1.一种用于RenaNIKA制绒刻蚀设备的连接窗,其特征在于:其包括第一窗体和设置在第一窗体上并与第一窗体转动连接的第二窗体,所述第二窗体与第一窗体之间设有硅片通道,所述第一窗体和第二窗体的内表面靠近硅片的一侧为弧面。
2.根据权利要求1所述的用于RenaNIKA制绒刻蚀设备的连接窗,其特征在于:所述第一窗体包括平直段和设于平直段两侧的圆弧段,所述第二窗体与圆弧段转动连接。
3.根据权利要求2所述的用于RenaNIKA制绒刻蚀设备的连接窗,其特征在于:所述第二窗体与圆弧段经销轴连接。
4.根据权利要求1所述的用于RenaNIKA制绒刻蚀设备的连接窗,其特征在于:所述第一窗体和第二窗体为PVDF或PTFE窗体。