一种带有销柱张紧机构的清洗花篮的制作方法

本实用新型涉及硅片插片清洗用装置领域，具体涉及一种带有销柱张紧机构的清洗花篮。

背景技术：

硅片在现在的芯片制作上可以算是最佳的材料，然而半导体器件生产中硅片须经严格的清洗。微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。在硅片插片清洗加工过程中，硅片插入花篮后进入清洗工段，清洗工段部分槽体内水温较高，同时清洗完成后需经过高温烘干槽，花篮上的销柱长期反复热胀冷缩之后会有轻微变形，造成花篮左右插齿错位，无法进行正常插片作业。

技术实现要素：

针对现有技术不足，本实用新型提供了一种带有销柱张紧机构的清洗花篮，在花篮销柱变形时可保证正常进行插片作业。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：一种带有销柱张紧机构的清洗花篮，包括置于两个平行设置的侧板之间的不锈钢杆和销柱，其特征在于：所述不锈钢杆两端固定于侧板上，所述销柱套设在不锈钢杆上，一端固定于不锈钢杆端部，另一端通过弹簧张紧机构连接固定于不锈钢杆的另一端部。

进一步地，所述销柱为表面等距离分布有齿沟的柱形结构。

进一步地，所述不锈钢杆的数量为四根，对称固定于侧板之间。

进一步地，所述侧板外部设置花篮固定杆。

销柱在使用过程中会有变形，但同一个花篮四根杆子上的销柱由于使用坏境及频率一致，所以各自的变形量基本相同，利用这一特性，将原有的不锈钢杆直径变小，可以让销柱自由滑动，同时在侧板一侧装上销柱张紧用弹簧，保证销柱变形后能将其压向一侧；另外，为保证花篮批次间的差异，花篮使用前需经过特殊工艺烘烤，保证使用过程中的变形量最小化。

与现有技术相比，本实用新型具备的优点为：

1、方便销柱更换；

2、保证了左右不会错齿；

3、提高设备运行稳定连续性；

4、可与自动插片机配合使用，在保证花篮无异常的情况下，实现了全自动插片功能，满足了现有的公司全面扩产计划；

5、减少因错齿造成的硅片破损。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。如图1所示的一种带有销柱张紧机构的清洗花篮，包括置于两个平行设置的侧板1、2之间的不锈钢杆4和销柱5，所述不锈钢杆4两端固定于侧板1、2上，所述销柱5一端固定于不锈钢杆4端部，另一端通过弹簧张紧机构3连接固定于不锈钢杆4的另一端部；所述销柱5为套设在不锈钢杆4上的表面等距离分布有齿沟的柱形结构；所述不锈钢杆4的数量为四根，对称固定于侧板1、2之间；所述侧板1、2外部设置花篮固定杆6。

本实用新型在原有花篮的基础上，通过减少原有不锈钢杆的直径，使销柱5能自由滑动，在此基础上，在四根不锈钢杆4一端装上弹簧张紧机构3，销柱5在热胀冷缩之后即使有变形，都可以通过弹簧的张紧力使四根不锈钢杆4上的销柱5同时压向另一侧，保证了左右销柱5间齿沟不错位。

除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式，凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。