一种新型芯片清洗装置的制作方法

本实用新型主要涉及微电子技术领域，具体是一种新型芯片清洗装置。

背景技术：

在微电子科学与工程技术领域中，芯片是制作微电子器件的基本元件，而在半导体芯片制作过程中，芯片清洗的好坏直接决定芯片的质量。在对芯片进行清洗时，首先需要将芯片浸泡在化学试剂中一定时间，使用化学试剂对芯片表面进行浸泡清洗，然后再将经化学试剂清洗过的芯片使用高纯水进行清洗，以置换掉残留化学试剂和杂质离子等。现有技术中在对芯片进行化学试剂清洗后拿出芯片时，需要借助其他工具一个一个的拿出芯片在放入水槽内进行清洗，浪费时间而且很不方便，操作时容易碰触到清洗液，对人体造成伤害，存在一定的危险。

技术实现要素：

为了解决现有技术中的不足，本实用新型提供一种新型芯片清洗装置，通过推动装置可以将移动置物板由第一升降置物架直接移动至第二升降置物架上，无需直接接触芯片和清洗液，提高操作安全性，同时芯片是放置在移动置物板上的，无需一个一个的取出芯片进行水洗，便于若干个芯片的整体移动清洗，简单方便，提高工作效率。

本实用新型为实现上述目的，通过以下技术方案实现：

一种新型芯片清洗装置，包括作业柜，所述作业柜内部设置酸槽和水槽，所述酸槽内设置第一升降置物装置，所述第一升降置物装置包括第一升降置物架、第一滑轨和第一丝杠，所述第一滑轨竖直设置于靠近水槽一侧的酸槽内壁上，所述第一丝杠与第一滑轨平行，且位于酸槽内远离水槽的一侧，所述第一丝杠与酸槽转动连接，所述酸槽上设置带动第一丝杠转动的第一电机，所述第一升降置物架的两侧分别设有与第一滑轨相适应的第一滑块和与第一丝杠相适应的第一丝母，所述酸槽的底部设置排酸阀；所述水槽内设置第二升降置物装置，所述第二升降置物装置包括第二升降置物架、第二滑轨和第二丝杠，所述第二滑轨竖直设置于靠近酸槽一侧的水槽内壁上，所述第二丝杠与第二滑轨平行，且位于水槽内远离酸槽的一侧，所述第二丝杠与水槽转动连接，所述水槽上设置带动第二丝杠转动的第二电机，所述第二升降置物架的两侧分别设有与第二滑轨相适应的第二滑块和与第二丝杠相适应的第二丝母，所述水槽的底部设置排水阀；还包括移动置物板和设置在酸槽上的推动装置，所述移动置物板的底部设有漏液孔，当第一升降置物架、第二升降置物架分别上升至酸槽、水槽顶端时，通过推动装置的推动，移动置物板可以由第一升降置物架移动至第二升降置物架上。

所述推动装置包括设置在酸槽上的液压杆。

所述推动装置包括设置在酸槽上的滑动杆，所述滑动杆与酸槽滑动连接。

所述第一升降置物架、第二升降置物架均包括框架，所述框架的顶部设有导向凸块，所述移动置物板的底部设有与导向凸块相适应的导向凹槽。

所述框架为圆环形框架或者椭圆环形框架或者长方环形框架。

所述第一升降置物架与第一滑块、第一丝母可拆卸连接，所述第二升降置物架与第二滑块、第二丝母可拆卸连接。

所述作业柜上设置进水管，所述进水管位于水槽的上侧，所述进水管上设置喷头。

对比现有技术，本实用新型有益效果在于：

1、本实用新型通过推动装置可以将移动置物板由第一升降置物架直接移动至第二升降置物架上，无需直接接触芯片和清洗液，提高操作安全性，同时芯片是放置在移动置物板上的，无需一个一个的取出芯片进行水洗，便于若干个芯片的整体移动清洗，简单方便，提高工作效率。

2、推动装置包括设置在酸槽上的液压杆，可以通过液压杆直接控制移动置物板的移动，简单方便。

3、推动装置包括设置在酸槽上的滑动杆，滑动杆与酸槽滑动连接，通过手动推动滑动杆，即可实现移动置物板的移动，简单方便。

4、第一升降置物架、第二升降置物架均包括框架，框架的顶部设有导向凸块，移动置物板的底部设有与导向凸块相适应的导向凹槽，通过导向凸块和导向凹槽的配合，使移动置物板在移动过程中不会发生偏移，便于移动置物板的移动。

5、述第一升降置物架与第一滑块、第一丝母可拆卸连接，第二升降置物架与第二滑块、第二丝母可拆卸连接，便于第一升降置物架、第二升降置物架的更换。

6、作业柜上进水管的设置，方便高纯水的直接使用，简单方便；进水管上喷头的设置，可以先对经过化学试剂处理的芯片进行喷水清洗，然后在使用高纯水浸泡，可以节约水资源，降低成本，还可以提高工作效率。

附图说明

附图1是本实用新型的结构示意图。

附图2是框架的结构示意图。

附图3是附图1中I的局部放大图。

附图4是移动置物板的结构示意图。

附图中所示标号：1、作业柜；11、进水管；12、喷头；2、酸槽；21、第一升降置物架；22、第一滑轨；23、第一丝杠；24、第一电机；25、第一滑块；26、第一丝母；27、排酸阀；28、框架；29、导向凸块；3、水槽；31、第二升降置物架；32、第二滑轨；33、第二丝杠；34、第二电机；35、第二滑块；36、第二丝母；37、排水阀；4、移动置物板；41、漏液孔；42、导向凹槽；43、凸缘挡板；5、滑动杆；51、滑槽。

具体实施方式

结合附图和具体实施例，对本实用新型作进一步说明。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所限定的范围内。

一种新型芯片清洗装置，包括作业柜1，所述作业柜1上设置酸槽2和水槽3。所述酸槽2内设置第一升降置物装置，所述第一升降置物装置包括第一升降置物架21、第一滑轨22和第一丝杠23，所述第一滑轨22竖直设置于靠近水槽3一侧的酸槽2内壁上，所述第一丝杠23与第一滑轨22平行，且位于酸槽2内远离水槽3的一侧，所述第一丝杠23与酸槽2转动连接，所述酸槽2上设置带动第一丝杠23转动的第一电机24，具体的，可以在酸槽2的底部设置下安装座，在酸槽的顶部设置上安装座，第一丝杠23设置在下安装座和上安装座之间，且第一丝杠与下安装座、上安装座转动连接，第一电机24设置在上安装座上，同时第一电机24与第一丝杠23传动连接。所述第一升降置物架21的两侧分别设有与第一滑轨22相适应的第一滑块25和与第一丝杠23相适应的第一丝母26，通过第一电机24的运行带动第一丝杠23转动，从而实现第一丝母26在第一丝杠23上的上下移动，最终带动第一升降置物架21上下移动。所述酸槽2的底部设置排酸阀27，用于排出废液。所述水槽3内设置第二升降置物装置，所述第二升降置物装置包括第二升降置物架31、第二滑轨32和第二丝杠33，所述第二滑轨32竖直设置于靠近酸槽2一侧的水槽3内壁上，所述第二丝杠33与第二滑轨32平行，且位于水槽3内远离酸槽2的一侧，所述第二丝杠33与水槽3转动连接，所述水槽3上设置带动第二丝杠33转动的第二电机34，具体的，可以在水槽3的底部设置下安装座，在水槽的顶部设置上安装座，第二丝杠33设置在下安装座和上安装座之间，且第二丝杠33与下安装座、上安装座转动连接，第二电机34设置在上安装座上，同时第二电机34与第二丝杠33传动连接。所述第二升降置物架31的两侧分别设有与第二滑轨32相适应的第二滑块35和与第二丝杠33相适应的第二丝母36，通过第二电机34的运行带动第二丝杠33转动，从而实现第二丝母36在第二丝杠33上的上下移动，最终带动第二升降置物架31上下移动。所述水槽3的底部设置排水阀37，用于排出废液。还包括移动置物板4和设置在酸槽2上的推动装置，所述移动置物板4的底部设有漏液孔41，移动置物板4上放置带清洗的芯片。可以在移动置物板4的边缘设置凸缘挡板43，避免芯片从移动置物板4周围掉落。当第一升降置物架21、第二升降置物架31分别上升至酸槽2、水槽3顶端时，通过推动装置的推动，移动置物板4可以由第一升降置物架21移动至第二升降置物架31上。

在使用本实用新型时，第一步，先将带清洗的芯片放置在移动置物板4上；第二步，首先运行第一电机24，使第一升降置物架21上升至酸槽2上侧，将盛放了芯片的移动置物板4放置在第一升降置物架21上，这样可以避免放置时与清洗芯片的化学试剂接触，提高操作安全性，然后，控制第一电机24运行，使第一升降置物架21下降至酸槽2下侧，即可将芯片浸泡在化学试剂中，实现对芯片的初步清洗；第三步，当在化学试剂中浸泡一定时间后，通过控制第一电机24的运行，使第一升降置物架21上升至酸槽2顶端，通过控制第二电机34的运行，使第二升降置物架31上升至水槽3顶端，使用推动装置推动移动置物板4，将移动置物板4由第一升降置物架21推动至第二升降置物架31上，避免了手与将移动置物板4和化学试剂的直接接触，提高操作安全性，且移动置物板4内的芯片可以全部移动至水槽3内进行下一的清洗，简单方便，提高工作效率；第四步，通过控制第二电机34的运行，使第二升降置物架31下降至水槽3内，使用高纯水进行芯片的清洗。

所述推动装置包括设置在酸槽2上的液压杆，可以将液压杆安装在酸槽2上设置的上安装座上，通过液压杆直接控制移动置物板4的移动，简单方便。

所述推动装置包括设置在酸槽2上的滑动杆5，所述滑动杆5与酸槽2滑动连接，可以在酸槽2上设置的上安装座上设置滑槽51，将滑动杆5安装在滑槽51内，通过手动推动滑动杆5，即可实现移动置物板4的移动，简单方便。

进一步的，所述第一升降置物架21、第二升降置物架31均包括框架28，所述框架28的顶部设有导向凸块29，所述移动置物板4的底部设有与导向凸块29相适应的导向凹槽42，通过导向凸块29和导向凹槽42的配合，使移动置物板4在移动过程中不会发生偏移，便于移动置物板4的移动。

进一步的，所述框架28为圆环形框架28或者椭圆环形框架28或者长方环形框架28。

进一步的，所述第一升降置物架21与第一滑块25、第一丝母26可拆卸连接，所述第二升降置物架31与第二滑块35、第二丝母36可拆卸连接，便于第一升降置物架21、第二升降置物架31的更换。

进一步的，所述作业柜1上设置进水管11，所述进水管11位于水槽3的上侧，进水管11的设置方便高纯水的直接使用，简单方便。所述进水管11上设置喷头12。通过喷头12的设置，可以先对经过化学试剂处理的芯片进行喷水清洗，然后在使用高纯水浸泡，可以节约水资源，降低成本，还可以提高工作效率。

实施例

一种新型芯片清洗装置，包括作业柜1，所述作业柜1内部设置酸槽2和水槽3。所述酸槽2内设置第一升降置物装置，所述第一升降置物装置包括第一升降置物架21、第一滑轨22和第一丝杠23，所述第一滑轨22竖直设置于靠近水槽3一侧的酸槽2内壁上，所述第一丝杠23与第一滑轨22平行，且位于酸槽2内远离水槽3的一侧，所述第一丝杠23与酸槽2转动连接，所述酸槽2上设置带动第一丝杠23转动的第一电机24，所述第一升降置物架21的两侧分别设有与第一滑轨22相适应的第一滑块25和与第一丝杠23相适应的第一丝母26，所述酸槽2的底部设置排酸阀27。所述第一升降置物架21与第一滑块25、第一丝母26可拆卸连接。所述水槽3内设置第二升降置物装置，所述第二升降置物装置包括第二升降置物架31、第二滑轨32和第二丝杠33，所述第二滑轨32竖直设置于靠近酸槽2一侧的水槽3内壁上，所述第二丝杠33与第二滑轨32平行，且位于水槽3内远离酸槽2的一侧，所述第二丝杠33与水槽3转动连接，所述水槽3上设置带动第二丝杠33转动的第二电机34，所述第二升降置物架31的两侧分别设有与第二滑轨32相适应的第二滑块35和与第二丝杠33相适应的第二丝母36，所述水槽3的底部设置排水阀37。所述第二升降置物架31与第二滑块35、第二丝母36可拆卸连接。还包括移动置物板4和设置在酸槽2上的推动装置，所述移动置物板4的底部设有漏液孔41，当第一升降置物架21、第二升降置物架31分别上升至酸槽2、水槽3顶端时，通过推动装置的推动，移动置物板4可以由第一升降置物架21移动至第二升降置物架31上。所述推动装置包括设置在酸槽2上的滑动杆5，所述滑动杆5与酸槽2滑动连接。所述第一升降置物架21、第二升降置物架31均包括框架28，所述框架28的顶部设有导向凸块29，所述移动置物板4的底部设有与导向凸块29相适应的导向凹槽42。所述框架28为圆环形框架28或者椭圆环形框架28或者长方环形框架28。所述作业柜1上设置进水管11，所述进水管11位于水槽3的上侧，所述进水管11上设置喷头12。本实施例的有益效果在于：通过推动装置可以将移动置物板4由第一升降置物架21直接移动至第二升降置物架31上，无需直接接触芯片和清洗液，提高操作安全性，同时芯片是放置在移动置物板4上的，无需一个一个的取出芯片进行水洗，简单方便，提高工作效率。