激光剥离装置的制作方法

文档序号:11235596阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及可去除在激光剥离工序中所产生的灰尘的激光剥离装置,上述激光剥离装置包括:工作台,提供用于装载上述基板的场所,以能够对上述基板执行激光剥离;激光照射器,位于上述工作台的上侧,用于向装载于上述工作台的上述基板的一部分照射激光;以及吸入器,隔开规定间隔地位于上述工作台的上侧,用于去除通过从上述激光照射器向上述基板侧照射上述激光来在上述基板的一部分所产生的灰尘。

技术研发人员:崔东奎;白种化;朴宰显;金炳秀
受保护的技术使用者:AP系统股份有限公司
技术研发日:2017.02.15
技术公布日:2017.09.12
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