一种用于RenaNIKA制绒刻蚀设备的连接窗的制作方法

技术总结
本实用新型公开了一种用于RenaNIKA制绒刻蚀设备的连接窗，其包括第一窗体和设置在第一窗体上并与第一窗体转动连接的第二窗体，所述第二窗体与第一窗体之间设有硅片通道，所述第一窗体和第二窗体的内表面靠近硅片的一侧为弧面。本实用新型能够防止硅片在传输过程中因撞到连接窗边缘而停止前行所起因的堵塞，提高产能。

技术研发人员：巢芳兴
受保护的技术使用者：徐州鑫宇光伏科技有限公司
文档号码：201621215181
技术研发日：2016.11.11
技术公布日：2017.05.10