向和短程方向的平坦度进行调节,以提高金属掩膜板10的平坦度。
[0035]具体地,可以通过使调节件2的体积减小,从而减小主夹具I的子部件11与次夹具3之间的角度,即调节件2将次夹具3向靠近子部件11的方向拉伸,由于作用力是相反的,此时,次夹具3将会给金属掩膜板10向远离子部件11的方向拉伸力,使金属掩膜板10的边缘向中心收缩;通过使调节件2的体积增大,从而增大主夹具I的子部件11与次夹具3之间的角度,即调节件2将次夹具3向远离子部件11的方向拉伸,由于作用力是相反的,此时,次夹具3将会给金属掩膜板10向靠近子部件11的方向拉伸力,使金属掩膜板10的边缘向外侧拉伸,从而实现对金属掩膜板10的短程方向的拉伸。
[0036]其中,调节件2的数量为两个,每个主夹具I包括两个子部件11,两个子部件11连接,每个调节件2与一个对应的子部件11连接,每个次夹具3与一个对应的子部件11连接。
[0037]请参照图3,每个主夹具I包括两个子部件11,两个子部件11通过连接件(图中未示出)连接,一个次夹具3与一个子部件11连接,每个次夹具与其对应的子部件11之间设置有调节件2,调节件2的一端与次夹具3连接,调节件2的另一端与子部件11连接。
[0038]可以理解的是,当金属掩膜板夹持装置夹持在金属掩膜板10上时,主夹具I的两个子部件11分别夹持在金属掩膜板10的上表面和下表面,与每个子部件11对应的次夹具3和调节件2夹持在金属掩膜板10的上表面或下表面。
[0039]其中,次夹具3与对应的子部件11通过转动轴4连接。
[0040]请参照图4,由于次夹具3与对应的子部件11通过转动轴4连接,也就是说,次夹具与对应的子部件11之间的角度不是固定的,可以通过调节件2调节次夹具3和其对应的子部件11之间的角度,从而对金属掩膜板10的平坦度进行调节。需要说明的是,在本实施例中并不对转动轴4的具体结构进行限定,其只要能够起到将次夹具3和与之对应的子部件11连接且其二者之间的角度可以调节的作用即可,在此不再赘述。
[0041]其中,次夹具3设置有第一固定夹32,子部件11设置有第二固定夹12,调节件2通过第一固定夹32与次夹具3连接,调节件2通过第二固定夹12与子部件11连接。
[0042]请参照图4和图5,在次夹具3朝向子部件11的一侧设置有第一固定夹32,调节件2的一端设置在第一固定夹32中,以使调节件2与次夹具3连接;相应的,在子部件11朝向其对应的次夹具3的一侧设置有第二固定夹12,调节件2的另一端设置在第二固定夹12中,以使调节件2与子部件11连接,需要说明的是,子部件11上还应设置有与转动轴4匹配的凹槽(图中未示出),在此不再赘述。
[0043]请参照图6和图7,其中,第一固定夹32和第二固定夹12均包括卡槽5、固定件6和位于卡槽5两侧的固定片7,固定片7与卡槽5连接,固定件6设置于固定片7上;次夹具3设置有与第一固定件6匹配的第一固定槽31,主夹具I设置有与第二固定夹12匹配的第二固定槽121,第一固定夹32的固定件6设置于第一固定槽31内以使第一固定夹32与次夹具3固定,第二固定夹12的固定件6设置于第二固定槽121内以使第二固定夹12与主夹具I固定;调节件2的一端设置于第一固定夹32的卡槽5内,调节件2的另一端设置于第二固定夹12的卡槽5内。
[0044]其中,卡槽5与固定片7为一体结构,固定片7设置有固定孔71,固定件6设置于固定孔71内。
[0045]从图6和图7中可以看出,卡槽5的两侧分别设置有固定片7,形成类似“几”字形的结构,固定片7上设置有固定孔71,固定件6设置于固定孔71内;次夹具3上设置有与固定件6匹配的第一固定槽31,第一固定槽31的位置与固定孔71对应,将固定件6穿过固定孔71最终设置在第一固定槽31中,从而将第一固定夹32与次夹具3固定在一起;相应的,主夹具I的子部件11上设置有与固定件6匹配的第二固定槽121,第二固定槽121的位置与固定孔71对应,将固定件6穿过固定孔71最终设置在第二固定槽121中,从而将第二固定夹12与主夹具I的子部件11固定在一起。
[0046]调节件2的一端设置在第一固定夹32的卡槽5内,调节件2的另一端设置于第二固定夹12的卡槽5内,从而通过调节件2调节主夹具I的子部件11和其对应的次夹具3之间的角度。
[0047]当然,卡槽5与固定片7也可以采用分体结构,本实施例中之所以将卡槽5与固定片7设置为一体结构,是为了能够简化第一固定夹32/第二固定夹12的结构,在此不再赘述。
[0048]其中,调节件2为弹簧。
[0049]当然,调节件2的具体类型并不局限于此,还可以采用其他类型的调节装置作为调节件2,只要能够用于调节次夹具3和其对应的子部件11之间的角度即可,在此不再赘述。
[0050]本实施例的金属掩膜板夹持装置包括:主夹具1、至少一个调节件2和与每个调节件2对应的次夹具3,每个次夹具3与主夹具I连接,每个调节件2位于对应的次夹具3和主夹具I之间且调节件2的两端分别与对应的次夹具3和主夹具I连接,主夹具I用于向金属掩膜板10提供长程方向上的拉伸力,次夹具3通过调节件2的回复力给金属掩膜板10提供短程方向上的拉伸力,通过控制调节件2来控制金属掩膜板10短程方向上的受力,从而通过主夹具I和次夹具3分别对金属掩膜板10的长程方向和短程方向的平坦度进行调节,以提高金属掩膜板10的平坦度。
[0051 ] 实施例2:
[0052]请参照图8,本实施例提供一种框架模组,包括金属掩膜板10和框架20,框架模组还包括:上述任意一项的金属掩膜板夹持装置30;金属掩膜板夹持装置30夹持在金属掩膜板10上,金属掩膜板10与框架20固定连接。
[0053]从图8中可以看出,金属掩膜板10固定在框架20的上方,通常来说,金属掩膜板10是通过焊接的方式被固定在框架20上的。
[0054]其中,金属掩膜板夹持装置30的数量为四个,四个金属掩膜板夹持装置30分别夹持在金属掩膜板1的四个顶角。
[0055]其中,金属掩膜板夹持装置30的主夹具I包括两个子部件11,两个子部件11分别夹在金属掩膜板10的上表面和下表面,夹在金属掩膜板10的上表面的子部件11通过对应的一个调节件2与对应的一个次夹具3连接,夹在金属掩膜板10的下表面的子部件11通过对应的另一个调节件2与对应的另一个次夹具3连接。
[0056]请参照图2,通过四个金属掩膜板夹持装置30对金属掩膜板10的平坦度进行调节,四个金属掩膜板夹持装置30分别夹持在金属掩膜板10的四个顶角,在对金属掩膜板10的平坦度进行调节时,通过拉伸互为对角的两个金属掩膜板夹持装置30以向金属掩膜板10提供长度方向(图2中左右方向)上的拉伸力(如图2中实线箭头所示);通过控制调节件2来控制金属掩膜板1短程方向(图2中上下方向)上的拉伸力(如图2中虚线箭头所示)。
[0057]图9为金属掩膜板夹持装置30将金属掩膜板10的短程方向拉伸的示意图。具体地,调节件2的体积增加,使得主夹具I与其对应的次夹具3之间的夹角增大,调节件2向次夹具3施加向金属掩膜板10中心方向的作用力,由于力是相互的,因此,次夹具3向调节件2施加朝向金属掩膜板10外侧(如箭头所示)的拉伸力,以使金属掩膜板10的短程方向被拉伸。
[0058]图10为金属掩膜板夹持装置30将金属掩膜板10的短程方向收缩的示意图。具体地,调节件2的体积减小,使得主夹具I与其对应的次夹具3之间的夹角减小,调节件2向次夹具3施加远离金属掩膜板10中心方向的作用力,由于力是相互的,因此,次夹具3向调节件2施加朝向金属掩膜板1中心(如箭头所示)的收缩力,以使金属掩膜板1的短程方向被收缩。
[0059]本实施例的框架模组包括实施例1的金属掩膜板夹持装置30,详细描述可参照实施例I的金属掩膜板夹持装置30,在此不再赘述。
[0060]本实施例的框架模组,包括金属掩膜板10、框架20和金属掩膜板夹持装置30,金属掩膜板夹持装置30夹持在金属掩膜板10上,金属掩膜板夹持装置30与框架20固定连接,金属掩膜板夹持装置30中的主夹具I用于向金属掩膜板10提供长程方向上的拉伸力,次夹具3通过调节件2的回复力给金属掩膜板10提供短程方向上的拉伸力,通过控制调节件2来控制金属掩膜板10短程方向上的受力,从而通过主夹具I和次夹具3分别对金属掩膜板10的长程方向和短程方向的平坦度进行调节,以提高金属掩膜板10的平坦度。
[0061]可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式,然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种金属掩膜板夹持装置,其特征在于,包括:主夹具、至少一个调节件和与每个所述调节件对应的次夹具,每个所述次夹具与所述主夹具连接,每个所述调节件位于对应的所述次夹具和所述主夹具之间且所述调节件的两端分别与对应的所述次夹具和所述主夹具连接。2.根据权利要求1所述的金属掩膜板夹持装置,其特征在于,所述调节件的数量为两个,每个所述主夹具包括两个子部件,两个所述子部件连接,每个所述调节件与一个对应的所述子部件连接,每个所述次夹具与一个对应的所述子部件连接。3.根据权利要求2所述的金属掩膜板夹持装置,其特征在于,所述次夹具与对应的所述子部件通过转动轴连接。4.根据权利要求2所述的金属掩膜板夹持装置,其特征在于,所述次夹具设置有第一固定夹,所述子部件设置有第二固定夹,所述调节件通过所述第一固定夹与所述次夹具连接,所述调节件通过所述第二固定夹与所述子部件连接。5.根据权利要求4所述的金属掩膜板夹持装置,其特征在于,所述第一固定夹和所述第二固定夹均包括卡槽、固定件和位于卡槽两侧的固定片,所述固定片与所述卡槽连接,所述固定件设置于所述固定片上;所述次夹具设置有与所述第一固定件匹配的第一固定槽,所述主夹具设置有与所述第二固定夹匹配的第二固定槽,所述第一固定夹的固定件设置于所述第一固定槽内以使所述第一固定夹与所述次夹具固定,所述第二固定夹的固定件设置于所述第二固定槽内以使所述第二固定夹与所述主夹具固定; 所述调节件的一端设置于所述第一固定夹的卡槽内,所述调节件的另一端设置于所述第二固定夹的卡槽内。6.根据权利要求5所述的金属掩膜板夹持装置,其特征在于,所述卡槽与所述固定片为一体结构,所述固定片设置有固定孔,所述固定件设置于所述固定孔内。7.根据权利要求1至6任意一项所述的金属掩膜板夹持装置,其特征在于,所述调节件为弹簧。8.一种框架模组,包括金属掩膜板和框架,其特征在于,所述框架模组还包括:权利要求I至7任意一项所述的金属掩膜板夹持装置; 所述金属掩膜板夹持装置夹持在所述金属掩膜板上,所述金属掩膜板与所述框架固定连接。9.根据权利要求8所述的框架模组,其特征在于,所述金属掩膜板夹持装置的数量为四个,四个所述金属掩膜板夹持装置分别夹持在所述金属掩膜板的四个顶角。10.根据权利要求8所述的框架模组,其特征在于,对于权利要求2所述的金属掩膜板夹持装置,两个所述子部件分别夹在金属掩膜板的上表面和下表面,夹在所述金属掩膜板的上表面的所述子部件通过对应的一个调节件与对应的一个次夹具连接,夹在所述金属掩膜板的下表面的所述子部件通过对应的另一个调节件与对应的另一个次夹具连接。
【文档编号】H01L21/683GK205723488SQ201620688781
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年6月29日
【发明人】吴建鹏, 兰兰, 杨忠英, 梁逸南
【申请人】成都京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司
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