一种单晶硅片倒片器用石英舟工装的制作方法

本实用新型涉及到单晶硅片生产领域用到的倒片器，具体的说是一种单晶硅片倒片器用石英舟工装。

背景技术：

背封工艺是硅抛光片加工工序中非常重要的一个环节。主要是采用低压化学气相淀积(LPCVD)设备在硅基片上淀积SiO₂薄膜、Poly-Si 多晶硅、Si₃N₄薄膜的一种重要工艺。我们在重掺硅片背面生长一层SiO₂薄膜是和背损伤工艺同时作用，主要是起到封闭杂质的作用。

在整个工艺过程中需要把由四氟片盒装载的洁净硅基片搬运到石英舟内，然后再进炉进行背面长膜。在这个过程中为了避免人为的操作出现硅基片的沾污、擦伤和边缘崩边等缺陷，需要使用到倒片器。

我公司主要使用的是MACTRONIX公司的倒片器，该倒片器全气动控制，使用稳定。但是，我公司使用的倒片器石英舟工位与现有工艺新设计使用的石英舟不匹配，需要对该倒片器设备的石英舟工位进行重新设计。

技术实现要素：

为解决本公司现有石英舟与倒片器石英舟工位不匹配的问题，本实用新型提供了一种单晶硅片倒片器用石英舟工装，该石英舟工装能够与现有的倒片器完全匹配，从而实现了倒片器全自动上下料的功能。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种单晶硅片倒片器用石英舟工装，包括底座及设置在底座上的石英舟，所述的石英舟包括两块矩形板和与两块矩形板的三个角垂直连接的三根连接柱，且三根连接柱和两块矩形板围成V形的储片空间，三根连接柱朝向储片空间的侧面上对称设置有若干刻槽，以使单晶硅片的边缘卡设在三根连接柱上的刻槽内；所述两块矩形板的其中一块上设置有与叉取石英舟的叉子配合的通槽；

所述底座包括底板以及分别设置在底板两侧的矩形挡板和V形挡板，其中，底板上开设有卡槽和凸起，以使底座通过卡槽卡设在倒片器石英舟工位上时，凸起关闭倒片器石英舟工位的气动开关；所述矩形挡板和V形挡板上分别设置有V型槽Ⅰ和V型槽Ⅱ，以使石英舟的两块矩形板分别卡设在V型槽Ⅰ和V型槽Ⅱ内时，储片空间的开口朝上。

所述两块矩形板的四个角均为弧形倒角，每根连接柱为半圆柱状结构，且连接柱的半圆柱弧形轮廓线与矩形板的弧形倒角轮廓线重合。

所述矩形挡板上V型槽Ⅰ顶部的两端与矩形挡板顶部平面的两端之间具有承载面。

所述V形挡板上V型槽Ⅱ顶部的两端与V形挡板顶部平面的两端重合，且在V型槽Ⅱ内设置有厚度小于V形挡板厚度的三角形挡板，三角形挡板卡设在V型槽Ⅱ的V形尖端位置，且其外侧面与V形挡板的外侧面重合。

有益效果：本实用新型通过在倒片器的石英舟工位上设置一个与其配合的底座，然后利用该底座与新设计的石英舟配合，从而实现了现有倒片器设备与石英舟的完美匹配，最终实现了倒片器全自动上下料的功能。

附图说明

图1为本实用新型石英舟的结构示意图；

图2为本实用新型底座的结构示意图；

附图标记：1、矩形板，101、通槽，2、连接柱，201、刻槽，3、储片空间，4、底板，401、卡槽，402、凸起，5、矩形挡板，501、V型槽Ⅰ，502、承载面，6、V形挡板，601、V型槽Ⅱ，7、三角形挡板。

具体实施方式

如图所示，一种单晶硅片倒片器用石英舟工装，包括底座及设置在底座上的石英舟，所述的石英舟包括两块矩形板1和与两块矩形板1的三个角垂直连接的三根连接柱2，且三根连接柱2和两块矩形板1围成V形的储片空间3，三根连接柱2朝向储片空间3的侧面上对称设置有若干刻槽201，以使单晶硅片的边缘卡设在三根连接柱2上的刻槽201内；所述两块矩形板1的其中一块上设置有与叉取石英舟的叉子配合的通槽101；

所述底座包括底板4以及分别设置在底板4两侧的矩形挡板5和V形挡板6，其中，底板4上开设有卡槽401和凸起402，以使底座通过卡槽401卡设在倒片器石英舟工位上时，凸起402关闭倒片器石英舟工位的气动开关；所述矩形挡板5和V形挡板6上分别设置有V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601，以使石英舟的两块矩形板1分别卡设在V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601内时，储片空间3的开口朝上。

以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进、优化和限定：

如，所述两块矩形板1的四个角均为弧形倒角，每根连接柱2为半圆柱状结构，且连接柱2的半圆柱弧形轮廓线与矩形板1的弧形倒角轮廓线重合；

进一步的，每根连接柱2上的刻槽201的数量为25条；

又如，所述矩形挡板5上V型槽Ⅰ501顶部的两端与矩形挡板5顶部平面的两端之间具有承载面502；

再如，所述V形挡板6上V型槽Ⅱ601顶部的两端与V形挡板6顶部平面的两端重合，且在V型槽Ⅱ601内设置有厚度小于V形挡板6厚度的三角形挡板7，三角形挡板7卡设在V型槽Ⅱ601的V形尖端位置，且其外侧面与V形挡板6的外侧面重合。

本实用新型在使用时，首先将附图2中的底座放置到倒片器上的石英舟工位处，使构成底座的底板4上的卡槽401卡设在倒片器石英舟工位上，此时，凸起402关闭倒片器石英舟工位的气动开关；然后将附图1中的石英舟放置到V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601内，放置时，构成石英舟的两块矩形板1的一个角分别放置在V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601内，从而使三根连接柱2和两块矩形板1围成得V形储片空间3的开口向上。