一种反应离子刻蚀设备的制作方法

本实用新型涉及离子刻蚀技术领域，更具体地说，涉及一种反应离子刻蚀设备。

背景技术：

为了实现对硅片或者硅材料等元件的刻蚀，需要用到反应离子刻蚀(英文名称为Reactive Ion Etching，后文均采用其简称RIE)设备。

在RIE设备腔体正常运行中，射频电源经过发射端再到腔体，等离子体在腔体内部实现上电极发射、下电极接收的过程，沿固定的从上往下的方向进行工作。硅片放置于载板上，载板四周用耐高温绝缘的材料做一层保护，并加以一块盖板盖在绝缘层上方。一方面防止硅片位置偏移导致上、下电极导通，从而发生打火故障，另一方面也能均匀分散气体，使工艺后均匀性更好。

等离子体以较高的频率对硅片进行射频打击时，腔体内部的重量小的非固定件会有轻微的震动。考虑到RIE设备腔体内部环境需要，在固定腔体上电极的档条的时候，厂商选用纯铝材料制作的螺丝，并在表层做阳极氧化。

但是，该螺丝随着使用时间的增加，表层氧化会逐渐消失，因此需要高频率的定期更换，并且在等离子体高频震动的工作环境下很容易松动，松动后腔体内部环境处于不绝缘状态，就极容易发生打火故障，这样一来，给设备备件成本及稼动率带来影响。

综上所述，如何有效地解决RIE设备中上电极固定不牢带来的打火故障的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种RIE设备，该RIE设备的结构设计可以有效地解决上电极固定不牢带来的打火故障的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种RIE设备，包括腔体和位于所述腔体内部的上电极和下电极，所述上电极通过硬质螺钉和所述腔体固定连接，所述硬质螺钉的端部连接有耐高温螺帽。

优选地，上述RIE设备中，所述硬质螺钉具体为不锈钢内六角螺钉。

优选地，上述RIE设备中，所述不锈钢内六角螺钉包括尺寸为M5*0.8*10的螺纹端和尺寸为M10*1.5的头部，所述头部和所述螺纹端之间固定有尺寸为1.2*φ12的圆盘。

优选地，上述RIE设备中，所述耐高温螺帽设有带螺纹的凹槽，所述凹槽和所述头部螺纹连接。

优选地，上述RIE设备中，所述耐高温螺帽具体为陶瓷螺帽。

优选地，上述RIE设备中，所述陶瓷螺帽的表面设有网隔层。

本实用新型提供的RIE设备，包括腔体和位于所述腔体内部的上电极和下电极，所述上电极通过硬质螺钉和所述腔体固定连接，所述硬质螺钉的端部连接有耐高温螺帽。应用本实用新型提供的RIE设备时，在腔体内部，上电极和腔体采用硬质螺钉固定连接，因此当该RIE设备在工作过程中发生震动时，硬质螺钉不会产生明显形变，在震动过程中不会轻易松动，因此上电极的固定效果十分牢固。同时耐高温螺帽避免了硬质螺钉被刻蚀，进一步保障了硬质螺钉使用过程中的稳定性和可靠性。采用上述结构设计，使得RIE设备的上电极可以得到稳定的固定，不会轻易发生打火故障。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的不锈钢内六角螺钉的主视结构示意图；

图2为图1的左视图；

图3为本实用新型实施例提供的陶瓷螺帽的主视结构示意图；

图4为图3的左视图。

附图中标记如下：

螺纹端1、头部2、圆盘3、陶瓷螺帽4、凹槽5。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种RIE设备，以避免震动过程中上电极松动发生打火故障，提高RIE过程的安全性和可靠性。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4，图1为本实用新型实施例提供的不锈钢内六角螺钉的主视结构示意图；图2为图1的左视图；图3为本实用新型实施例提供的陶瓷螺帽4的主视结构示意图；图4为图3的左视图。

本实用新型的实施例提供了一种RIE设备，包括腔体和位于腔体内部的上电极和下电极，上电极通过硬质螺钉和腔体固定连接，硬质螺钉的端部连接有耐高温螺帽。

应用上述实施例提供的RIE设备时，在腔体内部，上电极和腔体采用硬质螺钉固定连接，因此当该RIE设备在工作过程中发生震动时，硬质螺钉不会产生明显形变，在震动过程中不会轻易松动，因此上电极的固定效果十分牢固。同时耐高温螺帽避免了硬质螺钉被刻蚀，进一步保障了硬质螺钉使用过程中的稳定性和可靠性。采用上述结构设计，使得RIE设备的上电极可以得到稳定的固定，不会轻易发生打火故障。

为了优化上述实施例中硬质螺钉的使用效果，硬质螺钉具体为不锈钢内六角螺钉。优选采用不锈钢内六角螺钉，在RIE设备的震动过程中不会产生明显的形变，有效保证了上电极和腔体的相对位置的稳定性。同时不锈钢内六角螺钉也具备一定的耐高温能力，在高温条件下也不会轻易形变。而且不锈钢内六角螺钉方便拆装，安装后的固定效果也很理想。

为了优化上述实施例中不锈钢内六角螺钉的使用效果，不锈钢内六角螺钉包括尺寸为M5*0.8*10的螺纹端1和尺寸为M10*1.5的头部2，头部2和螺纹端1之间固定有尺寸为1.2*φ12的圆盘3。圆盘3可以起到对不锈钢内六角螺钉的限位效果，当不锈钢内六角螺钉旋拧到一定位置时，圆盘3会抵紧相应的孔位处的台阶面，以免旋拧过度。头部2的设置则方便了旋拧工具的使用，螺纹端1的长度根据具体实施情况自由选择。以上优选的尺寸要求其单位均为毫米。

当然，关于不锈钢内六角螺钉和耐高温螺帽的具体尺寸的选择，都应以适应上电极和腔体的尺寸为前提，具体选择何种尺寸的不锈钢内六角螺钉和耐高温螺帽，根据实际情况灵活判断。

为了优化上述实施例中耐高温螺帽的使用效果，耐高温螺帽设有带螺纹的凹槽5，凹槽5和头部2螺纹连接。头部2的外周优选设置有螺纹，耐高温螺帽则优选和头部2螺纹连接。采用上述结构设计，耐高温螺帽和不锈钢内六角螺钉连接紧密和稳固，使得耐高温螺帽不易脱落，同时也方便其拆卸，当需要更换时可以随时便捷的拆换。

可以理解的是，耐高温螺帽具体为陶瓷螺帽4。优选采用陶瓷螺帽4，耐高温效果突出，因此其防刻蚀效果也很显著，有效的保护了不锈钢内六角螺钉。当然其他耐高温螺帽也是可以的，在具体实施时灵活选取。

为了优化上述实施例中陶瓷螺帽4的使用效果，陶瓷螺帽4的表面设有网隔层。网隔层可以增大手和陶瓷螺帽4之间的摩擦力，方便了用户对陶瓷螺帽4的旋拧，同时其防刻蚀效果也更理想。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

还需要说明的是，在本说明书中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。