技术特征：
技术总结
本发明涉及一种用于托持、定位和/或移动物体的装置，所述装置包含以下：‑基座(30)和可相对于基座移动的支撑件(50)，‑至少一个磁性轴承(10、100)，用于在基座与支撑件之间产生承载力或托持力(Hv、Hh)，利用磁性轴承以非接触方式将支撑件支撑在基座上，和‑至少一个驱动器(40)，驱动器在基座与支撑件之间以非接触方式操作以在至少一个输送方向上沿基座移动支撑件，其中‑驱动器具有线性电动机，线性电动机具有至少一个转子和定子，将转子和定子布置在基座和支撑件上，并且设计成在基座与支撑件之间除沿输送方向作用的移动力之外还产生反作用力，反作用力与承载力或托持力相抵。
技术研发人员：C·克莱森
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2016.04.01
技术公布日：2018.01.09